【技术实现步骤摘要】
本技术涉及砷化镓加工装置，具体为一种砷化镓加工用混合装置。
技术介绍
1、砷化镓是一种重要的半导体材料，它具有优异的电子特性，广泛应用于电子器件的制造，砷化镓具有良好的电子性能，具有高电子迁移率、低漏电流、高热稳定性和高热导率等优点，因此在电子器件的制造中得到了广泛的应用，砷化镓加工用混合装置的作用是为砷化镓晶片的制备和加工提供必要的条件和环境。
2、据检索中国技术公开号：cn210215615u公开了一种砷化镓的多晶合成装置，包括炉膛和反应容器，所述炉膛前后两侧沿竖直方向固定有多个电加热器，所述炉膛底部内侧固定连接有固定夹板。有益效果在于：本技术通过半球形密封帽部分陷入固定夹板的方式固定下腔，同时通过活动夹板下降使半球形密封帽部分陷入活动夹板固定上腔，并通过拉杆卡入限位孔的方式实现活动夹板与固定夹板相对高度的锁止，以此通过活动夹板和固定夹板配合竖直固定反应容器，实现了通过可拆卸的安装方式来代替通过加装螺钉将反应容器装入炉膛的固定方式，拆装操作方便且省时省力，便于反应容器在炉膛内的快速拆装，有利于提升砷化镓的多晶反应效率。
3、然而在实施上述方案时，存在以下问题：以上方案可实现通过可拆卸的安装方式来代替通过加装螺钉将反应容器装入炉膛的固定方式，便于反应容器的拆卸，可拆卸反应装置可以轻松分离和拆解，清洗时，可以将反应装置单独处理，彻底去除其中的杂质和残留物，确保装置的纯净性和可靠性，使得混合装置的清洗和维护工作更加便捷，但是在实际的使用过程中，可拆卸反应装置的拆卸和组装过程会导致温度不稳定，每次进行装置的拆
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种砷化镓加工用混合装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种砷化镓加工用混合装置，包括箱体和混合机构，所述箱体内部设置有混合机构，所述箱体内壁底部上方设置有进气箱，所述进气箱上方设置有支撑板，所述支撑板上表面连接有导热层，所述导热层内部设置有底座，所述导热层外侧设置有连接管，所述箱体内壁顶部连接有第二电机，所述箱体上方设置有输送管道。
3、优选的，所述进气箱下方连接有进气管道，所述进气箱外侧四周均连接有气体输送管道。
4、优选的，所述进气箱内部设置有过滤层，所述支撑板与箱体之间通过焊接连接，所述过滤层为聚酰胺材料。
5、优选的，所述支撑板与导热层之间通过热压的方式连接，所述导热层的材质为导热陶瓷材料。
6、优选的，所述底座与支撑板上表面之间通过螺栓固定连接，所述底座上方连接有升降杆。
7、优选的，所述升降杆上方连接有连接块，所述连接块内侧设置有第一电机，所述第一电机连接有伸缩杆，所述伸缩杆一侧连接有挤压块。
8、优选的，所述第二电机与箱体之间通过螺栓连接，所述第二电机连接有连接柱，所述第二电机与连接柱之间通过法兰连接。
9、优选的，所述连接柱外侧均匀分布有四组热风输送支管，所述热风输送支管一侧表面连接有连接管，所述连接管表面均匀分布有通孔。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、本技术通过输送管道将热风输送至热风输送支管，通过第二电机带动连接柱旋转，进而带动热风输送支管旋转，通过通孔将连接管内热风均匀分散于导热层外侧，实现迅速将热量传递到整个导热层，以达到更快的加热速度和更高的反应效率，通过导热层可以均匀分布和传递热量，减少热能的聚集，避免温度梯度和热应力影响砷化镓材料的生长，防止材料的变形或其他热引起的损伤，通过第一电机提供动力，带动伸缩杆旋转，进而带动砷化镓材料进行旋转，以实现均匀的生长，解决了装置在拆卸和重新组装时，因为引入温度梯度、导热性的变化，而影响了砷化镓加工过程中的温度稳定性，导致对加工混合产生负面影响的问题。
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1.一种砷化镓加工用混合装置，包括箱体(1)和混合机构(2)，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有混合机构(2)，所述箱体(1)内壁底部上方设置有进气箱(201)，所述进气箱(201)上方设置有支撑板(205)，所述支撑板(205)上表面连接有导热层(206)，所述导热层(206)内部设置有底座(207)，所述导热层(206)外侧设置有连接管(216)，所述箱体(1)内壁顶部连接有第二电机(213)，所述箱体(1)上方设置有输送管道(3)。
2.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述进气箱(201)下方连接有进气管道(202)，所述进气箱(201)外侧四周均连接有气体输送管道(203)。
3.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述进气箱(201)内部设置有过滤层(204)，所述支撑板(205)与箱体(1)之间通过焊接连接，所述过滤层(204)为聚酰胺材料。
4.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述支撑板(205)与导热层(206)之间通过热压的方式连接，所述导热层(206
5.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述底座(207)与支撑板(205)上表面之间通过螺栓固定连接，所述底座(207)上方连接有升降杆(208)。
6.根据权利要求5所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述升降杆(208)上方连接有连接块(209)，所述连接块(209)内侧设置有第一电机(210)，所述第一电机(210)连接有伸缩杆(211)，所述伸缩杆(211)一侧连接有挤压块(212)。
7.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述第二电机(213)与箱体(1)之间通过螺栓连接，所述第二电机(213)连接有连接柱(214)，所述第二电机(213)与连接柱(214)之间通过法兰连接。
8.根据权利要求7所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述连接柱(214)外侧均匀分布有四组热风输送支管(215)，所述热风输送支管(215)一侧表面连接有连接管(216)，所述连接管(216)表面均匀分布有通孔(217)。
...【技术特征摘要】
1.一种砷化镓加工用混合装置，包括箱体(1)和混合机构(2)，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有混合机构(2)，所述箱体(1)内壁底部上方设置有进气箱(201)，所述进气箱(201)上方设置有支撑板(205)，所述支撑板(205)上表面连接有导热层(206)，所述导热层(206)内部设置有底座(207)，所述导热层(206)外侧设置有连接管(216)，所述箱体(1)内壁顶部连接有第二电机(213)，所述箱体(1)上方设置有输送管道(3)。
2.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述进气箱(201)下方连接有进气管道(202)，所述进气箱(201)外侧四周均连接有气体输送管道(203)。
3.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述进气箱(201)内部设置有过滤层(204)，所述支撑板(205)与箱体(1)之间通过焊接连接，所述过滤层(204)为聚酰胺材料。
4.根据权利要求1所述的一种砷化镓加工用混合装置，其特征在于：所述支撑板(205)与导热层(206)之间通过热压的方式连接，...
【专利技术属性】
技术研发人员：代晓波，吕利宁，彭海松，彭春文，蒙泽志，粟誉，
申请(专利权)人：独山中科晶元信息材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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