【技术实现步骤摘要】
本申请涉及蒸镀，尤其涉及一种蒸镀设备及其使用方法。
技术介绍
1、真空蒸镀技术常见于led(light-emitting diode，发光二极管)制备工艺中，例如ito(氧化铟锡)膜蒸镀、芯片电极蒸镀、dbr(distributed bragg reflection，分布式布拉格反射镜)蒸镀等。真空蒸镀技术，是指在真空腔室的下部设置盛放蒸镀靶材的坩埚，在真空腔室上部设置镀锅承载被蒸镀的晶圆，通过加热源加热坩埚内的蒸镀靶材向晶圆蒸镀有机材料或金属材料，并利用晶振来控制膜厚。当镀锅上的晶圆蒸镀完成后，需要从真空腔室顶壁卸下镀锅，取出已蒸镀晶圆；当有新的待蒸镀晶圆时，需要将这些晶圆设置到镀锅上，并将镀锅装载到真空腔室中。毫无疑义地，装载、卸载镀锅的耗时以及难易程度过程会影响蒸镀设备的稼动率，因此如何提升镀锅在真空腔室中的装卸效率，降低装卸难度是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述相关技术的不足，本申请的目的在于提供一种蒸镀设备及其使用方法，旨在节约镀锅装卸的耗时，降低装卸难度，提升蒸镀设备的稼动率。
2、本申请首先提供一种蒸镀设备，包括：
3、内部形成有蒸镀腔的蒸镀腔体；
4、被配置将蒸镀腔中的气体抽吸至腔外的排气系统；
5、设于蒸镀腔下部的蒸发系统；
6、包含第一卡扣的镀锅；以及
7、设于蒸镀腔体顶壁且被配置为将镀锅保持在蒸镀腔上部的镀锅固定机构，镀锅固定机构包含第二卡扣；
8、其中，镀锅固
9、上述蒸镀设备中，通过在蒸镀腔体顶壁设置镀锅固定机构，镀锅固定机构中包括第二卡扣，而镀锅上设置有与该第二卡扣配合的第一卡扣，通过第二卡扣与第一卡扣的配合可以使得待蒸镀的镀锅能够被快速地固定到蒸镀腔的顶壁上，实现镀锅的高效装载；当一镀锅的蒸镀完成后，可以镀锅固定机构的第二卡扣可以高效地释放该已蒸镀的镀锅，实现镀锅的快速卸载。基于第一卡扣与第二卡扣的卡扣配合，使得镀锅的装载与卸载简单、便捷，易于实现，耗时短，有利于提升镀锅装卸速度，提升蒸镀设备的稼动率。
10、可选地，第一卡扣具有卡扣头与连接杆，连接杆的两端分别固定连接卡扣头与镀锅的主体；第二卡扣中设有可供卡扣头伸入的装配腔，装配腔在第二卡扣的底面、侧面分别设有底面开口、侧面开口，且底面开口与侧面开口连通：卡扣头自侧面开口滑入装配腔，连接杆的两端分别位于底面开口的两侧，且底面开口在垂直卡扣头的滑入方向的尺寸小于卡扣头在同方向上的尺寸；第二卡扣还具有被配置为在运动机构的驱动下沿蒸镀腔的高度方向移动的限位块，限位块下移后可阻止卡扣头带动连接杆自侧面开口滑出，限位块上移后可供卡扣头带动连接杆自开口滑出。
11、上述蒸镀设备中，镀锅固定机构中的第二卡扣中设置有具有侧面开口与底面开口的装配腔，而在镀锅上的第一卡扣中，通过连接杆的两端分别连接卡扣头以及镀锅主体，卡扣头可以从装配腔的侧面开口滑入装配腔，同时连接杆可以在底面开口中移动，但底面开口在垂直卡扣头的滑入方向的尺寸卡扣头在同方向上的尺寸，所以卡扣头在滑入装配腔之后，不能穿过底面开口，利用卡扣头可以将连接杆、与连接杆固定连接的镀锅主体固定在第二卡扣上。同时第二卡扣具有受运动机构驱动的限位块，运动机构可以驱动限位块上下移动，当限位块下移后，可以堵住卡扣头，防止其从装配腔的侧面开口滑出，实现镀锅固定机构对镀锅的固定锁扣；当限位块上移后，卡扣头从侧面出口滑出的路径通畅，第一卡扣得以与第二卡扣解除配合关系，实现镀锅的卸载。该蒸镀设备中镀锅的装载过程只需要将卡扣头滑入装配腔，并下移限位块即可，而卸载过程也只需要上移限位块，滑出卡扣头即可，整个过程简单易于实现，耗时短，有利于提升镀锅装卸速度，提升蒸镀设备的稼动率。
12、可选地，运动机构包括气缸，气缸的活塞杆与限位块固定连接。
13、可选地，装配腔具有唯一的侧面开口。
14、上述蒸镀设备中，装配腔仅具有一个侧面开口，卡扣头从该侧面开口滑入装配腔后也只能从该侧面开口滑出，因此第二卡扣仅需要针对一个侧面开口设置限位块即可，有利于简化第二卡扣的结构。
15、可选地，蒸镀设备还包括：
16、内部形成有传输腔的传输腔体，传输腔体贴合设置于蒸镀腔体的外侧壁上部，排气系统还被配置将传输腔内的气体抽吸至腔外，且传输腔小于蒸镀腔；
17、设置于传输腔与蒸镀腔之间的第一隔离门，第一隔离门在闭合状态下隔绝传输腔与蒸镀腔间的气流交换，在开启状态下连通传输腔与蒸镀腔；以及
18、设置于传输腔内的传输机构，传输机构被配置为在第一隔离门处于开启状态时，携带待蒸镀的镀锅穿过第一隔离门进入蒸镀腔，以将该镀锅转移至镀锅固定机构上；传输机构还被配置为在第一隔离门处于开启状态时，携带由镀锅固定机构释放的已蒸镀的镀锅穿过第一隔离门回到传输腔。
19、上述蒸镀设备中，蒸镀设备中还设置有容积比蒸镀腔小的传输腔，传输腔与蒸镀腔之间设置有第一隔离门，在第一隔离门打开时，传输腔与蒸镀腔连通，而第一隔离门关闭时，传输腔与蒸镀腔又是各自独立的腔室。这样通过传输机构与第一隔离门的配合，使得镀锅的晶圆装载、晶圆卸片过程可以在独立的传输腔内完成，不需要对蒸镀腔破真空，有利于提升蒸镀设备的稼动率；同时也可以避免对蒸镀腔破真空后，蒸镀腔体内壁吸附水、氧，影响蒸镀环境的问题，有利于提升蒸镀质量。
20、可选地，传输结构包括：
21、设置于传输腔内的运输滑轨；以及
22、设置于运输滑轨上且被配置为承载镀锅的承载台；
23、驱动机构，驱动机构被配置为带动承载台沿着运输滑轨移动。
24、可选地，镀锅固定机构还包括：
25、与第二卡扣固定连接的旋转机构，其被配置为带动第二卡扣在垂直于高度方向的平面内旋转；且在传输腔与蒸镀腔间存在传递镀锅的需求的情况下，旋转机构将带动第二卡扣旋转至侧面开口朝向传输腔的方位后停止旋转。
26、上述蒸镀设备中，在传输腔与蒸镀腔间存在传递镀锅的需求的情况，旋转机构总是确保装配腔的侧面开口朝向传输腔，这样可以方便从传输腔中通过传输机构传输而来的镀锅的卡扣头直接从侧面开口滑入装配腔，也方便镀锅固定机构上的镀锅的卡扣头在滑出侧面开口后直接被传输机构运载回传输腔，进一步提升镀锅的装卸便利程度。
27、可选地，蒸镀设备还包括：
28、内部形成有靶材腔的靶材腔体，靶材腔体贴合设置于蒸镀腔体的外侧壁下部，排气系统还被配置将靶材腔内的气体抽吸至腔外，且靶材腔小于蒸镀腔；
29、设置于靶材腔与蒸镀腔之间的第二隔离门，第二隔离门在闭合状态下隔绝靶材腔与蒸镀腔间的气流交换，在开启状态下连通靶材腔与蒸镀腔；以及
30、设于靶材腔内的靶材转移机械臂，其被配置为在第二隔离门处于开启状态时，携带靶材腔中分类存储的蒸镀靶材穿过第二隔离门进入蒸镀腔，并将蒸镀靶材本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一卡扣具有卡扣头与连接杆，所述连接杆的两端分别固定连接所述卡扣头与所述镀锅的主体；所述第二卡扣中设有可供所述卡扣头伸入的装配腔，所述装配腔在所述第二卡扣的底面、侧面分别设有底面开口、侧面开口，且所述底面开口与所述侧面开口连通：所述卡扣头自所述侧面开口滑入所述装配腔，所述连接杆的两端分别位于所述底面开口的两侧，且所述底面开口在垂直所述卡扣头的滑入方向的尺寸小于所述卡扣头在同方向上的尺寸；所述第二卡扣还具有被配置为在运动机构的驱动下沿所述蒸镀腔的高度方向移动的限位块，所述限位块下移后可阻止所述卡扣头带动所述连接杆自所述侧面开口滑出，所述限位块上移后可供所述卡扣头带动所述连接杆自所述开口滑出。
3.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述运动机构包括气缸，所述气缸的活塞杆与所述限位块固定连接。
4.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述装配腔具有唯一的侧面开口。
5.如权利要求1至4任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：>
6.如权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述传输结构包括：
7.如权利要求1至4任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：
8.一种蒸镀设备使用方法，其特征在于，应用于如权利要求1-7任一项所述的蒸镀设备，所述蒸镀设备使用方法包括：
9.如权利要求8所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，所述第一卡扣具有卡扣头与连接杆，所述连接杆的两端分别固定连接所述卡扣头与所述镀锅的主体；所述第二卡扣中设有可供所述卡扣头伸入的装配腔，所述装配腔在所述第二卡扣的底面、侧面分别设有底面开口、侧面开口，且所述底面开口与所述侧面开口连通：所述卡扣头自所述侧面开口滑入所述装配腔，所述连接杆的两端分别位于所述底面开口的两侧，且所述底面开口在垂直所述卡扣头的滑入方向的尺寸小于所述卡扣头在同方向上的尺寸；所述第二卡扣还具有被配置为在运动机构的驱动下沿所述蒸镀腔的高度方向移动的限位块，所述限位块下移后可阻止所述卡扣头带动所述连接杆自所述侧面开口滑出，所述限位块上移后可供所述卡扣头带动所述连接杆自所述开口滑出；
10.如权利要求8或9所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，若所述蒸镀设备还包括：内部形成有传输腔的传输腔体、设置于所述传输腔与所述蒸镀腔之间的第一隔离门以及设置于所述传输腔内的传输机构；
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一卡扣具有卡扣头与连接杆，所述连接杆的两端分别固定连接所述卡扣头与所述镀锅的主体；所述第二卡扣中设有可供所述卡扣头伸入的装配腔，所述装配腔在所述第二卡扣的底面、侧面分别设有底面开口、侧面开口，且所述底面开口与所述侧面开口连通：所述卡扣头自所述侧面开口滑入所述装配腔，所述连接杆的两端分别位于所述底面开口的两侧，且所述底面开口在垂直所述卡扣头的滑入方向的尺寸小于所述卡扣头在同方向上的尺寸；所述第二卡扣还具有被配置为在运动机构的驱动下沿所述蒸镀腔的高度方向移动的限位块，所述限位块下移后可阻止所述卡扣头带动所述连接杆自所述侧面开口滑出，所述限位块上移后可供所述卡扣头带动所述连接杆自所述开口滑出。
3.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述运动机构包括气缸，所述气缸的活塞杆与所述限位块固定连接。
4.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述装配腔具有唯一的侧面开口。
5.如权利要求1至4任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：
6.如权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述传输结构包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：黄琪兵，王怀超，岳晓，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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