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本发明涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，包括过流检测电路，通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器的电源切断；工作电源电路，为上...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司授权不得商用。

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