防止酸液喷溅的挡板制造技术

本实用新型专利技术提出一种防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，所述挡板包括挡板部和固定部，其中挡板部的形状与机台腔室相配合，固定部设置在腔室之间的机台上，挡板部装设于固定部上。本实用新型专利技术提出的防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，可有效避免坑状缺陷的发生，从而提高产品良率。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术设计半导体制造领域，且特别涉及一种设置于机台腔室之间防止酸液 喷溅的挡板。
技术介绍
在集成电路中，制造铜导线的方法是以化学电镀(Electro-Chemical Plating)设 备在已沉积铜晶种层上电镀一层铜薄膜。电镀后，晶圆上铜薄膜的周围一圈总是产生剥落 的情形，以至于造成后续工艺粒子污染或合格率低的情况。因此在化学电镀工艺后，增加一 道工艺以洗去晶圆上周围一圈的铜薄膜，以避免铜薄膜剥落所产生的后续问题。在已知的化学电镀设备中，设备商已经设计了一个洗边组件用来洗去晶圆上周围 一圈的铜薄膜。已知洗边工艺借助洗边组件在电镀后晶圆的周围一圈喷洒用来溶解铜薄膜 的溶液，以去除周围的铜薄膜。常用来溶解铜薄膜的溶液包含硫酸、过氧化氢和去离子水的 混合物。然而，同一机台内相邻腔室在对晶圆进行洗边处理的过程中，由于晶圆在腔室内 旋转，有可能造成其中的酸液飞溅到腔室之外，从而滴在邻近的腔室已经处理完毕的晶圆 表面，形成随机的坑状缺陷。由于这类坑状缺陷容易造成晶圆报废，因此其降低了产品的良率。
技术实现思路
本技术提出一种防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，可有效避免坑 状缺陷的发生，从而提高产品良率。为了达到上述目的，本技术提出一种防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室 之间，所述挡板包括挡板部和固定部，其中挡板部的形状与机台腔室相配合，固定部设置在 腔室之间的机台上，挡板部装设于固定部上。进一步的，所述固定部包括底座，以及底座上部的两个卡合板，所述挡板部卡入两 个卡合板中固定。进一步的，所述底座具有螺栓将底座固定于机台上。进一步的，所述挡板部为周边具有第一长方形缺口、第二长方形缺口和凸字形缺 口的多边形挡板。进一步的，所述挡板部为周边具有第三长方形缺口和第四长方形缺口的多边形挡 板。本技术提出的防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，其中挡板部的高 度和宽度用于足以防止酸液喷溅至其他相邻腔室的情况发生，可有效避免坑状缺陷的发 生，从而提高产品良率。同时挡板部的形状与机台腔室相配合，不会影响机台腔室的正常使 用，挡板部可拆卸地装设于固定部的两个卡合板之间，便于清洗或替换。附图说明图1所示为本技术较佳实施例的防止酸液喷溅的挡板结构示意图。图2所示为本技术较佳实施例的挡板部的示意图。图3所示为本技术较佳实施例的固定部的侧视图。图4所示为本技术较佳实施例的固定部的俯视图。图5所示为本技术又一较佳实施例的挡板部的示意图。图6所示为本技术又一较佳实施例的固定部的侧视图。图7所示为本技术又一较佳实施例的固定部的俯视图。具体实施方式为了更了解本技术的
技术实现思路
，特举具体实施例并配合所附图说明如下。本技术提出一种防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，可有效避免坑 状缺陷的发生，从而提高产品良率。请参考图1，图1所示为本技术较佳实施例的防止酸液喷溅的挡板结构示意 图。本技术提出一种防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，所述挡板包括挡板部 100和固定部200，其中挡板部100的形状与机台腔室相配合，固定部200设置在腔室之间 的机台上，挡板部100装设于固定部200上。请参考图2，图2所示为本技术较佳实施例的挡板部的示意图。所述挡板部 100为周边具有第一长方形缺口 110、第二长方形缺口 120和凸字形缺口 130的多边形挡 板。其中挡板部100的多边形形状与机台腔室相配合，用户选择挡板部100的任一边装设 于固定部200上，具体要求按照不会影响机台腔室的正常使用装设，例如不会影响腔室盖 子的升降，本实施例选择具有凸字形缺口 130的一边装设。挡板部100的高度和宽度用于 足以防止酸液喷溅至其他相邻腔室的情况发生，可有效避免坑状缺陷的发生，从而提高产 品良率。再请参考图3和图4，图3所示为本技术较佳实施例的固定部的侧视图，图4 所示为本技术较佳实施例的固定部的俯视图。所述固定部200包括底座210，以及底 座210上部的两个卡合板220，所述挡板部100卡入两个卡合板220中固定。其中，两个卡 合板220的宽度小于底座210的宽度，挡板部100可拆卸地装设于固定部200的两个卡合 板220之间，便于清洗或替换，例如在做机台保养或者维修的时候，进行拆卸操作，将挡板 部100清理干净，挡板部100的纵向高度大于所述卡合板220。所述底座210具有螺栓230 将底座210固定于机台上，在机台保养或者维修的时候也可将固定部200拆卸清洗。再请参考图5，图5所示为本技术又一较佳实施例的挡板部的示意图。所述挡 板部300为周边具有第三长方形缺口 310和第四长方形缺口 320的多边形挡板。其与图2 所示的第一较佳实施例的挡板部300可分别装设于不同的腔室之间，具体形状和高度按照 机台腔室确定。挡板部300的高度和宽度用于足以防止酸液喷溅至其他相邻腔室的情况发 生，可有效避免坑状缺陷的发生，从而提高产品良率。再请参考图6和图7，图6所示为本技术又一较佳实施例的固定部的侧视图， 图7所示为本技术又一较佳实施例的固定部的俯视图。固定部400的底座410上的两 个卡合板420的宽度等于底座的宽度，底座410具有螺栓430将底座410固定于机台上，在机台保养或者维修的时候也可将固定部400拆卸清洗。其他技术特征与图3和图4所示为第一较佳实施例相同，这里不再重述。综上所述，本技术提出的防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，其中挡 板部的高度和宽度用于足以防止酸液喷溅至其他相邻腔室的情况发生，可有效避免坑状缺 陷的发生，从而提高产品良率。同时挡板部的形状与机台腔室相配合，不会影响机台腔室的 正常使用，挡板部可拆卸地装设于固定部的两个卡合板之间，便于清洗或替换。虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本技术。本实 用新型所属
中具有通常知识者，在不脱离本技术的精神和范围内，当可作各 种的更动与润饰。因此，本技术的保护范围当视权利要求书所界定者为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，其特征在于，所述挡板包括挡板部和固定部，其中挡板部的形状与机台腔室相配合，固定部设置在腔室之间的机台上，挡板部装设于固定部上。

【技术特征摘要】
一种防止酸液喷溅的挡板，设置于机台腔室之间，其特征在于，所述挡板包括挡板部和固定部，其中挡板部的形状与机台腔室相配合，固定部设置在腔室之间的机台上，挡板部装设于固定部上。2.根据权利要求1所述的防止酸液喷溅的挡板，其特征在于，所述固定部包括底座，以 及底座上部的两个卡合板，所述挡板部卡入两个卡合板中固定。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李广宁，曾玉帆，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]