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本发明公开了一种应用于半导体制造离子注入工艺中所应用的离子注入机磁四极透镜管道，它包括一个密封管道、一个抽气管道、一个连接法兰。这三件零件焊接成为一个整体或整体铸造成型。本发明通过管道外形的优化设计，提高了管道容积，增大了真空系统的抽气流导...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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