【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体设备，特别是涉及一种样品位置调整载台、切片装置与切片材料制备方法。
技术介绍
1、在基板(具体例如半导体芯片)生产、检测、以及故障分析步骤中，如产品的失效、工艺的改进和新产品的开发，都需要对某些特定位置观察内部结构。一般情况下，通过切片的方法来实现观察特定位置内部结构的目的。对该特定位置切片，然后对此特定位置进行扫描电子显微镜观察，即可观察此特定位置的详细的内部结构，如各个层次的厚度和形貌。该切片材料可广泛用于半导体生产工艺的监控、制程异常的分析、半导体元件成品的分析、检测、检验和测试领域。
2、传统技术中，通常是在基板上先通过切割的方式获取到包括待检测部位的样品，然后将样品进行切片得到切片材料。然而，传统技术中的切片材料制作效率与切片制作成功率均不高。
技术实现思路
1、基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种样品位置调整载台、切片装置与切片材料制备方法，它能够提高切片材料制备效率与制作成功率。
2、其技术方案如下：一种样品位置调整载台，所述样品位置调整载台包括：
3、支撑体与转动体，所述支撑体设有连接部，所述支撑体通过所述连接部与所述转动体的外壁相连，所述转动体的外壁与所述连接部滑动配合，所述转动体能绕其中心在至少两个不同方向上转动，所述转动体的外壁还用于贴设样品。
4、在其中一个实施例中，所述转动体为圆球体。
5、在其中一个实施例中，所述连接部设有至少一个凸起，所述转动体的外壁上设有第一卡槽与第二卡
6、在其中一个实施例中，多个所述第一卡槽为沿多个不同纬线布置的环形槽；多个所述第二卡槽为沿多个不同经线布置的环形槽。
7、在其中一个实施例中，多个所述第一卡槽等间隔地布置在所述转动体的外壁上，多个所述第二卡槽等间隔地布置在所述转动体的外壁上。
8、在其中一个实施例中，以所述转动体的中心为球心，任意相邻两个所述第一卡槽的圆心角为1°至5°，任意相邻两个所述第二卡槽的圆心角为1°至5°。
9、在其中一个实施例中，所述连接部为多个，多个所述连接部间隔地布置于所述支撑体上。
10、在其中一个实施例中，所述支撑体包括支撑板，所述支撑板设有窗口，所述连接部连接于所述窗口的口壁；多个所述连接部等间隔布置。
11、在其中一个实施例中，所述支撑体还包括支座，所述支座的顶部设有凹部并与所述支撑板相连，所述凹部与所述窗口对应设置，所述转动体贯穿所述窗口并伸入到所述凹部内。
12、在其中一个实施例中，所述连接部的凸起为两个，分别设置在其中两个所述第一卡槽中。
13、在其中一个实施例中，所述连接部位于所述支撑体的顶部，所述支撑体的顶部还设有承托件，所述承托件与所述转动体的底面转动配合。
14、在其中一个实施例中，所述承托件上用于与所述转动体底面相接触的表面为与所述转动体相适应的弧形面。
15、在其中一个实施例中，所述转动体的外壁上还设有沿第一卡槽设置的第一刻度标记，以及沿所述第二卡槽设置的第二刻度标记。
16、在其中一个实施例中，所述支撑体的底部还设有滚轮。
17、一种切片装置，所述切片装置包括所述的样品位置调整载台。
18、一种切片材料制备方法，采用了所述的样品位置调整载台，所述切片材料制备方法包括如下步骤：
19、将基板粘贴至旋转载台上，并送入机台设备中；
20、在所述机台设备中，对位于所述旋转载台上的所述基板进行切割得到样品，将所述样品提取至探针上；
21、将所述旋转载台从所述机台设备向外退出，并将所述的样品位置调整载台送入所述机台设备，然后使得所述探针上的样品粘贴到转动体上；
22、驱动转动体转动调整样品的角度位置到预设位置；
23、使用探针提取位于所述转动体上已翻转完成样品；
24、从所述机台设备中向外取出所述样品位置调整载台，将目标设备放入所述机台设备中，并将探针上放入样品粘贴至所述目标设备上；
25、对所述目标设备上的样品进行切片处理。
26、在其中一个实施例中，其中，在所述驱动转动体转动调整样品的角度位置到预设位置步骤之前还包括步骤：从所述机台设备中向外取出所述样品位置调整载台；以及
27、在所述使用探针提取位于所述转动体上已翻转完成样品步骤之前还包括步骤：将所述样品位置调整载台送入到所述机台设备中。
28、在其中一个实施例中，所述在所述机台设备中，对位于所述旋转载台上的所述基板进行切割得到样品，将所述样品提取至探针上的步骤包括：
29、通过旋转载台上的翻转机构驱动所述基板转动，以使所述基板表面与水平面呈夹角设置，其中，所述基板表面与所述水平面的夹角为锐角；
30、通过第一显微切割仪器从垂直于所述基板表面的方向发射离子束至所述基板表面，以及通过第二显微切割仪器从垂直于所述水平面的方向发射离子束至所述基板表面，从而使得在所述基板上切割得到样品；
31、通过旋转载台上的翻转机构驱动所述基板转动，以使得所述基板表面与所述水平面平行；
32、使所述探针往下运动粘贴住所述样品，并切断所述样品上与所述基板相连的部位；
33、使所述探针往上运动从所述基板上提取出所述样品。
34、上述的样品位置调整载台、切片装置与切片材料制备方法，在需要调整样品角度位置时，由探针将样品贴设于转动体上，通过转动体进行转动，从而将样品的角度位置调整到预设位置，然后再通过探针提取转动体上的样品即可，即随着转动体角度的调整可以实现以不同方向制作切片材料。如此可见，转动体可以一次性将样品的角度位置调整到位，无需如传统技术中频繁地调整操作，这样对于一个切片材料而言，能节省制样品翻转时间20min-60min，即能提高切片材料制备效率与制作成功率。
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1.一种样品位置调整载台，其特征在于，所述样品位置调整载台包括：
2.根据权利要求1所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述转动体为圆球体。
3.根据权利要求1所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述连接部设有至少一个凸起，所述转动体的外壁上设有第一卡槽与第二卡槽，所述第一卡槽与所述第二卡槽交错连通；所述第一卡槽为多个并间隔设置，和/或，所述第二卡槽为多个并间隔设置；所述凸起分别能沿所述第一卡槽、所述第二卡槽移动。
4.根据权利要求3所述的样品位置调整载台，其特征在于，多个所述第一卡槽为沿多个不同纬线布置的环形槽；多个所述第二卡槽为沿多个不同经线布置的环形槽。
5.根据权利要求3所述的样品位置调整载台，其特征在于，多个所述第一卡槽等间隔地布置在所述转动体的外壁上，多个所述第二卡槽等间隔地布置在所述转动体的外壁上。
6.根据权利要求5所述的样品位置调整载台，其特征在于，以所述转动体的中心为球心，任意相邻两个所述第一卡槽的圆心角为1°至5°，任意相邻两个所述第二卡槽的圆心角为1°至5°。
7.根据权利要求3所述的
8.根据权利要求7所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述支撑体包括支撑板，所述支撑板设有窗口，所述连接部连接于所述窗口的口壁；多个所述连接部等间隔布置。
9.根据权利要求8所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述支撑体还包括支座，所述支座的顶部设有凹部并与所述支撑板相连，所述凹部与所述窗口对应设置，所述转动体贯穿所述窗口并伸入到所述凹部内。
10.根据权利要求7所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述连接部的凸起为两个，分别设置在其中两个所述第一卡槽中。
11.根据权利要求3所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述连接部位于所述支撑体的顶部，所述支撑体的顶部还设有承托件，所述承托件与所述转动体的底面转动配合。
12.根据权利要求11所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述承托件上用于与所述转动体底面相接触的表面为与所述转动体相适应的弧形面。
13.根据权利要求3所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述转动体的外壁上还设有沿第一卡槽设置的第一刻度标记，以及沿所述第二卡槽设置的第二刻度标记。
14.根据权利要求1所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述支撑体的底部还设有滚轮。
15.一种切片装置，其特征在于，所述切片装置包括如权利要求1至14任一项所述的样品位置调整载台。
16.一种切片材料制备方法，其特征在于，采用了如权利要求1至14任一项所述的样品位置调整载台，所述切片材料制备方法包括如下步骤：
17.根据权利要求16所述的切片材料制备方法，其特征在于，其中，
18.根据权利要求16所述的切片材料制备方法，其特征在于，所述在所述机台设备中，对位于所述旋转载台上的所述基板进行切割得到样品，将所述样品提取至探针上的步骤包括：
...【技术特征摘要】
1.一种样品位置调整载台，其特征在于，所述样品位置调整载台包括：
2.根据权利要求1所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述转动体为圆球体。
3.根据权利要求1所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述连接部设有至少一个凸起，所述转动体的外壁上设有第一卡槽与第二卡槽，所述第一卡槽与所述第二卡槽交错连通；所述第一卡槽为多个并间隔设置，和/或，所述第二卡槽为多个并间隔设置；所述凸起分别能沿所述第一卡槽、所述第二卡槽移动。
4.根据权利要求3所述的样品位置调整载台，其特征在于，多个所述第一卡槽为沿多个不同纬线布置的环形槽；多个所述第二卡槽为沿多个不同经线布置的环形槽。
5.根据权利要求3所述的样品位置调整载台，其特征在于，多个所述第一卡槽等间隔地布置在所述转动体的外壁上，多个所述第二卡槽等间隔地布置在所述转动体的外壁上。
6.根据权利要求5所述的样品位置调整载台，其特征在于，以所述转动体的中心为球心，任意相邻两个所述第一卡槽的圆心角为1°至5°，任意相邻两个所述第二卡槽的圆心角为1°至5°。
7.根据权利要求3所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述连接部为多个，多个所述连接部间隔地布置于所述支撑体上。
8.根据权利要求7所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述支撑体包括支撑板，所述支撑板设有窗口，所述连接部连接于所述窗口的口壁；多个所述连接部等间隔布置。
9.根据权利要求8所述的样品位置调整载台，其特征在于，所述支撑体还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：白曜纬，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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