一种便于晶圆取放的承载盘制造技术

本技术属于晶圆取放技术领域，公开了一种便于晶圆取放的承载盘，包括底座，所述底座的上端固定连接有外壳，外壳的外端转动连接有弧形板，所述弧形板的外端固定安装有标签，弧形板的外端固定连接有把手块，所述外壳的内壁滑动连接有移动板，本技术通过L型底座的设计，便于将装置平方或竖放，通过旋转旋钮带动齿轮一进行旋转，使齿轮二带动螺纹杆进行旋转，使螺纹板带动连接块一端的移动板进行移动，便于将移动板移出外壳外，便于将晶圆进行单独的放置或取出，提高装置实用效果，通过旋转弧形板将外壳进行密封，便于减少杂物进入装置的内部，通过卡块和卡槽进行卡接，便于将旋转后的弧形板进行固定，提高弧形板的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆取放，具体涉及一种便于晶圆取放的承载盘。

技术介绍

1、晶圆片的由来,是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片；由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的"底",所以晶圆长得并不像家里的dvd是标准的圆,而是被切掉一个边,成为有"底"的圆。

2、现有技术公开了一种晶圆包装盒，原包装盒通过设置盒体对晶圆片进行排列放置，当需要对单个晶圆片进行取出时，由于相邻晶圆片之间缝隙较小不方便对晶圆片进行取出，直接捏晶圆片两端拿取容易污染晶圆片，对晶圆片易造成伤害，因此，需要一种便于单独将晶圆取放的装置。

3、为此提出一种便于晶圆取放的承载盘，在装置的基础上进行升级和改造，解决这些不足。

技术实现思路

1、本技术的目的在于：为解决相邻晶圆片之间缝隙较小不方便对晶圆片进行取出，直接捏晶圆片两端拿取容易污染晶圆片，对晶圆片易造成伤害的问题，本技术提供了一种便于晶圆取放的承载盘。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种便于晶圆取放的承载盘，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端固定连接有外壳(11)，所述外壳(11)的外端转动连接有弧形板(12)，所述弧形板(12)的外端固定安装有标签(13)，所述弧形板(12)的外端固定连接有把手块(14)，所述外壳(11)的内壁滑动连接有移动板(22)，所述移动板(22)的表面开设有放置槽(28)，所述外壳(11)的外端设置有移动机构(2)。

2.如权利要求1所述的一种便于晶圆取放的承载盘，其特征在于：所述外壳(11)的表面开设有把手槽(15)。

3.如权利要求1所述的一种便于晶圆取放的承载盘，其特征在于：所述移动机构(2...

【技术特征摘要】

1.一种便于晶圆取放的承载盘，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端固定连接有外壳(11)，所述外壳(11)的外端转动连接有弧形板(12)，所述弧形板(12)的外端固定安装有标签(13)，所述弧形板(12)的外端固定连接有把手块(14)，所述外壳(11)的内壁滑动连接有移动板(22)，所述移动板(22)的表面开设有放置槽(28)，所述外壳(11)的外端设置有移动机构(2)。

2.如权利要求1所述的一种便于晶圆取放的承载盘，其特征在于：所述外壳(11)的表面开设有把手槽(15)。

3.如权利要求1所述的一种便于晶圆取放的承载盘，其特征在于：所述移动机构(2)包括旋钮(21)，所述外壳(11)的外端转动连接有旋钮(21)，所述旋钮(21)的中间固定安装有齿轮一(29)，所述齿轮一(29)的外端连接有齿轮二(290...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱恺华，
申请(专利权)人：南通伟腾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：