新型多级传输机器人制造技术

本发明专利技术公开了一种新型多级传输机器人，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，其中，还包括第三级传输机械手臂，第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，基片支撑段与基片承载段固定连接，基片承载段上安装有支撑减振机构，支撑减振机构包括支撑块，支撑块上表面呈弯折结构，弯折结构形成台阶，支撑块分别固定于基片承载段上，且支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，台阶上开设有凹槽，凹槽内容置有弹性橡胶带，弹性橡胶带凸出凹槽。本发明专利技术能将基片传入集束式腔体上的各个支撑腔体内，或从各个制成腔体内取出基片，制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。

A new type of multistage transmission robot

The invention discloses a novel multistage transmission robot, which comprises a driving device, the first level transmission mechanical arm and two grade transmission mechanical arm, which also includes third transmission mechanical arm, third stage transmission mechanical arm comprises a substrate sheet structure supporting Duan Heji bearing section, a substrate support section and substrate bearing section the fixed connection substrate bearing section is provided with a supporting damping mechanism, damping supporting mechanism comprises a supporting block, a supporting block surface in bending structure, bending structure forming step, support block are respectively fixed to the substrate bearing, bearing area bearing is formed between the substrate and the supporting block steps, the steps to open a groove is contained in the elastic rubber belt, elastic rubber band convex groove. The invention can be a substrate to all incoming cluster on the cavity support cavity or cavity made out from various substrates, simple manufacture, convenient maintenance, can satisfy the need of increasing the size of the substrate.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传输机器人，更具体地涉及一种传输基片的新型多级传输机器人。
技术介绍
有机发光显示器件(0LED)最普遍的结构是类三文治(Organic Thin FilmsLaminated Between Two Electrodes)结构，在基板上利用各种镀膜制程制作有包括 阴极(Cathode)、阳极(Anode)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)、空穴传输层(HTL)、空 穴注入层(HIL)、RGB三色有机发光层(EML)等八种膜层结构。这八种膜层的生成通常需要 八个不同的成膜腔体，同时某些镀膜制程需要有掩膜(MASK)以便形成图案化膜层，这样就 需要至少一个掩膜与基片贴合、分离的腔体和至少一个掩膜存储腔体，因此一个完整的有 机发光显示器件(0LED)成膜过程需要至少十个腔体，也就是说基片会在至少十个腔体间 传输。为了满足不同工艺要求和设备集成化需要，降低生产周期，一般的采用集束式腔体镀 膜，如图1所示。基片通过滚轮等直线传输机构进入集束式腔体11'，然后通过置于集束式 腔体ll'中心的传输机器人100'将基片在不同的制程腔体12'内传输。 传输机器人100本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型多级传输机器人，适用于基片的传输，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，所述第一级传输机械手臂及所述第二级传输机械手臂均呈片状结构，所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂均具有第一连接部与第二连接部，所述驱动装置与所述第一级传输机械手臂的第一连接部铰接，所述第一级传输机械手臂的第二连接部与所述第二级传输机械手臂的第一连接部铰接，其特征在于：还包括第三级传输机械手臂，所述第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述基片承载段固定连接，所述基片承载段上安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折结构...

【技术特征摘要】
一种新型多级传输机器人，适用于基片的传输，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，所述第一级传输机械手臂及所述第二级传输机械手臂均呈片状结构，所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂均具有第一连接部与第二连接部，所述驱动装置与所述第一级传输机械手臂的第一连接部铰接，所述第一级传输机械手臂的第二连接部与所述第二级传输机械手臂的第一连接部铰接，其特征在于还包括第三级传输机械手臂，所述第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述基片承载段固定连接，所述基片承载段上安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折结构，所述弯折结构形成台阶，所述支撑块分别固定于所述基片承载段上，且所述支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，所述台阶上开设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带，所述弹性橡胶带凸出所述凹槽。2. 如权利要求1所述的新型多级传输机器人，其特正在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，范继良，刘惠森，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[]