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本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片扫描记录的技术，具体的说是一种晶片检测装置，对被加工晶片片盒内晶片数量及其位置的记录，解决现有技术中存在的对片盒扫描时间长，影响设备产能等问题。该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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