一种高偏压送电电极制造技术

技术编号:40464148 阅读:5 留言:0更新日期:2024-02-22 23:18
本技术公开了一种高偏压送电电极,涉及真空镀膜技术领域,包括密封盖板,密封盖板上设有转件盘;密封盖板上设有定位孔,定位孔上固定连接有电极组件,电极组件包括电极杆,电极杆的两端为螺纹,限位块外部通过螺纹固定有第二绝缘套;电极杆的外部设有绝缘内套,绝缘内套的一端上设有连杆,连杆顶部固定连接有第一绝缘套,第一绝缘套外部通过螺母固定有绝缘护套;电极杆的另一端螺纹处通过螺母固定有连接片,连接片上固定有固定座,固定座的另一端固定有电极滑动摩擦圈,电极滑动摩擦圈与转件盘接触。本技术通过在1万伏高偏压下送电,实现缩短镀膜时间,提高镀件与膜层的结合力。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜,具体涉及一种高偏压送电电极


技术介绍

1、目前真空镀膜行业中,高偏压送电电压一般为4千伏,采用氟塑料绝缘;由于镀膜工作时,镀膜室温度很高,氟塑料极易烧坏,而且4千伏高偏压送电,镀件与膜层结合力差,镀膜时间长。

2、因此,提供一种高偏压送电电极,可在1万伏高偏压进行送电,以解决上述技术问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种高偏压送电电极,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是:

3、一种高偏压送电电极,包括密封盖板,密封盖板上设有转件盘;密封盖板上设有定位孔,定位孔上通过螺母固定连接有电极组件,电极组件包括电极杆,电极杆的两端为螺纹,电极杆一端与螺纹交界处设有限位块,限位块外部通过螺纹固定有第二绝缘套;电极杆的外部设有绝缘内套,绝缘内套内部有通孔,绝缘内套的一端上设有连杆,连杆底部与绝缘内套连接处设有第一密封圈,连杆顶部固定连接有第一绝缘套,第一绝缘套外部通过螺母固定有绝缘护套;绝缘内套的另一端与限位块之间设有第二密封圈;电极杆的另一端螺纹处通过螺母固定有连接片,连接片上固定有固定座,固定座的另一端固定有电极滑动摩擦圈,电极滑动摩擦圈与转件盘接触。。

4、本技术技术方案的进一步改进在于:绝缘内套、第一绝缘套和绝缘护套均采用陶瓷材料。

5、本技术技术方案的进一步改进在于:第二绝缘套采用四氟绝缘套。

6、本技术技术方案的进一步改进在于:电极杆在限位块处的螺纹长度小于另一端的螺纹长度。

7、本技术技术方案的进一步改进在于:电极杆为铜电极杆。

8、本技术技术方案的进一步改进在于:绝缘护套上设有开口。

9、由于采用了上述技术方案,本技术相对现有技术来说,取得的技术进步是:

10、1、本技术提供的一种高偏压送电电极,可在1万伏高偏压进行送电,解决了4千伏高偏压送电,镀件与膜层结合力差,镀膜时间长的技术问题。

11、2、本技术提供的一种高偏压送电电极,采用陶瓷材料绝缘,而且陶瓷材料具有较高的高温稳定性,能有效的防止在镀膜工作时,镀膜室温度很高,导致绝缘材料易烧坏,解决了绝缘件容易损坏的问题。

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【技术保护点】

1.一种高偏压送电电极,其特征在于:包括密封盖板(7),密封盖板(7)上设有转件盘(72);密封盖板(7)上设有定位孔(71),定位孔(71)上通过螺母固定连接有电极组件,电极组件包括电极杆(5),电极杆(5)的两端为螺纹,电极杆(5)一端与螺纹交界处设有限位块(51),限位块(51)外部通过螺纹固定有第二绝缘套(6);电极杆(5)的外部设有绝缘内套(4),绝缘内套(4)内部有通孔,绝缘内套(4)的一端上设有连杆(42),连杆(42)底部与绝缘内套(4)连接处设有第一密封圈(41),连杆(42)顶部固定连接有第一绝缘套(3),第一绝缘套(3)外部通过螺母固定有绝缘护套(2);绝缘内套(4)的另一端与限位块(51)之间设有第二密封圈(121);电极杆(5)的另一端螺纹处通过螺母固定有连接片(12),连接片(12)上固定有固定座(11),固定座(11)的另一端固定有电极滑动摩擦圈(1),电极滑动摩擦圈(1)与转件盘(72)接触。

2.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极,其特征在于:所述绝缘内套(4)、第一绝缘套(3)和绝缘护套(2)均采用陶瓷材料。

3.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极,其特征在于:所述第二绝缘套(6)采用四氟绝缘套。

4.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极,其特征在于:所述电极杆(5)在限位块(51)处的螺纹长度小于另一端的螺纹长度。

5.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极,其特征在于:所述电极杆(5)为铜电极杆。

6.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极,其特征在于:所述绝缘护套(2)上设有开口。

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【技术特征摘要】

1.一种高偏压送电电极,其特征在于:包括密封盖板(7),密封盖板(7)上设有转件盘(72);密封盖板(7)上设有定位孔(71),定位孔(71)上通过螺母固定连接有电极组件,电极组件包括电极杆(5),电极杆(5)的两端为螺纹,电极杆(5)一端与螺纹交界处设有限位块(51),限位块(51)外部通过螺纹固定有第二绝缘套(6);电极杆(5)的外部设有绝缘内套(4),绝缘内套(4)内部有通孔,绝缘内套(4)的一端上设有连杆(42),连杆(42)底部与绝缘内套(4)连接处设有第一密封圈(41),连杆(42)顶部固定连接有第一绝缘套(3),第一绝缘套(3)外部通过螺母固定有绝缘护套(2);绝缘内套(4)的另一端与限位块(51)之间设有第二密封圈(121);电极杆(5)的另一端螺纹处通过螺母固定有连接片(12),连...

【专利技术属性】
技术研发人员:王桂岳王可峰张乃发王德尊
申请(专利权)人:龙口市比特真空技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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