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一种微型流体泵的制造方法，包含：准备一第一基板；蚀刻该第一基板的一上表面，形成至少一第一凹槽；蚀刻该第一基板的该上表面，形成一第二凹槽，其中该至少一第一凹槽位于该第二凹槽的底部；沉积一第一接着层于该第一基板的该至少一第一凹槽及该第二凹槽的表...
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