微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法技术

本发明专利技术公开了微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法。示例性实施例涉及微型加热器、微型加热器阵列、该微型加热器的制造方法以及采用微型加热器形成图案的方法。根据示例性实施例的微型加热器可以包括形成于基板上的金属图案。支撑件可以在金属图案的下面形成，支撑件将金属图案固定到基板同时将金属图案与基板间隔开。间隔物可以在基板上形成并且邻近基板，从基板到间隔物的顶表面的第一距离大于从基板到金属图案的顶表面的第二距离。微型加热器与设置在金属图案上面的目标基板之间的距离可以通过间隔物控制，从而允许在目标基板上形成较精细的图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种孩i型加热器、微型加热器的制造方法以及形成图案的方法。
技术介绍
有机电致发光(electroluminescent, EL)材料在有源矩阵有机发光二极管 (active matrix organic light-emitting diode, AMOLED )中普遍地4吏用。然而， 有机EL材料具有较弱的稳定性。因此，采用常规的光刻工艺从有机EL材 料形成图案是相对困难的。案。蒸发方法通过将有机EL材料蒸发并沉积到安装有遮光板的基板上来形 成图案。采用激光的转移方法(例如，激光转写(laser-induced thermal imaging, UTI )、激光诱导图案升华(laser-induced pattern-wise sublimation, LIPS ))通 常也用于形成图案。LITI和LIPS方法使用激光扫描来加热随后沉积为所需 图案的材料。
技术实现思路
根据示例性实施例的微型加热器可以包括金属图案、支撑件(support) 和间隔物(spacer)。金属图案可以在基板上形成。支撑件可以在金属图案的 下面形成，支撑件在将金属图案与基板间隔开的同时将金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型加热器，包括：　基板上的金属图案；　支撑件，在所述金属图案的下面，所述支撑件将所述金属图案固定到所述基板同时将所述金属图案与所述基板间隔开；以及　间隔物，在所述基板上并邻近所述金属图案，从所述基板到所述间隔物的顶表 面的第一距离大于从所述基板到所述金属图案的顶表面的第二距离。

【技术特征摘要】
KR 2008-6-10 53974/081.一种微型加热器，包括基板上的金属图案；支撑件，在所述金属图案的下面，所述支撑件将所述金属图案固定到所述基板同时将所述金属图案与所述基板间隔开；以及间隔物，在所述基板上并邻近所述金属图案，从所述基板到所述间隔物的顶表面的第一距离大于从所述基板到所述金属图案的顶表面的第二距离。2. 如权利要求1所述的微型加热器，还包括所述金属图案上的转移材料，当所述金属图案被加热时所述转移材料蒸 发。'3. 如权利要求2所述的微型加热器，其中所述转移材料包括电致发光材 料或金属材料。4. 如权利要求1所述的微型加热器，还包括 所述间隔物上的金属层。5. 如权利要求1所述的微型加热器，其中所述金属图案包括鴒、钼和碳 化硅中的一种或多种。6. 如权利要求1所述的微型加热器，其中所述支撑件或所述间隔物包括 玻璃和氧化硅中的 一种或多种。7. 如权利要求1所述的微型加热器，还包括 目标基板，在所述间隔物上并在所述金属图案的上面。8. 如权利要求7所述的微型加热器，其中所述目标基板与所述间隔物间 隔开。9. 一种微型加热器阵列，具有平行地布置的两个或多个根据权利要求1 所述的微型加热器。10. —种微型加热器的制造方法，包括 形成并图案化基板上的加热层；在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔濬熙，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]