【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硫酸生产过滤设备相关
，具体的说是一种用于MOS级电子硫酸生产装置的过滤系统。
技术介绍
MOS级电子硫酸是微电子行业的常用原料之一，其生产工艺包括制备二氧化硫、再将二氧化硫氧化为三氧化硫、三氧化硫在烟酸塔内用发烟浓硫酸对三氧化硫进行吸收、形成高浓度烟酸，然后烟酸进入三氧化硫蒸发器，然后对蒸发的三氧化硫进行提纯，三氧化硫进入吸收塔，吸收后加入超纯水制备浓硫酸，然后经过一系列工艺进行提纯。现有的MOS级电子硫酸生产系统通常包括过滤系统，用于减少MOS级电子硫酸产品中的微量灰份和微量金属离子。对于现有的采用MOS级电子硫酸生产工艺来说，如果要更好的提高产品质量，还需要经过原料过滤、成品过滤等其它技术手段，否则会直接影响到了精制硫酸的质量。
技术实现思路
本技术的目的是为了弥补现有技术的不足，提供了一种操作简单且能提高产品质量的MOS级电子硫酸生产装置的过滤系统。为了达到本技术的目的，技术方案如下：一种用于MOS级电子硫酸生产装置的过滤系统，具有硫酸过滤器和SO3气体过滤器，其特征在于，硫酸过滤器为圆桶状过滤器，顶部设有压力表和排气口，在硫酸过滤器侧边筒壁设有一个进料管口，装置内部在进料管口下方安装有过滤装置，出料管口在硫酸过滤器的最底部，SO3气体过滤器也为圆桶状过滤器，顶部设有SO3气体出口，SO3气体过滤器内部靠近顶部位置设有过滤装置，SO3气体进口在SO3气体过滤器侧壁上并靠近其底部位置，SO3气体过滤器侧壁上包裹了一层加热装置，加热源进口在侧壁靠上方位置，加热源出口在侧壁靠下方位置，SO3气体过滤器的最底部设有一个排液口。硫酸过滤器和SO3气...
【技术保护点】
一种用于硫酸生产装置的过滤系统，包括依次连接在硫酸生产管路上的硫酸过滤器(1)和SO3气体过滤器(2)，其特征在于，硫酸过滤器(1)为圆桶状过滤器，顶部设有压力表和排气口(3)，在硫酸过滤器(1)侧边筒壁设有一个进料管口(4)，装置内部在进料管口(4)下方安装有过滤装置(5)，出料管口(6)在硫酸过滤器(1)的最底部，SO3气体过滤器(2)也为圆桶状过滤器，顶部设有SO3气体出口(7)，SO3气体过滤器(2)内部靠近顶部位置设有过滤装置(5)，SO3气体进口(8)在SO3气体过滤器(2)侧壁上并靠近其底部位置，SO3气体过滤器(2)侧壁上包裹了一层加热装置，加热源进口(9)在侧壁靠上方位置，加热源出口(10)在侧壁靠下方位置，SO3气体过滤器(2)的最底部设有一个排液口(11)。
【技术特征摘要】
1.一种用于硫酸生产装置的过滤系统，包括依次连接在硫酸生产管路上的硫酸过滤器(1)和SO3气体过滤器(2)，其特征在于，硫酸过滤器(1)为圆桶状过滤器，顶部设有压力表和排气口(3)，在硫酸过滤器(1)侧边筒壁设有一个进料管口(4)，装置内部在进料管口(4)下方安装有过滤装置(5)，出料管口(6)在硫酸过滤器(1)的最底部，SO3气体过滤器(2)也为圆桶状过滤器，顶部设有SO3气体出口(7)，SO3气体过滤器(2)内部靠近顶部位置设有过滤装置(5)，SO3气体进口(8)在SO3气体过滤器(2)侧壁上并靠近其底部位置，SO3气体过滤器(2)侧壁上包裹了一层加热装置，加热源进口(9)在侧壁靠上方位置，加热源出口(10)在侧壁靠下方位置，SO3气体过滤器(2)的最底部设有一个排液口(11)。2.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁大庆，朱军民，杨新海，
申请(专利权)人：上海京藤化工有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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