【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体测量器、气体测量系统以及气体测量方法。
技术介绍
1、专利文献1公开了气体测量器。气体测量器具备：朗缪尔-布劳杰特膜(langmuir-blodgett membrane：以下，称为lb膜)；和气体传感器，检测通过了lb膜的分子。lb膜吸附特定的气体分子，所以气体传感器仅选择性地探测被筛分出的分子。
2、专利文献1：日本特开2000-249644号公报。
技术实现思路
1、专利文献1中记载的气体传感器在lb膜吸附饱和了的情况下，吸附力大幅下降。在吸附力下降了的情况下，气体分子的筛分功能无法充分发挥。在气体分子的筛分功能无法充分发挥的情况下，需要使已吸附于lb膜的气体分子脱落或更换lb膜。然而，因气体分子的性质而异，存在难以使气体分子脱落的情况。而且，lb膜的更换需要新的lb膜，更换作业也耗费时间。本公开提供一种抑制气体分子的筛分功能下降的技术。
2、本公开的一个侧面所涉及的气体测量器具备过滤器单元及气体传感器。过滤器单元具有：多个端子，被施加电压或电流；和过滤器，根据对多个端子施加电压或电流而振动。气体传感器对通过了过滤器的气体分子进行检测，输出与检测到的气体分子相应的测量值。
3、在该气体测量器中，根据对过滤器单元的多个端子施加电压或电流而过滤器单元的过滤器振动。过滤器允许与过滤器的网眼相应的大小的气体分子通过。通过了过滤器的气体分子被气体传感器检测，输出测量值。比过滤器的网眼大的气体分子无法通过过滤器，欲以封堵过滤器的网眼的
4、在一个实施方式中也可以构成为：气体测量器具备包括过滤器单元在内的多个过滤器单元，多个过滤器单元重叠配置。气体测量器通过采用多级过滤器，能够实现高精度的筛分。
5、在一个实施方式中也可以构成为：对多个端子施加脉冲电压，过滤器单元具有压电元件，上述压电元件与多个端子电连接，过滤器支承于压电元件。过滤器利用通过脉冲电压而伸缩的压电元件，能够实现使检测对象大小的气体分子能够通过的振动。
6、在一个实施方式中也可以构成为：对多个端子施加电流，过滤器单元具有金属部件，上述金属部件与多个端子电连接，过滤器支承于金属部件。在电流施加至金属部件的情况下，自由电子与原子碰撞，产生晶格振动，振动向过滤器传导。过滤器利用上述的振动原理，能够实现使检测对象大小的气体分子能够通过的振动。
7、本公开的另一侧面所涉及的气体测量系统具备气体测量器及控制部。气体测量器具备过滤器单元及气体传感器。过滤器单元具有：多个端子，被施加电压或电流；和过滤器，根据对多个端子施加电压或电流而振动。气体传感器对通过了过滤器的气体分子进行检测，输出与检测到的气体分子相应的测量值。控制部对多个端子施加电压或电流，以使过滤器以规定频率振动。
8、在该气体测量系统中，根据对过滤器单元的多个端子施加电压或电流而过滤器单元的过滤器以规定频率振动。过滤器允许与过滤器的网眼相应的大小的气体分子通过。通过了过滤器的气体分子被气体传感器检测，输出测量值。比过滤器的网眼大的气体分子无法通过过滤器，欲以封堵过滤器的网眼的方式滞留。过滤器通过振动来弹开欲滞留的气体分子，避免过滤器的网眼被封堵。因此，该气体测量器能够抑制气体分子的筛分功能下降。另外，即使由于比过滤器的网眼大的气体分子而发生了过滤器的堵塞，也能够仅通过使过滤器振动并进行抽吸，而将堵塞于过滤器的网眼的较大的气体分子去除。因此，该气体测量系统可以容易地进行筛分功能的恢复。
9、本公开的又一侧面所涉及的气体测量方法包括以下步骤。
10、(1)使过滤器振动的步骤。
11、(2)对通过了振动的过滤器的气体分子进行检测并输出与检测到的气体分子相应的测量值的步骤。
12、根据该气体测量方法，可以起到与上述的气体检测器相同的效果。
13、根据本公开，能够抑制气体分子的筛分功能下降。
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1.一种气体测量器，测量气体，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的气体测量器，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的气体测量器，其特征在于，
4.根据权利要求1或2所述的气体测量器，其特征在于，
5.一种气体测量系统，是测量气体的气体测量系统，其特征在于，具备：
6.一种气体测量方法，是测量气体的气体测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
【技术特征摘要】
1.一种气体测量器，测量气体，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的气体测量器，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的气体测量器，其特征在于，
4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：水谷学世，铃木誉久，泽田和明，野田俊彦，
申请(专利权)人：新东工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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