【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗器具，具体涉及一种基于ptfe的清洗装置及其制备方法。
技术介绍
1、随着集成电路产业的蓬勃发展，所用到的晶圆片得量也在急剧增加，晶圆片的化学清洗是贯穿整个芯片加工中的重要环节，由于晶圆的加工过程对洁净度要求非常高，所有与晶圆接触的媒介都有可能对晶圆造成污染，晶圆清洗的好坏对器件性能有直接的影响，这对于集成电路制造的时效性有极大的影响；在晶圆清洗加工中，需要用到分流器进行清洗液的分流等；但是这种分流器也是需要对水有更好地疏水性，还要有更强的耐腐蚀性等。
2、聚四氟乙烯的耐腐蚀性能好，是化学惰性的材料。它能够耐受大多数腐蚀性化学品、酸碱、有机溶剂的侵蚀，如浓硝酸、浓盐酸、浓硫酸、浓磷酸、浓氢氟酸、任何浓碱等。
3、分流器具一般采用内置管道，冷却水(液体)在内置管道内进行流通，就需要水流通畅，疏水特性的表面会对水流通畅会有很好地效果。在冷却器具方面，就需要增加其疏水性，可以避免冷却水浸润冷却器具，使得长时间使用后，冷却器具的表面挂有水分进行阻碍水流等，极大的影响需要冷却的物体，如晶圆、基片等。
4、因此，对晶圆片清洗需要进一步改进。
技术实现思路
1、本专利技术是采用新材料聚四氟乙烯(ptfe)，进行水流道孔的合理化设计，结合加工技术上的改进，可以实现引导孔-石蜡-激光通孔-冷却-最终产品的加工技术，解决掉钻孔后引起的毛刺现象，避免后期使用上，毛刺带来的影响等，且提高其表面的疏水特性等。
2、一种基于ptfe的清洗装置，
3、进一步地，所述凸盘选取圆形凸盘。
4、进一步地，所述ptfe本体为正棱柱体。
5、进一步地，所述横向面流道孔包括中心面流道孔和偏面流道孔，所述中心面流道孔设置在所述ptfe本体的中心面上，所述偏面流道孔设置在所述ptfe本体的中心面之上和/或之下，所述中心面流道孔与所述中心流道孔相互连通。
6、进一步地，所述横向面流道孔的数量与所述棱柱体的棱面的数量相等。
7、进一步地，所述ptfe本体和凸盘为一体设置。
8、进一步地，所述螺纹孔和水流道孔均是选用ptfe本体作为内壁。
9、进一步地，所述ptfe本体、凸盘、螺纹孔和水流道孔为一体设置。
10、进一步地，所述螺纹孔包括中心面螺纹孔和侧面螺纹孔，所述中心面螺纹孔设置在中心面流道孔处，所述侧面螺纹孔设置在所述偏面流道孔和中心流道孔处。
11、进一步地，一种基于ptfe的清洗装置的制备方法，所述步骤具体如下：
12、步骤1：制胚材
13、选取ptfe(聚四氟乙烯)材质的圆锭，将其放入切割机床上进行切割，选取切割锯对该圆锭进行切割出所需规格厚度的圆胚；
14、步骤2：制棱柱体胚
15、选取步骤1的圆胚，将其放入切割机床的载物台上，选取直切割锯，在切割机床的数控平台上进行等棱柱体切割，切割出等边棱柱体后，并对等边棱柱体的侧表面进行铣磨，将该等边棱柱体放入铣磨机床上进行铣磨，再对其进行倒角的铣磨，然后对其进行抛光处理，采用机械抛光技术，对其平整的表面进行油石的机械抛光，制备出ptfe棱柱体胚；
16、步骤3：制凸盘
17、选取步骤2的ptfe棱柱体胚，将其放在切割机床的载物台上，固定好ptfe棱柱体胚后，在ptfe棱柱体胚的顶部和底部上进行圆形切割，切割出凸盘，并对等边棱柱体的凸盘表面进行铣磨，将该等边棱柱体放入铣磨机床上进行铣磨，再对其进行倒角的铣磨，然后对其进行抛光处理，采用机械抛光技术，对其平整的表面进行油石的机械抛光，制备出带凸盘的ptfe棱柱体胚；
18、步骤4：制四周螺纹孔
19、选取步骤3的带凸盘的ptfe棱柱体胚，将其放在钻孔机床的载物台上，选取螺纹孔钻头分别对带凸盘的ptfe棱柱体胚的凸盘和侧面进行四周螺纹孔的钻取，制备出带螺纹孔的ptfe棱柱体胚；
20、步骤5：制引导孔
21、按照步骤4的带螺纹孔的ptfe棱柱体胚，分别对其棱面的中心处进行钻取引导孔且作为中心面流道孔的引导孔，并继续钻取引导孔作为偏面流道孔的引导孔，以形成聚集在ptfe本体的中心处并向各个棱面发散的内嵌引导孔，制备出带引导孔的ptfe棱柱体胚；
22、步骤6：制中心引导孔
23、选取步骤5的带引导孔的ptfe棱柱体胚，将其顶面放在钻孔机床的载物台上，且该载物台上放有带有缓冲垫的工装夹具，固定好ptfe棱柱体胚，在凸盘的中心处进行钻取中心引导孔，启动钻头，沿着ptfe棱柱体胚的中线，钻至并贯穿ptfe棱柱体胚的下底面，制得待钻孔的ptfe棱柱体胚；
24、步骤7：制水流道孔
25、选取步骤6的待钻孔的ptfe棱柱体胚，将其放在钻孔机床的载物台上，且该载物台上放有带有缓冲垫的工装夹具，固定好待钻孔的ptfe棱柱体胚，在引导孔内进行灌注石蜡液体，将石蜡液体灌满引导孔，采用氮气进行快速降温凝固，再采用比加工引导孔的钻头的直径大0.1-0.15mm的钻头进行钻孔，且沿着引导孔进行钻取，制备出带水流道孔的ptfe棱柱体胚；
26、步骤8：激光通孔
27、选取步骤7的带水流道孔的ptfe棱柱体胚，采用激光器进行水流道孔的照射，设定激光器的能量和照射时间，完成ptfe棱柱体胚的激光通孔照射；
28、步骤9：冷却去毛刺
29、选取步骤8的ptfe棱柱体胚，将其进行快速冷却，待冷却至室温后，将丙酮溶液注入水流道孔中进行水流道孔的冲洗，然后再注入乙醇进行冲洗，最后注入纯水冲洗，并采用热风机对水流道孔进行热风烘干，制备出ptfe的清洗装置。
30、步骤10：检测
31、选取步骤9的ptfe的清洗装置，对其进行水流道孔的形貌和疏水性检测。
32、进一步地，所述钻头的规格尺寸按照所需加工的尺寸进行选择。
33、有益效果
34、本专利技术采用新材料聚四氟乙烯(ptfe)，进行水流道孔的合理化设计，结合加工技术上的改进，可以实现引导孔-石蜡-激光通孔-冷却-最终产品的加工技术，加工出该等八棱柱体及其上的水流道孔，可以实现水路的分流或汇集，其中的中心流道孔与中心面流道孔组成了这一分流或汇集的功能等；因为该装置主要是对水进行传输，就需要尽可能本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括：PTFE本体、凸盘、螺纹孔和水流道孔，所述PTFE本体为棱柱体，在所述PTFE本体的顶部和/或底部设有所述凸盘，所述PTFE本体与所述凸盘是以中心轴重合，所述水流道孔包括横向面流道孔和中心流道孔，在所述棱柱体的中心轴处设有所述中心流道孔，且所述中心流道孔是贯穿PTFE本体的上下两面，在所述棱柱体的内部设有所述横向面流道孔，所述横向面流道孔的每个孔均贯穿与之对应的PTFE本体的侧壁，所述横向面流道孔和中心流道孔相互连通，在所述水流道孔与PTFE本体的外表面接触处开设有所述螺纹孔，所述螺纹孔的直径大于所述水流道孔的直径。
2.根据权利要求1所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述凸盘选取圆形凸盘。
3.根据权利要求1所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述PTFE本体为正棱柱体。
4.根据权利要求1所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述横向面流道孔包括中心面流道孔和偏面流道孔，所述中心面流道孔设置在所述PTFE本体的中心面上，所述偏面流道孔设置在所述PTF
5.根据权利要求1所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述横向面流道孔的数量与所述棱柱体的棱面的数量相等。
6.根据权利要求1所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述PTFE本体和凸盘为一体设置。
7.根据权利要求1所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述螺纹孔和水流道孔均是选用PTFE本体作为内壁。
8.根据权利要求1所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述PTFE本体、凸盘、螺纹孔和水流道孔为一体设置。
9.根据权利要求4所述的一种基于PTFE的清洗装置，其特征在于，所述螺纹孔包括中心面螺纹孔和侧面螺纹孔，所述中心面螺纹孔设置在中心面流道孔处，所述侧面螺纹孔设置在所述偏面流道孔和中心流道孔处。
10.一种基于PTFE的清洗装置的制备方法，其特征在于，所述步骤具体如下：
...【技术特征摘要】
1.一种基于ptfe的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括：ptfe本体、凸盘、螺纹孔和水流道孔，所述ptfe本体为棱柱体，在所述ptfe本体的顶部和/或底部设有所述凸盘，所述ptfe本体与所述凸盘是以中心轴重合，所述水流道孔包括横向面流道孔和中心流道孔，在所述棱柱体的中心轴处设有所述中心流道孔，且所述中心流道孔是贯穿ptfe本体的上下两面，在所述棱柱体的内部设有所述横向面流道孔，所述横向面流道孔的每个孔均贯穿与之对应的ptfe本体的侧壁，所述横向面流道孔和中心流道孔相互连通，在所述水流道孔与ptfe本体的外表面接触处开设有所述螺纹孔，所述螺纹孔的直径大于所述水流道孔的直径。
2.根据权利要求1所述的一种基于ptfe的清洗装置，其特征在于，所述凸盘选取圆形凸盘。
3.根据权利要求1所述的一种基于ptfe的清洗装置，其特征在于，所述ptfe本体为正棱柱体。
4.根据权利要求1所述的一种基于ptfe的清洗装置，其特征在于，所述横向面流道孔包括中心面流道孔和偏面流道孔，所述中心面流道孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：林国梁，
申请(专利权)人：厦门莱蔓新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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