具有外通管路的真空腔体制造技术

一种具有外通管路的真空腔体，包含：一腔壁、一安装在腔壁内的门框及一可旋转开启地盖合在门框上的门板。该腔壁具有一内外贯穿的外通孔。该门框具有一内、外连通的门框通道。该门板是叠置在门框上，并具有一内外贯通且连接门框通道的门板通道。本实用新型专利技术是在门框与门板中穿设有相互连通的门框通道与门板通道，如此就可以经由相互盖合的门框与门板，由外将气体直接往腔壁内输入，不仅能让门板旋转开关以具有较佳的使用性，而且也不会发生管路干涉压迫的情形。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种真空腔体，特别是涉及一种将门板以可枢转的方 式安装在门框上的具有外通管路的真空腔体。
技术介绍
在半导体相关制程中，许多制程都需要使用到真空设备，而且随着 制程的不同，必须在真空设备中安装门框以及可相对于门框开启的门板， 此外，有的制程还需要在门板附近安装管路及适当的接头，通过输送所 需的气体，而以下针对安装在门板上的管路设计来说明。如图1所示， 一种以往真空腔体1包含 一中空腔壁11、 一直立安 装在腔壁11内且界定出一门口 121的门框12、及一可朝一侧旋转开启地 盖合在该门框12上以关闭门口 121的门板13。该腔壁ll具有一内外贯 穿且位在门框12附近的外通孔111。安装时，在该腔壁11上安装一供气 装置14,并在供气装置14上连接一连接管15,令该连接管15穿过外通 孔111伸入腔壁11内，再转向穿伸出门板13,并朝向一块安装在门板 13上的耙材16,当驱动该供气装置14时，气体就可以经由连接管15输 送至门板13的靶材16上。虽然以往真空腔体1是透过连接管15将气体由腔壁11外的供气装 置14送至腔壁11内的门板13处，但是当门板13旋转开启时，却可以 发现，位在腔壁11与门板13之间的连接管15，容易发生管路及配线干 涉，甚至受到门板13压迫的情形，在不小心的情况下也会出现扯断管路 及配线的情况，造成真空腔体1使用及维修上的不便。为此，也有厂商 将上述柔软的塑胶连接管15换装成刚硬的不锈钢连接管15，由此延长连 接管15的使用寿命，然而如此一来，将使得门板13在开启上更为不易，所以厂商干脆将门板13封死，令门板13无法开启，而此却又会相对降 低门板13的使用性，因此上述真空腔体1在设计上仍有待改进。
技术实现思路
本技术的主要目的在于，提供一种可避免管路干涉且具有较佳 使用性的具有外通管路的真空腔体。本技术的一种具有外通管路的真空腔体，包含 一腔壁、 一门 框及一门板。该腔壁界定出一真空容室，并具有一由真空容室连通至外 壁面的外通孔。该门框对应于外通孔地安装在真空容室内且界定出 一 门 口，并具有一界限出该门口的内周缘、 一远离内周缘且固接于腔壁的外 周缘、 一连接在内、外周缘间的框侧面，及一由框侧面经外周缘连通至 外通孔的门框通道。该门板可朝一侧旋转开启地盖合关闭在该门框上， 并具有一叠置在该框侧面上且封闭门口的门侧面、 一相反于门侧面的内 通面，及一由门侧面连通至内通面且连4妄该门才匡通道的门才反通道。本技术的有益效果在于直接在门框与门板中穿设有相互连通 的门框通道与门板通道，使得门板能旋转开关以具有较佳的使用性，而 且也不会发生管路干涉压迫的情形。附图说明图l是以往真空腔体的一部分剖视示意图，图中的一管路未被剖切； 图2是本技术的真空腔体的一优选实施例的一部分剖视示意图， 图中的一管^^未被剖切。具体实施方式以下结合附图及实施例对本技术进行详细说明。如图2所示，本技术真空腔体的优选实施例包含 一腔壁2、 一门框3、 一门板4及一气封件5。该腔壁2具有一内壁面21、 一外壁面22、 一由内壁面21界定而成的真空容室23及一由真空容室23连通至外壁面22的外通孔24。该门框3对应于外通孔24地直立安装在真空容室23内，且界定出 一呈中空矩型的门口 31,并具有一界限出该门口 31的内周缘32、 一远 离内周缘32且固接于腔壁2的内壁面21上的外周缘33、 一连接在内、 外周缘32、 33间的框侧面34,及一由框侧面34经外周缘33连通至外通 孔24的门框通道35。该门板4可朝一侧旋转开启地盖合关闭在该门框3上，并具有一叠 置在该框侧面34上且封闭门口 31的门侧面41、一相反于门侧面41的内 通面42、一由门侧面41连通至内通面42且连接该门框通道35的门板通 道43，及一凹设在门侧面41上且自门寺反通道43的一端周缘径向往外扩 大的嵌槽44。该气封件5为一由橡、塑胶材质制成的O型环，安装在框侧面34与 门侧面41之间，且嵌装在该嵌槽44中，圈围在门框通道35与门板通道 43间。当然，在"&计上也可以采用其他气封构造，例如真空油脂，所以 不以本实施例为限，在此不再详细i兌明。安装时，在该腔壁2的外壁面22上安装一供气装置6,并在内通面 42上安装一条连通门板通道43的出气管路7,该出气管路7会再穿伸出 门板4,并朝向一块安装在门板4上的靶材8输出气体。使用时，须将该 门板4盖合关闭在该门框3上，使门板通道43与门框通道35相对连通， 接着驱动该供气装置6,将气体输入外通孔24，以经由门框通道35与门 板通道43,直接送至出气管路7，再由出气管路7输送至门板4上的耙 材8。不使用时，则可关闭该供气装置6，再将该门板4朝一侧旋转离开 门框3，以开启门板4，此时门板通道43与门框通道35不直接连通。须进一步说明的是，在设计上这些彼此连通的外通孔24、门框通道 35与门板通道43的管路数量也可以改变，例如两条、四条或八条等，并 不受限于本实施例，在此不再分别举例说明。由上述说明可知，本技术真空腔体在设计上采用的是在门框3 与门板4中，直接穿设有相互连通的门框通道35与门板通道43,用以连 通腔壁2的外通孔24,从而可将气体由外界输入真空容室23,不但能让 门板4旋转开关以具有较佳的使用性，且当门板4转动时也不会发生管 路干涉压迫的情形，确实能够达到本技术的目的。权利要求1.一种具有外通管路的真空腔体，包含一个界定出一个真空容室的腔壁、一个安装在真空容室内且界定出一个门口的门框、及一片可朝一侧旋转开启地盖合关闭在所述门框的门口上的门板，所述腔壁具有一个由真空容室连通至外壁面的外通孔，所述门框具有一界限出所述门口的内周缘、一远离内周缘且固接于腔壁的外周缘及一连接在内、外周缘间的框侧面，所述门板具有一叠置在所述框侧面上且封闭门口的门侧面及一相反于门侧面的内通面，其特征在于所述门框还具有一条由框侧面经外周缘连通至外通孔的门框通道，所述门板还具有一条由门侧面连通至内通面且连接所述门框通道的门板通道。2. 根据权利要求1所述的具有外通管路的真空腔体，其特征在于 所述真空腔体还包含一个安装在框侧面与门侧面之间且圏围在门框通道 与门板通道之间的气封件。3. 根据权利要求2所述的具有外通管路的真空腔体，其特征在于 所述门板还具有一个凹设在门侧面上且自门板通道的 一端周缘径向往外 扩大的嵌槽，所述气封件嵌装在所述嵌槽中。专利摘要一种具有外通管路的真空腔体，包含一腔壁、一安装在腔壁内的门框及一可旋转开启地盖合在门框上的门板。该腔壁具有一内外贯穿的外通孔。该门框具有一内、外连通的门框通道。该门板是叠置在门框上，并具有一内外贯通且连接门框通道的门板通道。本技术是在门框与门板中穿设有相互连通的门框通道与门板通道，如此就可以经由相互盖合的门框与门板，由外将气体直接往腔壁内输入，不仅能让门板旋转开关以具有较佳的使用性，而且也不会发生管路干涉压迫的情形。文档编号B01J3/00GK201150856SQ20082000008公开日2008年11月19日 申请日期2008年1月4日 优先权日2008年1月4日专利技术者许三益, 郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有外通管路的真空腔体，包含：一个界定出一个真空容室的腔壁、一个安装在真空容室内且界定出一个门口的门框、及一片可朝一侧旋转开启地盖合关闭在所述门框的门口上的门板，所述腔壁具有一个由真空容室连通至外壁面的外通孔，所述门框具有一界限出所述门口的内周缘、一远离内周缘且固接于腔壁的外周缘及一连接在内、外周缘间的框侧面，所述门板具有一叠置在所述框侧面上且封闭门口的门侧面及一相反于门侧面的内通面，其特征在于：所述门框还具有一条由框侧面经外周缘连通至外通孔的门框通道，所述门板还具有一条由门侧面连通至内通面且连接所述门框通道的门板通道。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄泳钊，许三益，郑博仁，
申请(专利权)人：北儒精密股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]