一种物理气相沉积加热系统过流保护装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，包括过流检测电路，通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器的电源切断；工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。本发明专利技术具有延时触发功能，避免了在加温过程中加热电流的反复波动，减少了由于负载易受膜材颗粒的影响而反复变化，引起过电流的反复冲击给加热体带来的损坏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种过流保护装置，具体地说是一种物理气相沉积加热系统过流保护装置。
技术介绍
真空镀膜技术属于气相沉积技术，是利用各种材料在气相间、气相和固体基本表面间所产生的物理、化学过程而沉积薄膜的方法。它又可以分为物理气相沉积(PhysicalVapour D印osition，简称PVD)、化学气相沉积(Chemical Vapour D印osition，简称CVD)和物理化学气相沉积(Physical-Chemical V即our D印osition，简称PCVD)。 物理气相沉积可分为利用加热膜材而产生热蒸发沉积、利用气体放电产生的正离子轰击阴极(靶材)所产生的溅射沉积、将蒸发和溅射结合起来的离子镀以及分子束外延。真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中发展最早、应用最广泛的一种，特别是电阻加热式蒸发镀膜，迄今为止已有近百年的历史。电阻加热式镀膜的蒸发源实际上是一个电阻加热器，它是利用发热体通电后产生的焦耳热熔融膜材使其蒸发的。通常加热体的形状有丝状、箔状及坩埚形式，这些结构形式中箔状和坩埚形式相对稳定，负载不易突变；而丝状加热体受加热的影响较大，易变形断裂，特别是内部炉盘的加热，由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，其特征在于包括：　　过流检测电路，通过感应线圈（Ｌ）检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；　　过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器（Ｗ）的电源切断；　　工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。

【技术特征摘要】
一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，其特征在于包括过流检测电路，通过感应线圈(L)检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器(W)的电源切断；工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。2. 按权利要求1所述的物理气相沉积加热系统过流保护装置，其特征在于所述过流检测电路中具有用于检测加热系统加热电源线电流的感应线圈(U，感应线圈(L)的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王学研，徐英凤，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]