硫酸的电解装置、电解方法和基板的处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的硫酸的电解装置具备：被隔膜（４）分隔形成设有阴极（５ａ）的阴极室（５）和设有阳极（６ａ）的阳极室（６）的电解槽（１）；贮存硫酸的硫酸罐；连接硫酸罐和阴极室的流入口的给液管（１４）；连接阴极室的流出口和阳极室的流入口的连接管（１７）；设置在给液管上且将硫酸罐的硫酸通过给液管供给到阴极室中的第１供给泵（１３）；以及与阳极室的流出口连接且将在阳极室中通过电解而生成的含有氧化性的化学种的溶液供给到贮液槽中的排出管（１８）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种硫酸的电解装置，其是将硫酸进行电解的电解装置，其特征在于，其具备：　由隔膜分隔形成设有阴极的阴极室和设有阳极的阳极室的电解槽；　贮存所述硫酸的硫酸罐；　连接该硫酸罐和所述阴极室的流入口的给液管；　连接所述阴极室的流出口和所述阳极室的流入口的连接管；　设置在所述给液管上且将所述硫酸罐中的硫酸通过所述给液管供给至所述阴极室中的第１供给泵；以及　与所述阳极室的流出口连接且将通过电解而在所述阳极室中生成的含有氧化性的化学种的溶液供给至贮液槽中的排出管。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林信雄，柴田幸弘，速水直哉，加藤昌明，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，株式会社东芝，氯工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]