下载微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法的技术资料

文档序号:4263342

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本发明公开了微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法。示例性实施例涉及微型加热器、微型加热器阵列、该微型加热器的制造方法以及采用微型加热器形成图案的方法。根据示例性实施例的微型加热器可以包括形成于基板上的金属图案。支撑件可以在金属图案的下面...
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