本发明专利技术提供一种基板支承装置、基板处理装置及基板支承方法，能够确保托盘保持的可靠性及动作的可靠性，提高生产性。基板支承装置具有：用于搭载基板（１２）的托盘（８）；用于在托盘为铅垂姿态的状态下保持托盘径向两端部的托盘两端保持机构；用于保持托盘中心部以使托盘能够旋转的托盘中央保持机构（１３）；用于使装置主体移动的移动机构（１１）。托盘两端保持机构从托盘的板厚方向两侧把持托盘径向两端部，在移动过程中，托盘两端保持机构保持托盘；在从托盘两端保持机构向托盘中央保持机构交接时，由两保持机构保持托盘，在基板处理时，由托盘中央保持机构保持托盘的中心部以使托盘能够旋转，解除由托盘两端保持机构进行的保持。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一边支承基板一边在真空室间中移动的基板支承装置、气密连接多个 真空室的在线型(inline)的基板处理装置及基板支承方法。
技术介绍
在在线型的基板处理装置中，气密连接有包含进行薄膜成膜的处理腔在内的多个 真空室。在该在线型基板处理装置中，具有一边支承基板一边在真空室间中移动的基板支 承装置(支座，carrier)，以连续地对基板实施真空成膜处理。从提高生产性的观点出发， 该基板支承装置是具有搭载多个基板并能够旋转的圆板状的托盘，将该托盘保持为铅垂姿 态，并能够同时从基板的两面侧进行薄膜成膜。作为与此关联的技术，提出一种基板支承装置，具有能够搭载1个以上基板的托 盘，利用被支承体固定在能够并进移动的支座上的旋转支承机构，对托盘的中央部加以支 承，使托盘能够转动(参照专利文献1)。在该基板支承装置中，在被固定于支座上的第一支 承体上架设第二支承体，并在该第二支承体的中央部设置旋转支承机构，托盘和基板支承 装置为互相不能分离的构造。但是，在专利文献1的技术中，托盘和基板支承装置为一体的构造，从而必须在支 承装置自身上搭载旋转支承机构，不能够搭载大型的旋转驱动源，不能提高旋转速度。另 外，托盘的更换繁琐，装置成为笨重而构造复杂，真空室间中的输送速度变慢。因此，难以谋 求在线型基板处理装置生产性的提高。专利文献1 日本实开平07-15773号公报(参照图1)因此，考虑如下的基板支承装置，在支座上搭载带有旋转功能的支承台，并采用在 该带有旋转功能的支承台上只搭载托盘的构造，并在处理腔内设置从支座向上方举起托 盘并使该托盘离开支座的升降机构；以使托盘能够旋转的方式保持托盘的中央部的机构。根据该装置，托盘和基板支承装置是能够分离的构造，具有能够应对专利文献1 中的各种问题的构造，但产生了如下新问题。S卩，对于带有旋转功能的支承台上的托盘，通过设置在处理腔内的升降机构，把持 托盘外径部并使其上升，通过设置在该腔内的托盘保持驱动机构，以使托盘能够旋转的方 式保持托盘的中央部，在托盘从支座分离的状态下进行成膜。但是，由于腔内是摄氏100 度 300度的高温环境，所以因托盘的温度上升，托盘外径热膨胀，其中心位置也上升。由 此，存在着在升降机构进行升降动作时，托盘的中心位置偏移，托盘保持驱动机构不能正常 工作，不能够保持托盘的问题。另外，升降动作费时，阻碍生产节奏(tact)的加快。因此， 必须费工夫根据各处理条件调整上升位置而进行使用等。另外，托盘是只搭载在带有旋转功能的支承台上的构造。因此，发生升降动作异常 和托盘保持动作异常等的机构类动作异常时，存在发生托盘从带有旋转功能的支承台上落 下、或即便不落下保持位置也出现偏移等的输送异常的问题。由此，存在着导致在下一工序 中容易产生异常，往往需要根据情况停止生产进行维护，生产性变差的问题。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述情况，其目的是提供一种基板支承装置及具有该基板支承装置的 在线型的基板处理装置，对托盘的保持构造进行改良，并确保托盘保持的可靠性及动作的 可靠性，防止输送异常并提高生产性。而且，为实现上述目的，本专利技术提供一种基板支承方法、控制程序及存储介质。能够实现上述目的的本专利技术的结构如下所述。S卩，第一技术方案的基板支承装置具有托盘，其用于搭载1个以上基板；托盘两 端保持机构，其配置在支承装置主体上，用于在所述托盘的基板搭载面为铅垂姿态的状态 下保持所述托盘的径向两端部；托盘中央保持机构，其配置在所述托盘的搭载面的中心部， 用于以使托盘能够旋转的方式保持该托盘的中心部；以及用于使所述支承装置主体移动的 移动机构，该基板支承装置中，所述托盘两端保持机构是从所述托盘的板厚方向两侧把持 所述托盘的径向两端部的机构，用于在所述装置主体的移动过程中，由该托盘两端保持机 构保持所述托盘，在由所述托盘两端保持机构进行的保持和由所述托盘中央保持机构进行 的保持之间进行过渡时，由两保持机构保持所述托盘，在基板处理时，由所述托盘中央保持 机构以使托盘能够旋转的方式保持所述托盘的中心部，解除由所述托盘两端保持机构进行 的保持。另外，第二技术方案的基板支承装置具有托盘，其用于搭载1个以上基板；托盘 两端保持机构，其配置于支承装置主体上，用于在所述托盘的基板搭载面为铅垂姿态的状 态下保持所述托盘的径向两端部；托盘中央保持机构，其配置在所述托盘的搭载面的中心 部，用于以使托盘能够旋转的方式保持该托盘的中心部；以及用于使所述支承装置主体移 动的移动机构，该基板支承装置中，所述托盘两端保持机构是从所述托盘的径向外侧与设 置于所述托盘的径向两端部的卡合部卡合的机构，在所述装置主体的移动过程中，该托盘 两端保持机构保持上述托盘，在由所述托盘两端保持机构进行的保持和由所述托盘中央保 持机构进行的保持之间进行过渡时，由两保持机构保持所述托盘，在基板处理时，由所述托 盘中央保持机构将所述托盘保持为能够旋转的状态，解除由所述托盘两端保持机构进行的 保持。专利技术的效果根据第一技术方案的基板支承装置，由于上述托盘两端保持机构是从托盘的板厚 方向两侧来把持托盘的径向两端部的机构，所以在输送托盘时不会发生托盘的落下和位置 偏移。另外，由于是从板厚方向两侧进行把持的机构，所以在托盘被加热而发生热膨胀的情 况下，基板支承装置能够以允许热膨胀导致的托盘外径的增量的程度向托盘所在平面内的 方向(以下称面内方向)偏置。而且，在由上述托盘两端保持机构进行的保持和由上述托 盘中央保持机构进行的保持之间进行过渡时，由两保持机构保持上述托盘。因此，托盘的中 心位置不会发生偏移，能够确保由上述托盘中央保持机构进行的托盘保持的可靠性及动作 的可靠性，防止输送异常并提高生产性。根据第二技术方案的基板支承装置，上述托盘两端保持机构是从托盘的径向外侧 与设置于托盘的径向两端部的卡合部卡合的机构，从而在输送托盘时不会发生托盘的落下 和位置偏移。另外，由于是从托盘的径向外侧与上述卡合部卡合的机构，所以在托盘被加热而热膨胀的情况下，基板支承装置能够以允许热膨胀导致的托盘外径增量的程度向面内方 向偏置。而且，在由上述托盘两端保持机构进行的保持和由上述托盘中央保持机构进行的 保持之间进行过渡时，由两保持机构保持托盘。因此，根据第一以及第二技术方案，托盘的中心位置不会发生偏移，能够确保由上 述托盘中央保持机构进行的托盘保持的可靠性及动作的可靠性，防止输送异常并提高生产 性。附图说明图1是对本专利技术的在线型基板处理装置的概略结构进行例示的俯视图。图2是表示第一实施方式的基板支承装置的概略结构的主视图及俯视图。图3A是表示第一实施方式的托盘两端保持机构的结构的概略主剖视图。图3B是表示第一实施方式的托盘两端保持机构的闭合状态的概略俯剖视图。图3C是表示第一实施方式的托盘两端保持机构的开启状态的概略俯剖视图。图4是表示第一实施方式的夹持解除机构的构造的概略俯剖视图。图5是对控制器进行例示的框图。图6是对第一实施方式的托盘保持机构的动作进行说明的图。图7A是表示第二实施方式的基板支承装置的主视图。图7B是表示第二实施方式的托盘两端保持机构的开启状态的主视图。图8是对第二实施方式的托盘保持机构的动作进行说明的概略图。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的实本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板支承装置，其特征在于，具有：托盘，其用于搭载１个以上基板；托盘两端保持机构，其配置在支承装置主体上，用于在所述托盘的基板搭载面为铅垂姿态的状态下保持所述托盘的径向两端部；托盘中央保持机构，其配置在所述托盘的搭载面的中心部，用于以使托盘能够旋转的方式保持该托盘的中心部；以及用于使所述支承装置主体移动的移动机构，所述托盘两端保持机构是从所述托盘的板厚方向两侧把持所述托盘的径向两端部的机构，在所述装置主体的移动过程中，该托盘两端保持机构保持所述托盘，在由所述托盘两端保持机构进行的保持和由所述托盘中央保持机构进行的保持之间进行过渡时，由两保持机构保持所述托盘，在基板处理时，由所述托盘中央保持机构以使托盘能够旋转的方式保持所述托盘的中心部，解除由所述托盘两端保持机构进行的保持。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马岛和之，御所窪玄，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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