【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种等离子处理设备。
技术介绍
等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰 化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行 涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。在现有的等离子 处理设备当中，其电极板没有可供气体等离子穿透的通孔，导致产品处理均勻性差，处理效 果不理想。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的缺陷，提供一种能够改善产品处理均勻性 的等离子处理设备。为解决上述技术问题，本技术采用了以下的技术方案设计一种等离子处理 设备，包括具有腔体的壳体和位于所述腔体内部的电极板，所述电极板上开有若干个可供 气体等离子穿透的通孔，所述通孔贯穿所述电极板的上下表面。优选地，所述通孔的形状为圆角矩形，各通孔在所述电极板上呈矩阵状分布，可供 气体等离子均勻分布在每层电极板之间。优选地，所述电极板由铝合金材料制成。优选地，该等离子处理设备还包括用于将气体输入所述腔体的进气管，所述进气 管上分布有若干个气孔，并且该进气管沿所述腔体的正面开口的周边设置，以利于气体更 顺利进入腔体并充满整个腔体。本技术的有益效果在于1.由于电极板上开有若干个通孔，可供气体等离子 完全穿透，并能很均勻地分布在腔体中。2.由于电极板采用铝合金材质，不但具有良好的导电性能，并具有很强的耐腐蚀 性。附图说明图1是本技术等离子处理设备的一种实施例的立体图。图2是图1的A局部放大图。图3是图1所示等离子处理设备的电极板部分的俯视图。具体实施方式如图1-图3所示，本技术的等离子处理设备1包括具有腔...
【技术保护点】
一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于所述腔体内部的电极板，其特征在于，所述电极板上开有若干个可供气体等离子穿透的通孔，所述通孔贯穿所述电极板的上下表面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁雪苗，
申请(专利权)人：珠海彼得氏等离子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]
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