【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜,尤其涉及一种高压真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜设备是一种用于在物体表面形成薄膜涂层的设备。它通过在真空环境中蒸发或溅射材料,使得材料蒸发或溅射沉积在待处理物体的表面上,形成一层薄膜涂层,真空镀膜设备广泛应用于各种领域,如光学领域、电子器件制造、摄影和显示技术等,通过在物体表面形成薄膜涂层,真空镀膜设备可以改变物体的光学、机械、电子和防护等性能,提供特殊的功能和外观效果。
2、在现有技术中,真空镀膜设备中将工件放置到工件盘上工件盘升高至真空室作业区域,以及工件盘的旋转通常是分两步来进行,工件盘的移动与旋转分别通过两种设备完成,工序复杂,结构臃肿,不利于工作效率的提升,同时以往此类真空室采用圆筒形平顶结构,均从同一方向对工件进行镀膜,容易导致镀层不均匀,镀件质量不一致的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述现有工序复杂,结构臃肿,不利于工作效率的提升的问题,提出了本技术。
2、因此,本技术目的是提供一种高压真空镀膜设备,其目的在于:实现工件盘的移动与旋转一体式,简化工作流程,提升工作效率。
3、为解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:一种高压真空镀膜设备,其一种高压真空镀膜设备,包括支撑台,所述支撑台的上方设有真空室,所述支撑台的下方设有转件驱动装置,所述转件驱动装置包括底座,所述底座上设有伸缩气缸,所述伸缩气缸的输出端设有支撑板,所述支撑板的上端转动连接有第一齿轮,所述支撑板的一侧贯穿设置有减速电机,所述减速电机的输出端
4、作为本技术所述高压真空镀膜设备的一种优选方案,其中:所述底座的两侧均设有导向轴,两组所述导向轴分别固设在所述伸缩气缸的两端,两组所述导向轴的顶端活动连接有导向块,提高伸缩气缸运行的稳定性。
5、作为本技术所述高压真空镀膜设备的一种优选方案,其中:所述导向块的中部开设有通孔,所述连接杆通过通孔转动连接在导向块中,确保工件盘能够稳定升降与转动。
6、作为本技术所述高压真空镀膜设备的一种优选方案,其中:所述支撑板的两侧开设有导向孔,所述支撑板通过导向孔滑动连接在导向轴上,确保支撑板的运行稳定。
7、作为本技术所述高压真空镀膜设备的一种优选方案,其中:所述支撑板另一侧设有配重块,所述配重块位于所述减速电机的对侧,使支撑板的两端受力均衡。
8、作为本技术所述高压真空镀膜设备的一种优选方案,其中:所述工件盘位于所述真空室的内部,所述连接杆贯穿所述真空室的底部,确保工件盘在真空室内部升至镀膜区并转动进行工作。
9、作为本技术所述高压真空镀膜设备的一种优选方案,其中:所述真空室为半球形结构,内部为球形能够从更多角度对镀件进行镀膜。
10、本技术的有益效果:
11、1.通过设置伸缩气缸,伸缩气缸的前端通过支撑板转动连接有第一齿轮,实现了工件盘升降与旋转一体式,结构简单紧凑,更加灵活,简化了工作流程,提升了工作效率。
12、2.通过设置支撑板滑动连接在导向轴上,提高了工件盘升降的稳定性。
13、3.通过设置半球形的真空室,真空室内部能够从更多角度对镀件进行镀膜,提升了镀件表面镀层的均匀性。
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1.一种高压真空镀膜设备,包括支撑台(1),所述支撑台(1)的上方设有真空室(2),所述支撑台(1)的下方设有转件驱动装置(3),其特征在于:所述转件驱动装置(3)包括底座(301),所述底座(301)上设有伸缩气缸(302),所述伸缩气缸(302)的输出端设有支撑板(303),所述支撑板(303)的上端转动连接有第一齿轮(304),所述支撑板(303)的一侧贯穿设置有减速电机(305),所述减速电机(305)的输出端设有第二齿轮(306),所述第二齿轮(306)与第一齿轮(304)啮合转动,所述第二齿轮(306)的顶部固设有连接杆(4),所述连接杆(4)的顶部固设有工件盘(5)。
2.根据权利要求1所述的高压真空镀膜设备,其特征在于:所述底座(301)的两侧均设有导向轴(6),两组所述导向轴(6)分别固设在所述伸缩气缸(302)的两端,两组所述导向轴(6)的顶端活动连接有导向块(7)。
3.根据权利要求2所述的高压真空镀膜设备,其特征在于:所述导向块(7)的中部开设有通孔,所述连接杆(4)通过通孔转动连接在导向块(7)中。
4.根据权利要求3
5.根据权利要求4所述的高压真空镀膜设备,其特征在于:所述支撑板(303)另一侧设有配重块(8),所述配重块(8)位于所述减速电机(305)的对侧。
6.根据权利要求1所述的高压真空镀膜设备,其特征在于:所述工件盘(5)位于所述真空室(2)的内部,所述连接杆(4)贯穿所述真空室(2)的底部。
7.根据权利要求6所述的高压真空镀膜设备,其特征在于:所述真空室(2)为半球形结构。
...【技术特征摘要】
1.一种高压真空镀膜设备,包括支撑台(1),所述支撑台(1)的上方设有真空室(2),所述支撑台(1)的下方设有转件驱动装置(3),其特征在于:所述转件驱动装置(3)包括底座(301),所述底座(301)上设有伸缩气缸(302),所述伸缩气缸(302)的输出端设有支撑板(303),所述支撑板(303)的上端转动连接有第一齿轮(304),所述支撑板(303)的一侧贯穿设置有减速电机(305),所述减速电机(305)的输出端设有第二齿轮(306),所述第二齿轮(306)与第一齿轮(304)啮合转动,所述第二齿轮(306)的顶部固设有连接杆(4),所述连接杆(4)的顶部固设有工件盘(5)。
2.根据权利要求1所述的高压真空镀膜设备,其特征在于:所述底座(301)的两侧均设有导向轴(6),两组所述导向轴(6)分别固设在所述伸缩气缸(302)的两端,两组所述导向...
【专利技术属性】
技术研发人员:王桂岳,赵松强,王可峰,
申请(专利权)人:龙口市比特真空技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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