一种具备平整度调整功能的探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具备平整度调整功能的探针卡，包括印刷电路板本体，所述印刷电路板本体外壁设有探针本体，所述印刷电路板本体外壁远离探针本体一侧设有空间转换器本体，所述空间转换器本体内部设有内插板本体，所述空间转换器本体外壁设置偏转装置，所述空间转换器本体外壁远离偏转装置一侧设置补偿装置，所述空间转换器本体由第一接触探针、第一探针基板和第一空间转换器。本实用新型专利技术中，第一平整度调节装置和第二平整度调节装置没有相互连接，而是各自与探针基板相连，因为第一平整度调节装置和第二平整度调节装置之间没有干扰，所以平整度不受限制，从而能够确保平整自由度。由度。由度。

【技术实现步骤摘要】
一种具备平整度调整功能的探针卡


[0001]本技术涉及探针卡的平整度调节
，具体涉及一种具备平整度调整功能的探针卡。

技术介绍

[0002]为了测试半导体元件（如半导体存储器、显示器）的制造过程或制造后有无缺陷，通常利用探针卡电性连接晶圆和半导体元件测试设备，将测试设备的电信号传输到晶圆上形成的半导体裸芯片，从半导体裸芯片返回的信号传输到半导体元件测试设备。目前，市面上探针卡不具备平整度调整功能。
[0003]因此，专利技术一种具备平整度调整功能的探针卡来解决上述问题很有必要。
[0004]在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种具备平整度调整功能的探针卡，通过，以解决技术中的上述不足之处。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具备平整度调整功能的探针卡，包括印刷电路板本体，所述印刷电路板本体外壁设有探针本体，所述印刷电路板本体外壁远离探针本体一侧设有空间转换器本体，所述空间转换器本体内部设有内插板本体，所述空间转换器本体外壁设置偏转装置，所述空间转换器本体外壁远离偏转装置一侧设置补偿装置，所述空间转换器本体由第一接触探针、第一探针基板和第一空间转换器、内插板、第一支架、夹紧弹簧、第一下加强板、第一上加强板、第一印刷电路板、第一平整螺栓、第一平整转接头、第一平整螺丝、第一浮动基板、浮动基板柱、第二平整螺栓、第二浮动基板、第三平整螺栓、第二上加强板组成，所述探针本体由第二探针基板、第二印刷电路板、第一平整度调节装置、浮动安装装置、第二平整度调节装置组成。
[0007]优选的，所述印刷电路板本体由第二接触探针、第一MEMS探针基板、第二空间转换器、第二支架、第三接触探针、第二MEMS探针基板、第三空间转换器、第四接触探针、第四空间转换器组成。
[0008]优选的，所述内插板本体由第三平整螺丝、第二平整转接头、第四平整螺栓、第四平整螺丝、第五平整螺栓组成。
[0009]优选的，所述补偿装置由第二浮动基板、浮动基板柱组成。
[0010]优选的，所述偏转装置由第三印刷电路板、中介转接器、第三上加强板、第二下加强板、第四印刷电路板、第四上加强板、第三下加强板组成。
[0011]在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
[0012]本技术通过将第一平整度调节装置和第二平整度调节装置没有相互连接，而是各自与探针基板相连，使得第一平整度调节装置和第二平整度调节装置之间没有干扰，
所以平整度不受限制，从而能够确保平整自由度，即使在大面积探针卡中，多个平整度调节装置彼此独立，具有轻松调节平整度的效果。
附图说明
[0013]为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是包括用于调节探针平坦度装置的传统探针卡的剖面图。
[0015]图2是根据本专利技术一实施例提供的探针卡的剖面图。
[0016]图3是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的平面图。
[0017]图4是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的剖面图。
[0018]图5是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的探针基板单元剖面图。
[0019]图6是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的探针基板单元剖面图。
[0020]图7是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的探针基板单元剖面图。
[0021]图8是根据本专利技术一实施例提供的探针卡第一平坦度调节装置剖面图。
[0022]图9是根据本专利技术一实施例提供的探针卡第一平坦度调节装置剖面图。
[0023]图10是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的浮动安装装置剖面图。
[0024]图11是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的印刷电路板单元剖面图。
[0025]图12是根据本专利技术另一实施例提供的探针卡的印刷电路板单元剖面图。
[0026]附图标记说明：
[0027]10空间转换器本体、20探针本体、30印刷电路板本体、40内插板本体、50变形补偿装置、60偏转装置、101第一接触探针、102第一探针基板、103第一空间转换器、104内插板、105第一支架、106夹紧弹簧、107第一下加强板、108第一上加强板、109第一印刷电路板、110第一平整螺栓、111第一平整转接头、112第一平整螺丝、113第一浮动基板、114浮动基板柱、115第二平整螺栓、121第二平整螺丝、122第二浮动基板、123第三平整螺栓、124第二上加强板、211 第二探针基板、212第二印刷电路板、213第一平整度调节装置、214浮动安装装置、215第二平整度调节装置、311第二接触探针、312第一MEMS探针基板、313第二空间转换器、314第二支架、321第三接触探针、322第二MEMS探针基板、323第三空间转换器、331第四接触探针、332第四空间转换器、411第三平整螺丝、412第二平整转接头、413第四平整螺栓、421第四平整螺丝、422第五平整螺栓、511第二浮动基板、512浮动基板柱、611第三印刷电路板、612中介转接器、613第三上加强板、614第二下加强板、621第四印刷电路板、622第四上加强板、623第三下加强板。
具体实施方式
[0028]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0029]此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多示例实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的示例实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、实现或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
[0030]本技术提供了如图1
‑
7所示的一种具备平整度调整功能的探针卡，包括印刷电路板本体30，所述印刷电路板本体30外壁设有探针本体20，所述印刷电路板本体30外壁远离探针本体20一侧设有空间转换器本体10，所述空间转换器本体10内部设有内插板本体40，所述空间转换器本体10外壁设置偏转装置60，所述空间转换器本体10外壁远离偏转装置60一侧设置补偿装置50，所述空间转换器本体10由第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具备平整度调整功能的探针卡，包括印刷电路板本体（30），其特征在于：所述印刷电路板本体（30）外壁设有探针本体（20），所述印刷电路板本体（30）外壁远离探针本体（20）一侧设有空间转换器本体（10），所述空间转换器本体（10）内部设有内插板本体（40），所述空间转换器本体（10）外壁设置偏转装置（60），所述空间转换器本体（10）外壁远离偏转装置（60）一侧设置补偿装置（50），所述空间转换器本体（10）由第一接触探针（101）、第一探针基板（102）和第一空间转换器（103）、内插板（104）、第一支架（105）、夹紧弹簧（106）、第一下加强板（107）、第一上加强板（108）、第一印刷电路板（109）、第一平整螺栓（110）、第一平整转接头（111）、第一平整螺丝（112）、第一浮动基板（113）、浮动基板柱（114）、第二平整螺栓（115）、第二浮动基板（121）、第三平整螺栓（122）、第二上加强板（123）组成，所述探针本体（20）由第二探针基板（211）、第二印刷电路板（212）、第一平整度调节装置（213）、浮动安装装置（214）、第二平整度调节装...

【专利技术属性】
技术研发人员：金鑫，严日东，
申请(专利权)人：铭针微机电上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：