【技术实现步骤摘要】
【】本案是关于一种微型流体泵的制造方法，尤指一种通过半导体制程来制作微型流体泵的制造方法。
技术介绍
0、
技术介绍
1、随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势，而微机电泵能够将流体输送装置的尺寸大幅度地缩小，故微机电泵明显为当下微型化的流体输送装置的主要发展方向。
2、请参考图5所示，图5为先前技术微型流体泵90，包含第一基板901、第一接着层902、第二基板903及压电组件904。第一基板901是为硅基材，具有多个第一流体通道9011，该多个第一流体通道9011呈锥形；第一接着层902是为氧化硅，定义出第二流体通道9021，并叠设于第一基板901上；第二基板903叠设第一接着层902上，包含由下而上依序堆栈的硅结构层9031、第二接着层9035、硅薄化层9037；硅结构层9031具有一个穿孔9032、振动部9033及固定部9034；第二接着层9035为...
【技术保护点】
1.一种微型流体泵的制造方法，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，图案化蚀刻该第二接着层后，产生一共振腔室。
3.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，图案化蚀刻该第二基板后，该第二基板区分为一穿孔、一振动部及一固定部。
4.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，图案化蚀刻该绝缘层及该第三基板后，产生至少一第三流体通道，该第三基板区分为一致动部、至少一外周部，其中，至少一连接部连接该致动部与该外周部，该至少一第三流体通道亦介于该致动部与该外周部之间。
5.如权...
【技术特征摘要】
1.一种微型流体泵的制造方法，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，图案化蚀刻该第二接着层后，产生一共振腔室。
3.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，图案化蚀刻该第二基板后，该第二基板区分为一穿孔、一振动部及一固定部。
4.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，图案化蚀刻该绝缘层及该第三基板后，产生至少一第三流体通道，该第三基板区分为一致动部、至少一外周部，其中，至少一连接部连接该致动部与该外周部，该至少一第三流体通道亦介于该致动部与该外周部之间。
5.如权利要求4所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，位于该第三基板的该致动部上的该下电极层、该压电层、该绝缘层及该上电极层为一压电组件。
6.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，将该第二基板接合该第三基板的顺序优先于将该第二基板接合该第一基板。
7.如权利要求1所述微型流体泵的制造方法，其特征在于，该第一接着层是借由物理气相沉积或化学气相沉积或热氧化形成于该第一基板的表面。
8.如权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，张正明，戴贤忠，黄翊展，韩永隆，林宗义，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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