【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体晶片加工过程中对晶片扫描记录的技术，具体的说是一种晶片检测装置，对被加工晶片片盒内晶片数量及其位置的记录。
技术介绍
众所周知，在全自动半导体设备中，需要对成放晶片的片盒进行扫描，以确定在该 盒内的晶片数量及其存放位置。这样，负责晶片传送的机械手才能准确将其产送到各个模 块对晶片进行加工。 原来的晶片扫描方式为在片盒的前方和后方分别装有一个发光装置和一个受光 装置，片盒装载在一个可升降的装置上。这样，通过电机旋转带动片盒升降机构由上至下运 动。当片盒有晶片的情况下，将遮挡放光装置发出的可见光。若没有，则不遮挡。通过以上 方式，可知片盒内是否有晶片及晶片数量。 但是，这种对晶片的扫描是在机械手取片以前进行的，机械手必须等到整个片盒 全部扫描完成以后才可以取片。这样做会影响整个设备的产能，因为每次更换一盒新的晶 片，系统便会对片盒扫描一次。
技术实现思路
为了解决这个问题，本专利技术的目的在于提供一种新的晶片检测装置，解决现有技术中存在的对片盒扫描时间长，影响设备产能等问题。 本专利技术的技术方案是 —种晶片检测装置，该装置设有承片台、接近开关、...
【技术保护点】
一种晶片检测装置，其特征在于：该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置，承片台为承片台Ⅰ、承片台Ⅱ相对设置于底座上，底座的底部设有丝杠传动装置，丝杠传动装置为配套使用的丝杠与螺母构成，底座与丝杠传动装置的螺母连接，丝杠顶部的丝杠座上装有接近开关，接近开关位于承片台Ⅰ与承片台Ⅱ之间。
【技术特征摘要】
一种晶片检测装置，其特征在于该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置，承片台为承片台I、承片台II相对设置于底座上，底座的底部设有丝杠传动装置，丝杠传动装置为配套使用的丝杠与螺母构成，底座与丝杠传动装置的螺母连接，丝杠顶部的丝杠座上装有接近开关，接近开关位于承片台I与承片台II之间。2. 按照权利要求1所述的晶片检测装置，其特征在于在丝杠传动装置一侧设置码盘 装置，码盘装置上相对设置有限位板、直码盘，丝杠传动装置位于限位板和直码盘之间，直 码盘开有槽，丝...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯宪华，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。