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本技术公开了一种MEMS高速摄像头芯片测试针卡结构，具体涉及测试针卡技术领域，包括探针卡母版，所述探针卡母版顶部设有多组测试POGO导通模块，每组测试POGO导通模块顶部均设有MEMS微悬臂探针模块，所述MEMS微悬臂探针模块包括FR4电路...
该专利属于铭针微机电（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铭针微机电（上海）股份有限公司授权不得商用。

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