一种真空镀膜设备用加热板制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜领域，公开了.一种真空镀膜设备用加热板，包括加热管、辐射加热板、第一电源接头、第二电源接头，所述辐射加热板固定连接于加热管下端处，所述加热管采用螺旋盘旋式结构，所述加热管镶嵌于辐射加热板上方，所述第一电源接头固定连接于辐射加热板下端面中心靠一侧边缘处，所述第二电源接头固定连接于辐射加热板下端面中心处，所述第一电源接头、第二电源接头输出端贯穿辐射加热板贯穿固定连接于加热管一端、下端中心处。本实用新型专利技术中通过加热管采用螺旋盘式结构、镶嵌式双层加热结构，节省了炉内空间，提高了真空镀膜炉内温度，使其快速达到工作温度，提高了机器工作效率，提高了镀件质量，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备用加热板


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜设备用加热板。

技术介绍

[0002]真空镀膜是以真空技术为基础利用物理或化学方法，在真空中把金属、合金化合物进行蒸发或溅射，使其被涂覆的物体（称基板、基片或集体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜，而真空镀膜设备用加热板则为真空镀膜器中为极重要的部分。
[0003]目前市场上真空镀膜加热一直采用U形或柱形加热管，加热漫散，热量利用率低，影响工作效率及镀件质量，因此，本领域技术人员提供一种真空镀膜设备用加热板，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜设备用加热板，采用盘式加热管镶嵌于辐射加热板上，利用加热板的辐射热，使炉内极快达到工作温度，缩短炉内加热时间，提高工作效率,由于该加热板结构紧凑，也减少了占用炉内空间。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种真空镀膜设备用加热板，包括加热管、辐射加热板、第一电源接头、第二电源接头，所述辐射加热板固定连接于加热管下端处，所述第一电源接头固定连接于辐射加热板下端面中心靠一侧边缘处，所述第二电源接头固定连接于辐射加热板下端面中心处，所述第一电源接头输出端贯穿辐射加热板贯穿固定连接于加热管一端处，所述第二电源接头输出端贯穿辐射加热板贯穿固定连接于加热管下端面中心处；
[0006]通过上述技术方案，采用盘式加热管镶嵌于辐射加热板上，利用加热板的辐射热，使炉内极快达到工作温度，缩短炉内加热时间，提高工作效率,由于该加热板结构紧凑，也减少了占用炉内空间。
[0007]进一步地，所述加热管采用螺旋盘式结构；
[0008]通过上述技术方案，采用螺旋盘式结构可以提高工作效率，缩短加热时间。
[0009]进一步地，所述加热管镶嵌于辐射加热板上方；
[0010]通过上述技术方案，通过镶嵌结构大大节省了仪器内部空间，且双层加热下可以缩短炉内加热时间，大大增加了工人工作效率。
[0011]进一步地，所述辐射加热板内发热管采用310s无缝不锈钢管；
[0012]通过上述技术方案，310s无缝不锈钢管拥有熔点高的特性，扩大设备的工作范围，保障设备的安全。
[0013]进一步地，所述加热盘管使用镍基合金钢作为发热管；
[0014]通过上述技术方案，镍基合金钢拥有良好的抗腐蚀性，拥有较高的强度，特别是在温度高时，为设备提供了安全保障。
[0015]进一步地，所述第一电源接头、第二电源接头采用金属钨接头；
[0016]通过上述技术方案，金属钨具有良好的耐高温性与耐腐蚀性，使得机器可以在极端环境下工作，以此增强设备的安全性。
[0017]进一步地，所述辐射加热板发热单元使用镍铬合金丝；
[0018]通过上述技术方案，镍铬合金丝辐射率高、不易变形、不带磁性，加长设备使用寿命。
[0019]本技术具有如下有益效果：
[0020]1、本技术中，加热管使用螺旋盘式结构，在节省空间的同时提升工作效率、降低设备成本。
[0021]2、本技术中，通过镶嵌式双层加热结构，节省炉内空间，提高了真空镀膜炉内温度，使其快速达到工作温度，提高了机器工作效率，降低成本。
附图说明
[0022]图1为本技术提出的一种真空镀膜设备用加热板的正视图；
[0023]图2为本技术提出的一种真空镀膜设备用加热板的俯视图；
[0024]图3为本技术提出的一种真空镀膜设备用加热板的仰视图；
[0025]图4为本技术提出的一种真空镀膜设备用加热板的侧视图。
[0026]图例说明：
[0027]1、加热管；2、辐射加热板；3、第一电源接头；4、第二电源接头。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]参照图1
‑
4，本技术提供的一种实施例：一种真空镀膜设备用加热板，包括加热管1、辐射加热板2、第一电源接头3、第二电源接头4，辐射加热板2固定连接于加热管1下端处，第一电源接头3固定连接于辐射加热板2下端面中心靠一侧边缘处，第二电源接头4固定连接于辐射加热板2下端面中心处，第一电源接头3输出端贯穿辐射加热板2贯穿固定连接于加热管1一端处，第二电源接头4输出端贯穿辐射加热板2贯穿固定连接于加热管1下端面中心处。
[0030]加热管1采用螺旋盘式结构，采用螺旋盘式结构可以提高工作效率，缩短加热时间，加热管1镶嵌于辐射加热板2上方，通过镶嵌结构大大节省了仪器内部空间，且双层加热下可以缩短炉内加热时间，大大增加了工人工作效率，辐射加热板2内发热管采用310s无缝不锈钢管，310s无缝不锈钢管拥有熔点高的特性，扩大设备的工作范围，保障设备的安全，加热盘管使用镍基合金钢作为发热管，镍基合金钢拥有良好的抗腐蚀性，拥有较高的强度，特别是在温度高时，为设备提供了安全保障，第一电源接头3、第二电源接头4采用金属钨接头，金属钨具有良好的耐高温性与耐腐蚀性，使得机器可以在极端环境下工作，以此增强设备的安全性，辐射加热板2发热单元使用镍铬合金丝，镍铬合金丝辐射率高、不易变形、不带
磁性，加长设备使用寿命。
[0031]工作原理：辐射加热板2镶嵌于加热管1下端处，第一电源接头3固定连接于加热管1一侧壁，第二电源接头4固定连接于加热管1中心面下端处，第一电源接头3、第二电源接头4输出端皆贯穿辐射加热板2固定连接于加热管1，第一电源接头3、第二电源接头4给予加热管1、辐射加热板2能量运作，加热管1加热的同时叠加辐射加热板2的辐射热使得炉内温度快速提升，在短时间内达到工作温度。
[0032]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备用加热板，包括加热管（1）、辐射加热板（2）、第一电源接头（3）、第二电源接头（4），其特征在于：所述辐射加热板（2）固定连接于加热管（1）下端处，所述第一电源接头（3）固定连接于辐射加热板（2）下端面中心靠一侧边缘处，所述第二电源接头（4）固定连接于辐射加热板（2）下端面中心处，所述第一电源接头（3）输出端贯穿辐射加热板（2）贯穿固定连接于加热管（1）一端处，所述第二电源接头（4）输出端贯穿辐射加热板（2）贯穿固定连接于加热管（1）下端面中心处。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用加热板，其特征在于：所述加热管（1）采用螺旋盘式结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：王桂岳，王同泉，赵松强，张文刚，
申请(专利权)人：龙口市比特真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：