一种四探针检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种四探针检测装置，包括：工作台；测试机架，测试机架设置在工作台上；伸缩液压缸，伸缩液压缸安装在测试机架上；辅助架，辅助架安装在伸缩液压缸的输出端，且辅助架上安装有测试头；测试盘，测试盘设置在测试机架的底座上，本实用新型专利技术解决了硅片的电学性能检测不方便的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种四探针检测装置
本技术涉及硅片加工
，尤其涉及一种四探针检测装置。
技术介绍
硅片生产、使用之前，需要对其表面浓度和电阻率进行检测，这样才能保证后续生产产品的电学性能；现有的检测方式，通常是手动检测，即手动旋转齿轮，使得测试头以一定的压力垂直地压在被测样品的表面上，但是这样无法保证测试头压在被测样品表面的压力，如果压力过大，会导致硅片被压碎，探针会被折断；如果压力过小，测量值也不准；而且硅片在检测时，测试头需要对硅片的中部和边缘进行检测，现有的调节方式，往往会产生偏移，影响检测结果。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种四探针检测装置，解决现有技术中硅片的电学性能检测不方便的技术问题。一种四探针检测装置，包括：工作台；测试机架，所述测试机架设置在所述工作台上；伸缩液压缸，所述伸缩液压缸安装在所述测试机架上；辅助架，所述辅助架安装在所述伸缩液压缸的输出端，且辅助架上安装有测试头；测试盘，所述测试盘设置在所述测试机架的底座上。本申请实施例中通过伸缩液压缸上下移动，推动辅助架上下移动，使得测试头靠近或者远离测试盘，完成检测，提高检测效率。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进：进一步地，所述测试机架底部的四角设置有支撑垫使得测试机架的底面与所述工作台的表面留有空隙，采用本步的有益效果是通过空隙预留至其他部件的安装区域。进一步地，所述测试盘上间隔设置有限位柱，采用本步的有益效果是通过限位柱能够限制测试盘的区域，有效避免测试时，硅片跑偏。进一步地，所述测试机架上安装有倒置的L型支撑板，所述L型支撑板上安装有伸缩液压缸。进一步地，所述辅助架包括：上板，所述上板与所述伸缩液压缸的输出端连接；下板，所述下板与上板之间连接有立柱，且下板上安装有测试头，所述测试头的探针竖直向下，采用本步的有益效果是通过辅助架能够减少外界因素对测试头的影响。进一步地，所述测试机架的底部安装有位移调节机构，所述位移调节机构带动所述测试盘在所述测试机架的底部移动。进一步地，所述位移调节机构包括：齿条，所述齿条固定在所述测试盘的底面；底板，所述底板上开设有凹槽，且底板安装在所述测试机架的底部，所述齿条位于所述凹槽内；转轴，所述转轴穿过所述底板，且转轴上安装齿轮，所述齿轮位于所述凹槽内部，且齿轮与所述齿条啮合。本申请实施例中提供的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：1.本申请实施例通过伸缩液压缸的上下运动，能够带动测试头上下移动，完成检测。2.本申请实施例设置有位移调节机构，利用位移调节机构可以调节测试盘的位置，从而方便进行检测。3.本申请实施例结构简单，操作方便，且检测效率高。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术具体实施例所述的一种四探针检测装置的结构示意图；图2为本技术具体实施例所述的一种四探针检测装置的A的局部放大图；附图标记：1-工作台；2-测试机架；3-伸缩液压缸；4-辅助架；5-测试头；6-测试盘；7-支撑垫；8-限位柱；9-L型支撑板；10-位移调节机构；401-上板；402-下板；403-立柱；1001-齿条；1002-底板；1003-凹槽；1004-转轴；1005-齿轮。具体实施方式下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本申请实施例提供的一种四探针检测装置，解决了现有技术中硅片的电性能检测不方便的技术问题。本申请实施例的总体思路如下：首先通过伸缩液压缸带动辅助架上下移动，使得测试头上下运动，完成检测；先对硅片的中心位置进行检测，在检测完成后，再对硅片的边缘进行检测，此时，通过位移调节机构能够带动测试盘移动，这样使得测试头对准硅片的边缘，然后推动测试头下移，完成检测。为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细说明。实施例如图1-2所示，本实施例提供一种四探针检测装置，包括：工作台1，该工作台1主要起到支撑的作用，使得其他装置处于相对合适的高度，便于工作人员进行检测；测试机架2，所述测试机架2设置在所述工作台1上，该测试机架2是用于安装其他部件，同时测试机架2是放置在工作台1上的，非固定式的，这样便于调节测试机架2的位置；伸缩液压缸3，所述伸缩液压缸3安装在所述测试机架2上，本申请实施例中的伸缩液压缸3作为动力件，推动其他部件下移，使其与硅片的表面接触，完成检测；辅助架4，所述辅助架4安装在所述伸缩液压缸3的输出端，且辅助架4上安装有测试头5，本申请实施例中的测试头5是安装在辅助架4上，避免了其他外界的影响，影响其检测结果；其中测试头5为四探针测试头，能够完成硅片的电性能检测即可；测试盘6，所述测试盘6设置在所述测试机架2的底部，本申请实施例中的测试盘6是用于放置硅片，便于对硅片完成检测。具体地，所述测试机架2底部的四角设置有支撑垫7使得测试机架2的底面与所述工作台1的表面留有空隙，本申请实施例的支撑垫7是留有空隙，使得后续的位移调节机构能够使用。具体地，所述测试盘6上间隔设置有限位柱8，本申请实施例中的限位柱8能够限制硅片的放置范围，使得硅片能够处于限位柱8之间，当测试头与硅片接触时，硅片不会发生滑动。具体地，所述测试机架2上安装有倒置的L型支撑板9，所述L型支撑板9上安装有伸缩液压缸3；本申请实施例中的伸缩液压缸3是竖直安装在L型支撑板9，此时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种四探针检测装置，其特征在于，包括：/n工作台；/n测试机架，所述测试机架设置在所述工作台上；/n伸缩液压缸，所述伸缩液压缸安装在所述测试机架上；/n辅助架，所述辅助架安装在所述伸缩液压缸的输出端，且辅助架上安装有测试头；/n测试盘，所述测试盘设置在所述测试机架的底座上。/n

【技术特征摘要】
1.一种四探针检测装置，其特征在于，包括：
工作台；
测试机架，所述测试机架设置在所述工作台上；
伸缩液压缸，所述伸缩液压缸安装在所述测试机架上；
辅助架，所述辅助架安装在所述伸缩液压缸的输出端，且辅助架上安装有测试头；
测试盘，所述测试盘设置在所述测试机架的底座上。


2.根据权利要求1所述的一种四探针检测装置，其特征在于，所述测试机架底部的四角设置有支撑垫使得测试机架的底面与所述工作台的表面留有空隙。

【专利技术属性】
技术研发人员：王娜，
申请(专利权)人：扬州虹扬科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32