【技术实现步骤摘要】
本专利技术是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术，具体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置。
技术介绍
以槽式刻蚀为代表的传统湿法刻蚀，刻蚀精度很难控制，由于溶剂微粒的沾污而 导致高的缺陷水平，不能用于大直径小特征的晶圆加工。而单片刻蚀可以避免溶剂微粒的 沾污，却会产生大量的化学废液，在化学品回收利用方面是个空白。
技术实现思路
为实现化学品的重复使用，本专利技术的目的在于提供一种多种化学品药液分离、重 复使用装置，可将多种化学药液分离，再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度，实现 再利用，该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费。 本专利技术的技术方案是 —种多种化学品药液分离、重复使用装置，该装置主要设有药液杯、旋转马达、导 向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端 通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐 的一个入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶 片对应。 所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，还包括配比液罐...
【技术保护点】
一种多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于：该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的一个入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。
【技术特征摘要】
一种多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的一个入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。2. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于还包括配 比液罐、补酸控制器，再生液罐的另一入口通过管路与配比液罐相连，在该管路上装有泵； 补酸控制器的输入端通过传感器置于回收液罐中，补酸控制器的输出端连接所述的泵，控 制泵的开启或关闭。3. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐春旭，孙东丰，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]
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