一种单向换气装置以及阀件分流箱制造方法及图纸

本申请提供一种单向换气装置以及阀件分流箱，所述单向换气装置包括：壳体，所述壳体包括第一表面，所述第一表面上包括镂空区域；弹性膜，所述弹性膜设置于所述第一表面上，覆盖所述镂空区域；固定件，设置在所述镂空区域的中部，用于固定所述弹性膜。所述单向换气装置设置在阀件分流箱中，只能进行单向换气，使用时，将所述阀件分流箱换气装置固定在VMB换气孔内壁处，正常工作时，气体可由环境通过换气孔进入VMB，当VMB内发生气体泄漏导致气压过大时，则可阻止VMB内气体通过换气孔流入大气。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体制造，特别涉及一种用于半导体制造工厂内的单向换气装置以及阀件分流箱。

技术介绍

1、阀件分流箱(valve manifold box，vmb)是一种内嵌多支分发管与排气管，实现高纯气体或或者液体分流的阀门箱。它能让气体从单一来源被分配到多点应用，而且对于每个使用点,气压还可被单独地调控,从而满足个别应用需求，是一种高精度的气体设备。

2、半导体制造过程中需要用到很多毒性腐蚀性等气体，这些气体由晶圆厂的厂务端在一楼供应至子晶圆厂(sub fab)，再从sub fab通过vmb向机台端输送。vmb为一个包含管路及阀门的密闭阀箱，在阀件分流箱的排气抽风系统(vmbexhaust)中，有一个与外界交换气体的换气孔，如果在vmb内部发生气体泄漏，那么这些有毒气体会通过此换气孔进入到sub fab空气环境中，造成对fab环境污染，甚至对附近人员的健康造成伤害。

3、目前市场上常用的vmb exhaust系统，在换气孔处都只加了一层过滤棉，只能起到简单的过滤灰尘的作用，当有气体泄漏发生时，气体可能会通过换气孔扩散至环境中，造成环境污染以及人员伤害等。

4、因此，希望提供一种防止阀件分流箱泄漏的装置，避免在发生气体泄漏时对环境造成污染、对附近人员的健康造成伤害。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种单向换气装置以及阀件分流箱，所述单向换气装置安装在所述阀件分流箱中，避免在所述阀件分流箱中发生气体泄漏时，泄漏的气体从所述阀件分流箱的换气孔进入环境中。

2、本申请实施例一方面提供一种单向换气装置，包括：壳体，所述壳体包括第一表面，所述第一表面上包括镂空区域；弹性膜，所述弹性膜设置于所述第一表面上，覆盖所述镂空区域；固定件，设置在所述镂空区域的中部，用于固定所述弹性膜。

3、在一些实施例中，所述弹性膜的表面积大于所述镂空区域的表面积。

4、在一些实施例中，所述镂空区域包括一根以上从所述镂空区域的外边缘延伸至所述固定件的支架。

5、在一些实施例中，所述支架均匀分隔所述镂空区域。

6、在一些实施例中，所述第一表面上包括至少三个连接孔，用于将所述单向换气装置安装在目标位置。

7、在一些实施例中，所述弹性膜为弹性硅胶。

8、本申请另一方面还提供一种阀件分流箱，包括箱体以及设置在所述箱体上的换气孔，上述的单向换气装置设置在所述换气孔中，其中，所述单向换气装置的第一表面朝向所述箱体的内侧。

9、在一些实施例中，所述箱体上还设置有排气管路，所述排气管路使所述箱体内保持负压。

10、在一些实施例中，所述排气管路的另一端连接至中央处理系统，所述排气管路与所述中央处理系统之间的连接管路中还连接有检测装置。

11、在一些实施例中，所述箱体上还密封连接有多个进气管路。

12、在本申请实施例提供的单向换气装置，是一种防止vmb内气体外泄的单向换气装置，正常情况下可以保证阀件分流箱的换气孔进气从而交换空气，一旦vmb发生泄漏，就可以阻止vmb内的毒气泄漏到所述vmb所在的环境中，防止对环境造成污染及对附近人员造成伤害。

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【技术保护点】

1.一种单向换气装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述弹性膜的表面积大于所述镂空区域的表面积。

3.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述镂空区域包括一根以上从所述镂空区域的外边缘延伸至所述固定件的支架。

4.根据权利要求3所述的单向换气装置，其特征在于，所述支架均匀分隔所述镂空区域。

5.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述第一表面上包括至少三个连接孔，用于将所述单向换气装置安装在目标位置。

6.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述弹性膜为弹性硅胶。

7.一种阀件分流箱，包括箱体以及设置在所述箱体上的换气孔，其特征在于，权利要求1至6中任一项所述的单向换气装置设置在所述换气孔中，其中，所述单向换气装置的第一表面朝向所述箱体的内侧。

8.根据权利要求7所述的阀件分流箱，其特征在于，所述箱体上还设置有排气管路，所述排气管路使所述箱体内保持负压。

9.根据权利要求8所述的阀件分流箱，其特征在于，所述排气管路的另一端连接至中央处理系统，所述排气管路与所述中央处理系统之间的连接管路中还连接有检测装置。

10.根据权利要求7所述的阀件分流箱，其特征在于，所述箱体上还密封连接有多个进气管路。

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【技术特征摘要】

1.一种单向换气装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述弹性膜的表面积大于所述镂空区域的表面积。

3.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述镂空区域包括一根以上从所述镂空区域的外边缘延伸至所述固定件的支架。

4.根据权利要求3所述的单向换气装置，其特征在于，所述支架均匀分隔所述镂空区域。

5.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述第一表面上包括至少三个连接孔，用于将所述单向换气装置安装在目标位置。

6.根据权利要求1所述的单向换气装置，其特征在于，所述弹性膜为弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：王仕杰，
申请(专利权)人：中芯北方集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：