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本实用新型提供了一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于所述腔体内部的电极板，所述电极板上开有若干个可供气体等离子穿透的通孔，所述通孔贯穿所述电极板的上下表面。优选地，所述通孔的形状为圆角矩形，并在所述电极板上呈矩阵状分布。所述电极板可...
该专利属于珠海彼得氏等离子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海彼得氏等离子科技有限公司授权不得商用。

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