【技术实现步骤摘要】
本技术涉及测试针卡，更具体地说是一种mems高速摄像头芯片测试针卡结构。
技术介绍
1、mems高速摄像头镜头是采用微机电系统（mems）来实现对焦成像的镜头组件，mems高速摄像头芯片在生产制造时需要使用测试机进行测试。探针卡作为测试机上重要结构之一，是芯片封装测试环节中的关键部件。例如现有技术公开号为cn212275894u的用于存储器芯片测试的mems探针卡，该技术通过第一悬臂梁和第二悬臂梁的双层承重结构可以更好满足测试过程中的机械强度，并且镂空层利于提高韧性，可以有效延长mems探针的使用寿命，节约成本。
2、但是上述现有技术在使用时还存在如下问题：上述探针卡结构复杂，并且多层结构之间固定在一起，不方便进行拆卸调试，导致通用性较差，后期测试套件成本高。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供一种mems高速摄像头芯片测试针卡结构，利用mems探针技术，前期组装成单体测试模块，通过可拆装的测试pogo导通模块，方便后期测试安装调换，达到高效率测试目的，单...
【技术保护点】
1.一种MEMS高速摄像头芯片测试针卡结构，包括探针卡母版（1），其特征在于：所述探针卡母版（1）顶部设有多组测试POGO导通模块（2），每组测试POGO导通模块（2）顶部均设有MEMS微悬臂探针模块（3）；
2.根据权利要求1所述的一种MEMS高速摄像头芯片测试针卡结构，其特征在于：所述探针卡母版（1）底部固定设有探针卡补强圈（4），防止探针卡母版（1）变形，所述探针卡补强圈（4）采用SUS321不锈钢制成，用于提高探针卡补强圈（4）的强度。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS高速摄像头芯片测试针卡结构，其特征在于：所述探针卡母版（1）前端...
【技术特征摘要】
1.一种mems高速摄像头芯片测试针卡结构，包括探针卡母版（1），其特征在于：所述探针卡母版（1）顶部设有多组测试pogo导通模块（2），每组测试pogo导通模块（2）顶部均设有mems微悬臂探针模块（3）；
2.根据权利要求1所述的一种mems高速摄像头芯片测试针卡结构，其特征在于：所述探针卡母版（1）底部固定设有探针卡补强圈（4），防止探针卡母版（1）变形，所述探针卡补强圈（4）采用sus321不锈钢制成，用于提高探针卡补强圈（4）的强度。
3.根据权利要求1所述的一种mems高速摄像头芯片测试针卡结构，其特征在于：所述探针卡母版（1）前端固定设有两个探针卡测试机插座（5），且两个探针卡测试机插座（5）在探针卡母版（1）前端对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种mems高速摄像头芯片测试针卡结构，其特征在于：每个mems微悬臂探针（302）底部均与fr4电路板（301）顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：卞学礼，朴文秀，佟瑞，
申请(专利权)人：铭针微机电上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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