【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及一种光线接收装置及等离子刻蚀设备。
技术介绍
1、在等离子刻蚀设备的工艺过程中，晶圆工艺要求对反应腔内的等离子体形态及浓度进行监测，以完成晶圆的整个工艺步骤或工艺步骤切换。这就需要采用一定的监测手段来实现对等离子体和刻蚀物的实时监测。在一些工艺中是采用时间的方式来实现，即晶圆工艺过程不针对等离子体或刻蚀物进行监测，只提供工艺步骤的工艺时间；另一些工艺中是通过收集等离子体内物质的光线的方式来实现对等离子体或刻蚀物的监测，这种方式的好处是可以根据元素的光线特性来锁定被刻蚀物的剩余量，可以更加精准的控制工艺步骤的工艺时间。
2、随着晶圆制造尺寸的不断缩小以及特殊产品对工艺步骤的严格需求，迫使等离子刻蚀设备内光线接收装置成为一项关键而又亟待解决的技术问题。因此，有必要提供一种更可靠、更有效的技术方案，能够提高光线接收装置接收光线的稳定性以及精确性。
技术实现思路
1、本申请提供一种光线接收装置及等离子刻蚀设备，能够提高光线接收装置接收光线的稳定性以及精确性，从而提高等离子刻蚀设备的工艺良率。
2、本申请的一个方面提供一种光线接收装置，包括：光线入射部，装配于等离子刻蚀设备的反应腔侧壁，接收所述反应腔中的等离子体发出的光线，所述光线入射部包括第一壳体以及设置于所述第一壳体第一端的光线筛选部，所述光线筛选部被配置为筛选平行于所述光线筛选部的光线通过；光线聚焦部，部分嵌入所述第一壳体第二端，对离开所述光线入射部的光线进行聚焦，所述光线聚焦部包括第
3、在本申请的一些实施例中，所述光线入射部还包括第一密封环，设置于所述光线入射部与等离子刻蚀设备的反应腔侧壁的装配面。
4、在本申请的一些实施例中，所述光线入射部还包括第一螺栓，所述光线入射部通过所述第一螺栓装配于等离子刻蚀设备的反应腔侧壁。
5、在本申请的一些实施例中，所述光线聚焦部还包括密封镜片，设置于所述凸透镜和所述光线筛选部之间。
6、在本申请的一些实施例中，所述光线入射部还包括第二密封环，设置于所述光线筛选部和所述密封镜片之间。
7、在本申请的一些实施例中，所述光线聚焦部还包括第二螺栓，所述光线聚焦部通过所述第二螺栓固定于所述光线入射部。
8、在本申请的一些实施例中，所述光线聚焦部还包括螺纹装配管，所述光线接收部的安装柄内部具有螺纹，所述光线接收部的安装柄旋拧固定于所述光线聚焦部的螺纹装配管上。
9、在本申请的一些实施例中，所述第一壳体为一体成型的结构。
10、在本申请的一些实施例中，所述光线筛选部包括若干贯通孔，所述若干贯通孔为圆形孔，所述若干贯通孔排列构成正六边形。
11、本申请的另一个方面还提供一种等离子刻蚀设备，包括：反应腔，所述反应腔侧壁设置有光线收集窗口；如上述所述的光线接收装置，设置于所述光线收集窗口，接收所述反应腔中的等离子体发出的光线。
12、本申请提供一种光线接收装置及等离子刻蚀设备，通过光线筛选部对光线进行筛选，再通过凸透镜对光线进行聚焦，能够提高光线接收装置接收光线的稳定性以及精确性，从而提高等离子刻蚀设备的工艺良率。
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1.一种光线接收装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线入射部还包括第一密封环，设置于所述光线入射部与等离子刻蚀设备的反应腔侧壁的装配面。
3.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线入射部还包括第一螺栓，所述光线入射部通过所述第一螺栓装配于等离子刻蚀设备的反应腔侧壁。
4.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线聚焦部还包括密封镜片，设置于所述凸透镜和所述光线筛选部之间。
5.如权利要求4所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线入射部还包括第二密封环，设置于所述光线筛选部和所述密封镜片之间。
6.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线聚焦部还包括第二螺栓，所述光线聚焦部通过所述第二螺栓固定于所述光线入射部。
7.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线聚焦部还包括螺纹装配管，所述光线接收部的安装柄内部具有螺纹，所述光线接收部的安装柄旋拧固定于所述光线聚焦部的螺纹装配管上。
8.如权利要求1所述的光线接收装
9.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线筛选部包括若干贯通孔，所述若干贯通孔为圆形孔，所述若干贯通孔排列构成正六边形。
10.一种等离子刻蚀设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种光线接收装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线入射部还包括第一密封环，设置于所述光线入射部与等离子刻蚀设备的反应腔侧壁的装配面。
3.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线入射部还包括第一螺栓，所述光线入射部通过所述第一螺栓装配于等离子刻蚀设备的反应腔侧壁。
4.如权利要求1所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线聚焦部还包括密封镜片，设置于所述凸透镜和所述光线筛选部之间。
5.如权利要求4所述的光线接收装置，其特征在于，所述光线入射部还包括第二密封环，设置于所述光线筛选部和所述密封镜片之间。
【专利技术属性】
技术研发人员：卫德强，
申请(专利权)人：中芯北方集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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