电浆蚀刻机台及其顶出销制造技术

一种电浆蚀刻机台的顶出销，包含有一绝缘外壳与一导电中心销安装于绝缘外壳之中。导电中心销在顶起基板时，可直接接触基板，以移除基板上的残留静电。绝缘外壳则形成抗腐蚀且高阻抗的保护层。导电中心销可进一步设置一安全槽，以避免造成下电极的损伤，也可以设置一扳手固定槽，以方便固定顶出销。一种电浆蚀刻机台包含一上电极、一下电极、一安装于该下电极的下方的升降装置以及多个顶出销，顶出销设置于该升降装置。本发明专利技术可有效地导引基板与下电极上残留的静电至接地线路，避免静电造成玻璃基板的损伤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电浆蚀刻装置，特别是一种电浆蚀刻机台及其顶出销。
技术介绍
随着光学科技与半导体技术的进步，液晶显示装置(Liquid Crystal Display ;LCD)已广泛地应用于电子产品显示装置上。液晶显示器具有高画质、体积小、重量轻、 低电压驱动、低消耗功率及应用范围广等优点，故已广泛地应用于可携式电视、行动电 话、摄录放影机、笔记型计算机、桌上型显示器、以及投影电视等消费性电子或计算机 产品中，成为显示器的主流。 —般液晶显示器的主体为液晶单元，主要是由两片透明基板以及被封于基板之 间的液晶所构成。目前液晶显示器是以薄膜晶体管(Thin Film Transistor ; TFT)液晶显示 器为主，液晶上下两层玻璃基板主要是用来夹住液晶，下层基板上有薄膜晶体管，而上 层基板则为一彩色滤光片(Color filter)。彩色滤光片在上层基板上形成红(R)、绿(G)、蓝 (B)三原色的彩色滤光层，以使液晶显示器呈现出丰富的颜色图像。 薄膜晶体管基板需通过光学微影工艺，以在玻璃基板上形成所需的薄膜晶体 管。传统的电浆蚀刻机台因电浆被下电极所吸引，而直接往下冲撞放置于下电极表面的 基板，以达到蚀刻的目的。然而，下电极因长久使用，其表面浮凸图案(embossment)的 周围，易形成生成物的沉积。此生成物会造成电容效应，使静电累积于下电极表面，以 致在玻璃基板与下电极接触时，造成玻璃基板的损伤。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种电浆蚀刻机台及其顶出销，不仅可将玻 璃基板顶起，并可将基板与下电极上残留的静电接地，有效地避免电浆蚀刻工艺中，玻 璃基板的损伤。 为了实现上述目的，本专利技术提供了一种顶出销，用于一电浆蚀刻机台，以顶起 一基板，其中，该顶出销包含 —绝缘外壳；以及 —导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以 移除该基板上的残留静电。 上述的顶出销，其中，所述的导电中心销的材料选自于金、银、铜、铁、铝合 金与不锈钢所构成的群组，该绝缘外壳的材料选自于聚苯并咪唑、聚醚醚酮、陶瓷、石 英与聚酰亚胺所构成的群组。 上述的顶出销，其中，所述的导电中心销具有一安全槽，该安全槽距离该导电 中心销的一顶端92毫米。 上述的顶出销，其中，所述的绝缘外壳具有一扳手固定槽，设置于该绝缘外壳 的上方部位，用以固定该顶出销，该扳手固定槽，与该绝缘外壳的一顶端距离12毫米。 上述的顶出销，其中，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一倒角。 上述的顶出销，其中，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一斜面倒角。 上述的顶出销，其中，所述的导电中心销具有一底部接地端，以电性连接该电浆蚀刻机台的一接地线路。 为了更好地实现上述目的，本专利技术还提供了一种顶出销，其中，包含 一绝缘外壳；以及一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中。为了更好地实现上述目的，本专利技术还提供了一种电浆蚀刻机台，其中，包含 一上电极；一下电极，具有多个第一开口与多个第二开口 ； 一升降装置，安装于该下电极的下方；以及多个如上述的顶出销，其中，所述的顶出销安装于该升降装置上，且穿过所述 第二开口，当该基板进行蚀刻时，该升降装置驱动所述顶出销降下，使该基板平置于该 下电极之上，并覆盖所述第二开口，当所述顶出销顶起该基板时，该导电中心销接触该 基板，以移除该基板上的残留静电。 上述的电浆蚀刻机台，其中，所述的第一开口为冷却气体的入口，以降低该基 板的温度。 上述的电浆蚀刻机台，其中，所述的下电极在电浆蚀刻时，还通入一预定电 压，以产生静电吸附该基板。 为了更好地实现上述目的，本专利技术还提供了一种电浆蚀刻机台，其中，包含 一上电极；一下电极，具有多个开口 ； 一升降装置，安装于该下电极的下方；以及多个如上述的顶出销，其中，所述的顶出销设置于该升降装置上，且分别对应 穿过所述开口。 本专利技术的技术效果在于本专利技术所公开的电浆蚀刻机台及其顶出销，可有效地 导引基板与下电极上残留的静电至接地线路，避免静电造成玻璃基板的损伤。还可通过 安全槽的设计，降低下电极的损坏机率。扳手固定槽则方便顶出销的安装与拆卸。绝缘 外壳的顶端倒角则可以避免干涉导电中心销与玻璃基板的接触，且绝缘外壳可有效地保 护导电中心销，进而提升液晶显示器的质量与产量。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限 附图说明 图1为本专利技术所公开的一种电浆蚀刻机台的示意图； 图2为本专利技术所公开的电浆蚀刻机台的下电极与顶出销的示意图； 图3A为顶出销的结构示意图； 图3B为导电中心销的结构示意图； 图3C为绝缘外壳的结构示意图。其中，附图标记100电浆蚀刻机台101电浆110上电极120下电极130顶出销140升降装置150玻璃基板222第一开口224第二开口300顶出销310绝缘外壳312扳手固定槽314倒角320导电中心销322安全槽324底部接地端326固定部L距离330顶部接地端具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的结构原理和工作原理作具体的描述 本专利技术公开了一种电浆蚀刻机台及其顶出销，该顶出销不仅有效地将玻璃基板 顶起，并可将玻璃基板与下电极上残留的静电导引至接地线路，以在电浆蚀刻工艺中， 有效地避免玻璃基板的损伤。以下将配合图示以说明本专利技术的实施方式，并详细说明本 专利技术的技术特征。 参阅图l，其为本专利技术所公开的一种电浆蚀刻机台的示意图。电浆蚀刻机台100 包含有一上电极110、 一下电极120，以及一升降装置140，其上安装有多个顶出销130， 顶出销130经由下电极120上的开口穿过下电极120，以利用升降装置140与顶出销130， 将玻璃基板150顶起或放置于下电极120的表面。 进一步参阅图2，其为电桨蚀刻机台100的下电极120与顶出销130的对应关系 示意图。下电极120具有多个第一开口 222与多个第二开口 224。其中，第一开口222 用来通入冷却用的气体，例如是氦气(helium ; He)或其它惰性气体，以在进行蚀刻工艺 时，有效地降低玻璃基板150的温度，进而避免蚀刻过程玻璃基板150温度过高的情况。 顶出销130则安装于第二开口 224之中，并穿过下电极120。当欲进行玻璃基板 150的蚀刻时，升降装置140下降，以驱动顶出销130下降，使玻璃基板150平置于下电 极120上，并覆盖第二开口 224。当顶出销130将玻璃基板150顶起时，由于本专利技术的顶 出销130具有导电的功能，故可在接触玻璃基板150时，有效地移除玻璃基板150上的残留静电。此外，由于玻璃基板150此时平置于下电极120上，故顶出销130可进一步地 将下电极120上的残留静电加以移除。 此外，当进行电浆蚀刻时，下电极120还可通入一预定电压，以产生静电吸附 玻璃基板150，以避免其蚀刻工艺中产生移动。而上电极110可以为一阳极，而下电极 120可以为一阴极，且射频产生器(radio frequency generator ; RF generator)也连接于下电 极120。 进一步参阅图3A，其为顶出销的结构示意图。如图中所示，顶出销300包含有 一绝缘外壳310以及一导电中心销320安装于绝缘外壳310中，且导电中心销320在顶起 玻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种顶出销，用于一电浆蚀刻机台，以顶起一基板，其特征在于，该顶出销包含：　　一绝缘外壳；以及　　一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以移除该基板上的残留静电。

【技术特征摘要】
一种顶出销，用于一电浆蚀刻机台，以顶起一基板，其特征在于，该顶出销包含一绝缘外壳；以及一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以移除该基板上的残留静电。2. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的导电中心销的材料选自于金、 银、铜、铁、铝合金与不锈钢所构成的群组，该绝缘外壳的材料选自于聚苯并咪唑、聚 醚醚酮、陶瓷、石英与聚酰亚胺所构成的群组。3. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的导电中心销具有一安全槽，该安 全槽距离该导电中心销的一顶端92毫米。4. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳具有一扳手固定槽，设 置于该绝缘外壳的上方部位，用以固定该顶出销，该扳手固定槽，与该绝缘外壳的一顶 端距离12毫米。5. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一倒角。6. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一斜面 倒角。7. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的导电中心销具有一底部接地端， 以电性连接该电浆蚀刻机台的一接地...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴仲尧，陈信全，徐弘迪，陈璟桦，吴志坚，杨总胜，杨中维，江舜彦，宋嘉恩，杨胜淼，曾景义，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]