【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法，其特征在于：该方法包括如下步骤： Ａ、初步吸收处理：将流化床反应器生产过程中合成工段的合成尾气（包括ＨＣｌ、Ｈ↓［２］、ＳｉＨＣｌ↓［３］、ＳｉＣｌ↓［４］、Ｎ↓［２］）送入一级吸收塔，吸收液 为ＳｉＣｌ↓［４］经冷凝后从塔顶送入，ＳｉＣｌ↓［４］液体与从塔底部上升的合成尾气在塔内充分接触，除去尾气中的大部分ＳｉＨＣｌ↓［３］气体； Ｂ、重吸收处理：将从一级吸收塔塔顶出来的尾气（包括、Ｈ↓［２］、残余ＳｉＨＣｌ↓［３］、残余 ＳｉＣｌ↓［４］、Ｎ↓［２］）送入二级吸收塔，二级吸收塔采用稀盐酸作吸收液吸收气体中的ＨＣｌ气体形成浓盐酸，同时，气体中残留的ＳｉＣｌ↓［４］、ＳｉＨＣｌ↓［３］和水反应生成ＨＣｌ和ＳｉＯ↓［２］，生成的ＨＣｌ气体被吸收成浓盐酸，ＳｉＯ↓［２］移出吸收塔去三废回收，未被吸收的剩余Ｎ↓［２］和Ｈ↓［２］从塔顶排出； Ｃ、氢气膜分离：从二级吸收塔塔顶出来的氢气和氮气进入氢气膜分离器，膜分离器的非渗透器Ｎ↓［２］放空，氢气则返回氯化氢合成炉回收利用； Ｄ、解析：将二级吸 收塔底出来的浓盐...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：侯于先，罗秋生，刘忠文，许峰，
申请(专利权)人：中蓝晨光化工研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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