以旋转抵固方式固定圆片限制件模块的前开式圆片盒制造技术

一种前开式圆片盒，主要包括一盒体，其内部设有复数个插槽以容置复数个圆片，且在盒体的一侧面形成一开口可供复数个圆片的输入及输出，以及一门体，其具有一外表面及一内表面，门体是以内表面与盒体的开口相结合，并用以保护盒体内部的复数个圆片，其中前开式圆片盒的特征在于：门体的内表面上配置至少一限制件模块，限制件模块具有一基座，基座上设有复数个间隔排列的限制件及一孔洞，以及于门体的内表面上设有一抵固件，以使抵固件穿过限制件模块其基座的孔洞且经旋转限制件模块一角度后，抵固件抵固限制件模块上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种前开式圆片盒，特别是有关于前开式圆片盒其圆片限制件模块的固定方式，此固定方式是将圆片限制件模块旋转一角度后，使其固定于门体内表面上。
技术介绍
半导体圆片由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备，因此会被搬运到不同的工作站。为了方便圆片的搬运且避免受到外界的污染，常会利用一密封容器以供自动化设备输送。请参阅图l所示，为公知技术的圆片盒示意图。此圆片盒是一种前开式圆片盒(Front Opening Unified Pod， F0UP)，具有一盒体10及一门体20，盒体10内部设有复数个插槽11可水平容置复数个圆片，且在该盒体10的一侧面具有一开口 12可供圆片的载出及加载，而门体20具有一个外表面21及一个内表面22，门体20是由内表面22与盒体10的开口 12相结合，用以保护盒体10内部的复数个圆片。此外，在门体20的外表面21上配置至少一个门闩开孔23，用以开启或是关闭前开式圆片盒。在上述前开式圆片盒中，由于半导体圆片是水平地置于盒体10内部，因此，在前开式圆片盒搬运过程中需有一圆片限制件，以避免圆片因震动而产生异位或往盒体10的开口 12方向移动。 请参阅图2所示，是一美国公告专利6， 736， 268所公开的一种前开式圆片盒的门体结构示意图。如图2所示，门体20的内表面22配置有一凹陷区域24，此凹陷区域24是从内表面22的顶端221延伸到底端222且在左右二个门闩装置230 (位于门体内部)之间，而在凹陷区域24中再进一步配置有两个圆片限制件模块IOO，此圆片限制件模块100具有复数个圆片接触头(未显示于图中)，以利用这些圆片接触头顶持其相对的圆片，避免圆片在传送过程中因震动而异位或往盒体的开口方向移动。然而，上述圆片限制件模块100是设置于门体20内表面22的凹陷区域24之中，这使得圆片仅能贴平门体20其内表面22或仅能稍微落入凹陷区域24，无法有效地让圆片落入凹陷区域24以縮短前开式圆片盒前后径的尺寸。 接着，请参阅图3所示，为公知一种圆片限制件于限制圆片时的剖面示意图。圆片限制件110设置于门体20其凹陷区域24旁的内表面22上穿孔(Opening)O中，以利用复数个左右对称的圆片限制件110的弹力臂120个别顶持于各圆片，以避免圆片在传送过程中因震动而异位或往盒体的开口方向移动。然而，上述结构需在门体20内表面22两旁各开设一排穿孔O且又在圆片限制件IIO上增设插拴120P与圆形环以插设的方式将圆片限制件110固定于穿孔0内。如此构造在制造、组装均显复杂且挖设复数个穿孔0易造成气密不良以及成为门体20清洗烘干时的死角。
技术实现思路
依据公知技术的圆片盒其圆片限制件或圆片限制件模块容易造成圆片盒尺寸无法縮小、微粒粉尘清洗不易及松脱等问题，本专利技术的目的在于提供一种具有圆片限制件模块的前开式圆片盒。4 为实现上述目的，本专利技术提供的前开式圆片盒，主要包括一盒体，盒体内部设有复数个插槽以容置复数个圆片，且在盒体的一侧面形成一开口可供复数个圆片的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，门体是以内表面与盒体的开口相结合，用以保护盒体内部的复数个圆片，其中前开式圆片盒的特征在于门体的内表面上配置至少一限制件模块，限制件模块具有一基座，基座上设有复数个间隔排列的限制件及一孔洞，以及在门体内表面上设有一抵固件，以使抵固件穿过限制件模块其基座的孔洞且经旋转限制件模块一角度后，抵固件抵固于限制件模块之上，以固定限制件模块于门体内表面上。此外，上述限制件模块其基座进一步具有复数个辅助孔洞，使辅助孔洞以卡入的方式固定于门体内表面的固定柱，以达到较佳的固定效果，使限制件模块稳固定地安装或固定于门体内表面上。 本专利技术的效果是 1)将圆片限制件模块配置于门体内表面的凹陷区域两旁的凸出平台上，使凹陷区域能有效的容置圆片，可縮短前开式圆片盒前后径的尺寸。 2)圆片限制件模块可以容易且稳固地安装或固定于凹陷区域两旁的凸出平台上，可避免在门体内表面设置两排穿孔，造成制造上及组装上的困难。 3)将圆片限制件模块配置于门体内表面的凹陷区域两旁的凸出平台上，因此，圆片限制件与圆片摩擦所产生的微粒粉尘可以聚集于凹陷区域角落，且要清洁圆片盒时，可轻易地将微粒粉尘给予清除，不需将圆片限制件模块移除。附图说明图1是公知的一种圆片盒的示意图；图2是公知的一种前开式圆片盒的门体结构示意图；图3是公知的一种圆片限制件于限制圆片时的剖面示意图；图4是本专利技术的一种前开式圆片盒的示意图；图5是本专利技术的一种前开式圆片盒其圆片限制件模块与圆片接触的示意图；图6A及图6B是本专利技术的前开式圆片盒其圆片限制件模块尚未固定于及已固定于门体内表面的示意图7是本专利技术的圆片限制件模块其复数个间隔排列限制件的一种形式；图8A至图8C是本专利技术的圆片限制件模块其基座的孔洞的另一种设计；图9是本专利技术的圆片限制件模块其复数个间隔排列限制件的另一种形式；图10是本专利技术的另一种形式的限制件与圆片接触的示意图；图11是本专利技术的另一种前开式圆片盒的示意图；图12A是本专利技术的另一种前开式圆片盒其圆片限制件模块与圆片刚接触的示意图；及图12B是本专利技术的另一种前开式圆片盒其圆片限制件模块与圆片完全接触的示意图。附图中主要组件符号说明10盒体、11插槽、12开口、2Q门体、21外表面、22内表面、24凹陷区域、25凸出平台、26抵固件、261突出部、262抵固部、27固定柱、30限制件模块、31基座、31L长边、31S短边、32孔洞、33辅助孔洞、34矩形安装孔、35弹性片、300限制件、301悬臂、302凸出部、302G中央导槽、400限制件、401支撑臂、402顶持部、500限制件、501基部、502曲臂、503第一接触端、504第二接触端。具体实施例方式为使本专利技术所运用的
技术实现思路
、专利技术目的及其达成的功效有更完整且清楚的了解，结合附图作详细说明。 首先，请参阅图4所示，是本专利技术的一种前开式圆片盒的示意图。此前开式圆片盒包括一盒体10及一门体20，在盒体10的内部设有复数个插槽11以容置复数个圆片，且在盒体10的其中一个侧面有一开口 12可提供圆片的输入以及输出。门体20则是具有一外表面21及一内表面22，在门体20的内表面22约中间处配置有一凹陷区域24，此凹陷区域24可进一步将门体20的内表面22分割成两凸出平台25，而在两凸出平台25上各设有一圆片限制件模块30。 而如图5所示，当门体20关闭盒体10时，由于凹陷区域24内并未配置其它组件，故其可用来收纳盒体10内部的复数个圆片，以减少整个圆片盒的前后径尺寸。而凸出平台25上的圆片限制件模块30亦能将盒体10中的每一个圆片推至固定位置并加以限制晃动。而由于圆片限制件模块30未置于凹陷区域24内，因此，要清洁圆片盒时，可轻易地将微粒粉尘给予清除，不需将圆片限制件模块30移除。此外，在本专利技术的两凸出平台25中，均配置有一门闩装置(未显示于图中)，且每一门闩装置在相应的外表面21上形成门闩开孔，以利门体20的关闭或开启。 请参阅图6A及图6B，是图4前开式圆片盒其圆片限制件模块尚未固定于及已固定于门体内表面的示意图。本专利技术的圆片限制件模块30位于凹陷区域24两旁的两凸出平台25上，圆片限制件模块30包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种前开式圆片盒，主要包括一盒体，该盒体内部设有复数个插槽以容置复数个圆片，且在该盒体的一侧面形成一开口可供该复数个圆片的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体是以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该复数个圆片，其中该前开式圆片盒的特征在于：该门体的该内表面配置至少一限制件模块，该限制件模块具有一基座且在该基座上设有复数个间隔排列的限制件，其中该限制件模块的该基座具有一孔洞，以及于该门体的该内表面上设有一抵固件，以使该抵固件穿过该限制件模块其基座的该孔洞且经旋转该限制件模块一角度后，该抵固件抵固该限制件模块上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕保义，林志铭，潘冠纶，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]