多流道流体输送装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术为一种多流道流体输送装置的制造方法，其包含下列步骤：形成一阀体层，具有至少一出口通道及至少一入口通道；于该阀体层上对应形成一阀体盖层，其具有一压力腔室；形成一可挠薄膜，其具有多个阀门（片）结构，该多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构不同；形成一致动装置；将该可挠薄膜设置于该阀体层及该阀体盖层之间，且将该阀体层、该可挠薄膜与该阀体盖层相互组装定位；以及将该致动装置封闭该阀体盖层的该压力腔室，以形成一多流道流体输送装置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多流道流体输送装置的制造方法，其包含下列步骤：　（ａ）形成一阀体层，其具有至少一出口通道及至少一入口通道；　（ｂ）于该阀体层上对应形成一阀体盖层，其具有一压力腔室；　（ｃ）形成一可挠薄膜，其具有多个阀门结构，该多个阀门 结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构的刚性不同；　（ｄ）形成一致动装置；　（ｅ）将该可挠薄膜设置于该阀体层及该阀体盖层之间，且将该阀体层、该可挠薄膜与该阀体盖层相互组装定位；以及　（ｆ） 将该致动装置封闭该阀体盖层的该压力腔室，以形成一多流道流体输送装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈世昌，张英伦，余荣侯，邱士哲，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]