【技术实现步骤摘要】
本专利技术专利描述的是在聚焦透镜区域束流传输管道的一种结构形式，该结构设计属于离子注入机中磁四极透镜的一部分，涉及半导体设备制造领域。
技术介绍
随着目前半导体产业与技术的快速发展，先进的半导体工艺对半导体生产设备提出了越来越高的要求。作为离子注入半导体工艺生产线上的关键设备，离于注入机在注入晶片尺寸、注入深度的控制、均匀性、可靠性与生产率等方面被提出了更高的要求。 磁四极透镜是离子注入机上确定光路系统的一个重要组成部件。它是这样一个装置产生合适的磁场分布，使进入其中的离子受到罗仑磁力的作用，并改变运行轨迹，由此来对传输的束流进行聚焦，并在靶上获得一定尺寸大小、形状的离子束斑。四极透镜管道则是磁四极透镜结构的一部分。它是用来连接透镜单元前后真空腔体的一截管道，其基本功能是维持一定的高真空并确保束流在其中顺利传输和聚焦。
技术实现思路
本专利技术应用于大角度离子注入机磁四极透镜上，并进行了优化设计，使其除满足 基本功能要求外，还具有縮短离子注入机整机真空系统建立时间，在提高注入机生产效率 方面作出了贡献。 本专利技术的技术方案是这样实现的 该管道被安装在磁四极透镜...
【技术保护点】
本磁四极透镜管道由密封管道１、抽气管道２、连接法兰３三部分组成，其抽气管道部分的外形为与极头相切的曲面。管道的制造可有两种方法：焊接连接，三件零件的材料采用不锈钢；整体铸造，然后内外表面抛光，材料选取铝。
【技术特征摘要】
本磁四极透镜管道由密封管道1、抽气管道2、连接法兰3三部分组成，其抽气管道部分的外形为与极头相切的曲...
【专利技术属性】
技术研发人员：田小海，伍三忠，郭健辉，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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