一种高强耐蚀高熵合金多层膜及其制备方法与应用技术

本发明专利技术涉及涂层制备技术领域，公开了一种高强耐蚀高熵合金多层膜及其制备方法与应用，通过磁控溅射技术在打磨和抛光后的不锈钢基体上先沉积金属层Cr层，再沉积NbMoTaCr高熵合金层，厚度比为1:1，共循环沉积3个周期，使用Cr层打底以提高涂层与基体的结合力，同时有效提升了涂层整体耐腐蚀性能与塑性，NbMoTaCr层提升了涂层整体强度与耐腐蚀性，且涂层纳米压入硬度为7～8GPa，弹性模量为140～150GPa，在3.5wt.％的NaCl溶液中具有‑0.20～‑0.26V的腐蚀电位和1.0～5.0×10<supgt;‑6</supgt;A·cm<supgt;‑2</supgt;的腐蚀电流密度，具有高耐磨与耐腐蚀性的特点，能够保证工程材料在摩擦和腐蚀性服役工况条件下的使用效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于耐蚀高熵合金多层膜，具体涉及一种高强耐蚀高熵合金多层膜及其制备方法与应用。

技术介绍

1、工程材料需要同时具备高强度和良好的耐腐蚀性能，才能在工况条件下实现长寿命服役。涂层技术的发展降低了工程材料的维护成本，并提升了工程材料即时修复的效率。传统合金的强度和耐腐蚀性能已无法满足某些苛刻环境的服役需求，在一些极端工况条件下材料表面易由于遭受磨损和腐蚀问题而引起服役失效。高熵合金的出现为设计具有优异综合力学与耐腐蚀性能的涂层提出了更多的可能性。高熵合金突破了传统合金的设计桎梏，具有热力学上的高熵效应、动力学上的迟滞扩散效应、结构上的晶格畸变效应和性能上的“鸡尾酒”效应，而具有优异的耐腐蚀性能与综合力学性能。但高熵合金块体由于制备工艺复杂且制备难度较大而存在应用受限的问题，而表面技术可以在不影响基体材料本征特性的同时实现高性能防护高熵合金涂层的制备，从而对较低成本基体材料表面进行高效防护，同时拓宽了高熵合金的应用领域。

2、经检索，如专利号cn115961252a公开了一种耐腐蚀非晶合金多层膜机器制备方法，该耐蚀非晶多层薄膜是由双靶磁控溅本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：本方法基于磁控溅射技术在基体上制备涂层，包括

2.如权利要求1所述的一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：步骤1所述的基体处理过程包括

3.如权利要求1所述的一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：步骤2所述的将溅射室抽真空的过程包括利用机械泵将溅射室真空抽至0～10Pa的真空度后，打开分子泵，利用分子泵继续将真空度抽至目标真空度5×10-5～5×10-4Pa。

4.如权利要求1所述的一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：步骤3所述的氩气流量为20～30sccm，闸...

【技术特征摘要】

1.一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：本方法基于磁控溅射技术在基体上制备涂层，包括

2.如权利要求1所述的一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：步骤1所述的基体处理过程包括

3.如权利要求1所述的一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：步骤2所述的将溅射室抽真空的过程包括利用机械泵将溅射室真空抽至0～10pa的真空度后，打开分子泵，利用分子泵继续将真空度抽至目标真空度5×10-5～5×10-4pa。

4.如权利要求1所述的一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：步骤3所述的氩气流量为20～30sccm，闸板阀开度为10％～20％，电阻规工作气压为0.3～0.5pa，薄膜规工作气压为1.0～2.0pa。

5.如权利要求1所述的一种高强耐蚀高熵合金多层膜的制备方法，其特征在于：步骤5所述的在基体表面制备高强耐蚀高熵合金多层膜的过程包括

6.一种高强耐蚀高熵合金多层...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟华，宋宝睿，
申请(专利权)人：河南省科学院化学研究所，
类型：发明
国别省市：