一种带有平整装置的探针卡制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有平整装置的探针卡，包括第一印刷电路板，第一空间转换器与所述第一印刷电路板电性连接，第一探针基板与所述第一空间转换器电性连接且具有多个第一探针，多个所述第一联接件安装在所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部内侧，通过相互挤压所述第一探针基板和所述第一空间转换器使所述第一探针基板和所述第一空间转换器紧密贴合。根据本实用新型专利技术，对于包括装有探针的基板组合件的探针卡，利用平整装置能够方便、有效地调节平整度。

【技术实现步骤摘要】
一种带有平整装置的探针卡
本技术涉及探针卡
，具体涉及一种带有平整装置的探针卡。
技术介绍
为了测试半导体元件（如半导体存储器、显示器）的制造过程或制造后有无缺陷，通常利用探针卡电性连接晶圆和半导体元件测试设备，将测试设备的电信号传输到晶圆上形成的焊盘，从焊盘返回的信号传输到半导体元件测试设备。探针卡包括多个探针，随着半导体元件趋向小型化，晶圆上的焊盘尺寸和焊盘间距也随之减小，所以很多围绕接触晶圆焊盘的探针微间距化的研发也在积极开展。连接探针和空间转换器的传统方法是，在牺牲基板上安装探针，再将装有探针的牺牲基板直接安装到空间转换器后去掉牺牲基板。即，用牺牲基板将探针直接安装到空间转换器。然而由于这种方法是将探针直接安装到空间转换器，如果探针安装过程中出现问题，不但探针作废，连昂贵的空间转换器也一并作废。然而由于这种方法是将探针直接安装到空间转换器，如果探针安装过程中出现问题，不但探针作废，连昂贵的空间转换器也一并作废。因此，技术一种带有平整装置的探针卡来解决上述问题很有必要。在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带有平整装置的探针卡，包括第一印刷电路板和平整度调节装置，其特征在于：所述第一印刷电路板底部设有第一空间转换器，所述第一空间转换器与所述第一印刷电路板电性连接，所述第一空间转换器外壁一侧设有第一探针基板，第一探针基板与所述第一空间转换器电性连接有多个第一探针，多个第一联接件安装在所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部内侧，通过相互挤压所述第一探针基板和所述第一空间转换器使所述第一探针基板和所述第一空间转换器紧密贴合，所述平整度调节装置位于多个所述第一联接件上方，通过对所述第一探针基板施力来调节所述第一探针基板的平整度。优选的，所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部内侧形成多个用于安装所述联接件的孔。优选的，还包括用于固定所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部的第一卡座和第二卡座。优选的，还包括置于所述第一探针基板和所述第一空间转换器之间的第一内插板。优选的，所述第一探针基板外周部的第一卡座和用于固定所述第一空间转换器外周部的第二卡座相连接。优选的，所述第一探针基板为由多个基板组成的多层基板。优选的，所述第一空间转换器的上表面和下表面各带多个端子，所述第一空间转换器的下表面上的多个端子与所述第一探针电性连接，所述第一空间转换器的上表面上的多个端子与所述第一印刷电路板电性连接，所述第一空间转换器上表面上的多个端子之间的间距与所述第一空间转换器下表面上的多个端子之间的间距不同。优选的，所述平整度调节装置包括第一平整螺栓和第一平整螺钉。在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：根据本技术，对于包括装有探针的基板组合件的探针卡，利用平整装置能够方便、有效地调节平整度。附图说明为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是传统探针卡的大致结构示意图。图2是根据本技术一实施例提供的探针卡基板组合件的结构示意图。图3是根据本技术一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的示例侧视图。图4是根据本技术一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图。图5是根据本技术一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图。图6是根据本技术一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图。图7是根据本技术一实施例提供的带有平整装置的探针卡剖面图。图8是根据本技术一实施例提供的带有平整装置的探针卡的第一平整调节装置的示例剖面图。图9是根据本技术一实施例提供的带有平整装置的探针卡的第一平整调节装置的示例剖面图。附图标记说明：10第一探针基板、101第二探针、20第一空间转换器、210第一联接件、220第二空间转换器、230第二探针基板、30第一卡座、310第三探针基板、320第三空间转换器、330第二联接件、331第一头部、332第二头部、340第四探针基板、350第四空间转换器、360第三联接件、361第三头部、362突出部、40第二卡座、401第三探针、402第五探针基板、404第五空间转换器、406第四联接件、408第三卡座、410第四卡座、412第一平整度调节装置、414第二印刷电路板、416第二内插板、420下加强板、422上加强板、426浮动基板柱、428第二平整度调节装置、431第四头部、432第五头部、50第一内插板、511第一平整螺钉、512平整转接头、513第一平整螺栓、521第二平整螺钉、522第二平整螺栓、60第一印刷电路板、70平整度调节装置、80第一探针。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多示例实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的示例实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、实现或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。图1是传统探针卡的大致结构示意图。传统探针卡包括第一探针基板10、第一空间转换器20、第一卡座30、第二卡座40、第一内插板50、第一第一印刷电路板60和平整度调节装置70，第一探针基板10是安装有第一探针80的基板，其上表面与第一空间转换器20接触，使第一探针80和第一空间转换器20电性连接，第一探针基板10可以是单个基板，如有必要，也可以贴合多个基板制成多层基板。如上所述，安装在第一探针基板10上的第一探针80与晶圆上的多个焊盘一对一接触，将从半导体测试设备接收的电信号传输到晶圆上的焊盘，第一探针80一般具有弹性，其形状有多种类型，如悬臂梁、凸块等，第一空间转换器20起到转换间距的作用，其上表面上的多个接触端子之间的间距与下表面上的多个接触端子之间的间距不同，譬如，下表面的间距小于上表面的间距，从而通过下表面的窄间距调节上表面的宽间距，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有平整装置的探针卡，包括第一印刷电路板（60）和平整度调节装置（70），其特征在于：所述第一印刷电路板（60）底部设有第一空间转换器（20），所述第一空间转换器（20）与所述第一印刷电路板（60）电性连接，所述第一空间转换器（20）外壁一侧设有第一探针基板（10），第一探针基板（10）与所述第一空间转换器（20）电性连接有多个第一探针（80），多个第一联接件（210）安装在所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）的外周部内侧，通过相互挤压所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）使所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）紧密贴合，所述平整度调节装置（70）位于多个所述第一联接件（210）上方，通过对所述第一探针基板（10）施力来调节所述第一探针基板（10）的平整度。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有平整装置的探针卡，包括第一印刷电路板（60）和平整度调节装置（70），其特征在于：所述第一印刷电路板（60）底部设有第一空间转换器（20），所述第一空间转换器（20）与所述第一印刷电路板（60）电性连接，所述第一空间转换器（20）外壁一侧设有第一探针基板（10），第一探针基板（10）与所述第一空间转换器（20）电性连接有多个第一探针（80），多个第一联接件（210）安装在所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）的外周部内侧，通过相互挤压所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）使所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）紧密贴合，所述平整度调节装置（70）位于多个所述第一联接件（210）上方，通过对所述第一探针基板（10）施力来调节所述第一探针基板（10）的平整度。


2.根据权利要求1所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）的外周部内侧形成多个用于安装所述联接件的孔。


3.根据权利要求1所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：还包括用于固定所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）的外周部的第一卡座（30）和第二卡座（40）。

【专利技术属性】
技术研发人员：金鑫，严日东，
申请(专利权)人：铭针微机电上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31