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用于控制前体输送的系统及方法。所述系统及方法可包括与气体流动管线流体连通的前体输送容器。所述前体输送容器可包括容纳可蒸发前体的至少一个托盘。一定量的热能可以足以蒸发所述可蒸发前体的量供应到所述至少一个托盘。所述经蒸发前体可从所述前体输送容器...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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