【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及用于控制前体(例如，举例来说但不限于蒸气前体)输送的系统及方法。优先权本文主张申请日期为2022年3月21日的第63/322,195号美国临时专利申请案的优先权。所述优先权文件以引用的方式并入本文中。
技术介绍
1、常规蒸气输送系统无法满足半导体处理工具等的性能规范。
技术实现思路
1、一些实施例涉及一种用于控制前体输送的方法。在一些实施例中，所述方法包括以下步骤中的至少一者：获得在至少一个托盘上容纳可蒸发前体的前体输送容器；将足以蒸发所述可蒸发前体的一定量的热能供应到所述至少一个托盘；将所述经蒸发前体从所述前体输送容器施配到气体流动管线；及将供应到所述至少一个托盘的热能的量调整为足以将所述气体流动管线中的所述经蒸发前体的压力维持在某一压力范围内。在一些实施例中，所述至少一个托盘包括具有大于15w m-1k-1的热导率的材料。
2、在一些实施例中，所述可蒸发前体包括金属氧卤化物、金属卤化物或其任何组合中的至少一者。
3、在一些实施例中，所述可蒸发前体包括m...
【技术保护点】
1.一种方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述可蒸发前体包括金属氧卤化物、金属卤化物或其任何组合中的至少一者。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述可蒸发前体包括MoO2Cl2、MoOCl4、WO2Cl2、WOCl4或其任何组合中的至少一者。
4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的方法，其中所述至少一个托盘包括陶瓷材料、聚合材料、金属材料或其任何组合中的至少一者。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的方法，其中所述至少一个托盘包括具有25W m-1K-1到470W m-1K-1的热导率的材
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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述可蒸发前体包括金属氧卤化物、金属卤化物或其任何组合中的至少一者。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述可蒸发前体包括moo2cl2、moocl4、wo2cl2、wocl4或其任何组合中的至少一者。
4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的方法，其中所述至少一个托盘包括陶瓷材料、聚合材料、金属材料或其任何组合中的至少一者。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的方法，其中所述至少一个托盘包括具有25w m-1k-1到470w m-1k-1的热导率的材料。
6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的方法，其中所述压力范围包括在±100托到±750托的范围内的压力。
7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的方法，其中所述压力范围包括在±1托到±5托的范围内的压力容限。
8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的方法，其中所述经蒸发前体在100℃到250℃的范围内的温度下产生。
9.根据权利要求1至8中任一权利要求所述的方法，其中所述气体流动管线中的所述经蒸发前体的流率在50sccm到600sccm的范围内。
10.根据权利要求1至9中任一权利要求所述的方法，其中当具有在所述压力范围内的压力时，所述经蒸发前体展现对温度变化的非线性响应。
11.一种系统，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·沃森，C·卡尔霍恩，C·奥坎波，S·L·巴特尔，B·卡多佐，B·R·加勒特，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：
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