减反射膜、光学构件、光学系统技术方案

本发明专利技术提供一种在更宽的波段具有充分降低的反射率的减反射膜。该减反射膜（２０）设置在光学基板（１００）的表面（１００Ｓ）上，依次具备缓冲层（２２）和减反射层（２１）。减反射层（２１）包括从缓冲层（２２）侧依次层叠的第１层（１）～第８层（８），第１层（１）及第６层（６）由对ｄ线具有１．３５以上１．５０以下的折射率的低折射率材料构成，第３层（３）及第５层（５）及第７层（７）由对ｄ线具有１．５５以上１．８５以下的折射率的中间折射率材料构成，第２层（２）、第４层（４）及第８层（８）由具有对ｄ线在１．７０以上２．５０以下的范围且高于中间折射率材料的折射率的高折射率材料构成。缓冲层（２２）具有与减反射层（２１）的第８层（８）相接的第９层（９）由上述的中间折射率材料构成的多层结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种例如形成于透镜或滤光片等的光学构件的一面，对预定的波段(波長带)的光发挥减反射(反射低减)效果的减反射膜、以及具备减反射膜的光学构件及光学系统。
技术介绍
一般，在照相机或电视广播用摄像机等摄像装置中，在其光路上配置多个透镜、棱镜，或者滤光片等光学构件。在各光学构件的表面，若光入射则其光的一部分成为反射光。在此，从若光学构件的总数增加则与此对应地反射光的总量增加的情况来看，例如在广播用摄像机中出现影像发生闪烁或重像等障碍。而且，从各光学构件表面的反射率对入射光的波长具有分布并且根据各光学构件的构成材料具有各种反射率的波长依存性的情况来看，色度平衡恶化，有必要调整在摄像装置整体的白平衡。 由此，以往以来，在各光学构件的表面设置减反射膜(或者也称为防反射膜)。减反射膜是组合具有互不相同的折射率的电介质膜的多层膜，对于其构成例如在下述的非专利文献1所公开。在该非专利文献1中，公开有5层结构的防反射膜，正尝试用于在持续更宽频带得到低的反射率。 非专利文献1，OPTRONICS公司，平成元年10月9日，p.246-247 而且，除了上述非专利文献1以外，也在专利文献1公开有9层结构的防反射膜。 专利文献1专利公开2002-267801号公报 上述非专利文献1所公开的防反射膜，例如设置在对d线具有低于1.70的折射率的光学基板上时，发挥比较良好的低反射率特性。然而，设置在具有超过1.75的高折射率的光学基板上时，如以下说明那样可知失去反射率分布的平坦性，并具有在特定的波长反射率上升的倾向。 表1及表2表示相当于非专利文献1所公开的防反射膜的、具有层叠结构的防反射膜(以往例1、2)的基本数据(构成材料、折射率、光学膜厚)，图45表示具有表1及表2的基本数据的防反射膜的反射率分布。 中心波长λ0＝500nm 表1的以往例1为形成防反射膜的光学基板的折射率比较低时的构成例，表2的以往例2为光学基板的折射率比较高时的构成例。另外，在表1及表2中，表示以PrAlO3为主成分的物质M1(Merck(メルク)公司)，表示以铝酸镧(La2xAl2yO3(x+y))为主成分的物质M3(Merck公司)，表示以LaTiO3为主成分的物质H4(Merck公司)。在图45中，曲线23A表示以往例1的反射率分布，曲线23B表示以往例2的反射率分布。这样，在光学基板的折射率为1.8830的以往例2中，反射率分布不平坦，在波长420nm附近、510nm附近及650nm附近产生峰。 而且，在最近，作为广播用摄像机对昼夜兼用摄像机(日夜摄像机)的需要越来越高。然而，在上述专利文献1所述的防反射膜，在近红外区域的防反射性能不充分。从而，除了可见光区域，在波长700nm至900nm附近的近红外区域也强烈要求可进行良好的摄影的光学系统。 由此，即使设置在具有比较高折射率的光学基板时，也需要例如对400nm至900nm附近的波长光充分地显示低折射率的减反射膜。
技术实现思路
本专利技术是借鉴于这种问题点而提出的，其第1目的在于，提供一种在更宽的波段具有反射率充分降低的减反射膜。本专利技术的第2目的在于，提供一种具备这种减反射膜的光学构件及光学系统。 本专利技术的减反射膜在基板上具备包括从该基板的相反侧依次层叠的第1至第8层的减反射层。第1及第6层由对d线具有1.35以上1.50以下的折射率的低折射率材料构成，第3、第5及第7层由对d线具有1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料构成，第2、第4及第8层由具有对d线在1.70以上2.50以下的范围高于中间折射率材料的折射率的高折射率材料构成。本专利技术的光学构件是上述的减反射膜被设置在表面的构件，本专利技术的光学系统具备了这种光学构件。 在本专利技术的减反射膜中，设置在基板上的减反射层的第1至第8层由具有预定的折射率的材料构成，所以，在更宽的波段反射率分布充分降低。 在本专利技术的减反射膜中，优选进一步全部满足以下条件式(1)～(8)。此处，λ0为中心波长，N1～N8为第1至第8层对中心波长λ0的折射率，d1～d8为第1至第8层的物理性膜厚。 0.23×λ0≤N1×d1≤0.25×λ0……(1) 0.11×λ0≤N2×d2≤0.13×λ0……(2) 0.03×λ0≤N3×d3≤0.05×λ0……(3) 0.25×λ0≤N4×d4≤0.29×λ0……(4) 0.22×λ0≤N5×d5≤0.24×λ0……(5) 0.22×λ0≤N6×d6≤0.26×λ0……(6) 0.21×λ0≤N7×d7≤0.24×λ0……(7) 0.45×λ0≤N8×d8≤0.53×λ0……(8) 在本专利技术的减反射膜中，在基板和减反射层之间具备减少在它们之间产生的反射光的缓冲层即可。优选其缓冲层具有由中间折射率材料构成的单层结构、或者与减反射层相接的层由中间折射率材料构成的多层结构。该缓冲层通过在基板和减反射层之间缓和急剧的折射率变化而减少在基板表面的反射。缓冲层具有多层结构时，例如为3层以上5层以下即可。具体地，基板对d线的折射率为1.66以上2.2以下，缓冲层包括从减反射层侧依次层叠的第9至第13层，第9、第11及第13层由中间折射率材料构成，并且第10及第12层由高折射率材料构成。或者，基板对d线的折射率为1.51以上1.72以下，缓冲层包括从减反射层侧依次层叠的第9至第11层，第9及第11层由中间折射率材料构成，并且第10层由高折射率材料构成即可。或者，基板对d线的折射率为1.40以上1.58以下，缓冲层包括从减反射层侧依次层叠的第9至第12层，第9及第12层由中间折射率材料构成，第10层由高折射率材料构成，第11层由低折射率材料构成，或者第9层由中间折射率材料构成，第10及12层由高折射率材料构成，第11层由低折射率材料构成即可。 而且，在至今被提案的防反射膜中确认了对垂直入射光发挥比较良好的低反射率特性的防反射膜。然而，对斜入射光也发挥充分低的反射率特性的防反射膜较少，即使有也不存在在整个可见光区域发挥良好的低反射率特性的防反射膜。斜入射光例如入射到广播用摄像机的透镜系统，则通过在透镜面的反射成为闪烁或重像的发生原因。 从这种情况来看，期望不仅是对垂直入射光，对斜入射光也在更宽的频带发挥良好的低反射率特性的低反射膜。 本专利技术的减反射膜在基板上具备包括从与该基板相反一侧依次层叠的第1至第9层的减反射层。在减反射层，第1及第8层由对d线具有1.35以上1.50以下的折射率的低折射率材料构成，第3、第5、第7及第9层由对d线具有1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料构成，第2、第4及第6层由对d线在1.70以上2.50以下的范围具有高于中间折射率材料的折射率的高折射率材料构成。本专利技术的光学构件是上述的减反射膜被设置在表面的构件，本专利技术的光学系统具备这种光学构件。 在本专利技术的减反射膜中，设置在基板上的减反射层的第1至第9层由表示预定的折射率的材料构成，所以，至少在可见区域对垂直入射光及斜入射光双方的反射率分布充分降低。 在本专利技术的减反射膜中，优选进一步全部满足以下条件式(11)～(19)。此处，λ0为中心波长，N1～N9为第1至第9层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减反射膜，其特征在于，　在基板上备有包括从与上述基板相反一侧依次层叠的第１至第８层的减反射层，　第１及第６层由对ｄ线具有１．３５以上１．５０以下的折射率的低折射率材料构成，　第３、第５及第７层由对ｄ线具有１．５５以上１ ．８５以下的折射率的中间折射率材料构成，　第２、第４及第８层由对ｄ线具有在１．７０以上２．５０以下的范围且高于上述中间折射率材料的折射率的高折射率材料构成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：寺山悦夫，
申请(专利权)人：富士能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]