本实用新型专利技术公开了一种砷化镓多晶的合成装置，包括炉体，所述炉体的顶部内壁开设有台阶槽，炉体的顶端内部放置有炉盖，炉体的顶部两侧分别固定设置有固定凸耳和轴座，轴座内通过转动安装有安装板，安装板一端固定安装有螺纹杆，安装板整体延炉体的径向设置，安装板的中间处贯穿安装有抵紧螺杆，抵紧螺杆与安装板的连接处通过螺纹连接，通过设置的轴座、固定凸耳、安装板，在使用时首先将炉盖转动至炉体上方，将螺纹杆配合固定凸耳上的固定通槽卡接，旋转锁紧转盘A104对安装板进行定位固定，此时再转动锁紧转盘B，配合抵紧螺杆将炉盖挤压在炉体内部。设置的台阶槽、密封圈，使炉盖在配合使更加紧密，提高其密封性。提高其密封性。提高其密封性。
【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓多晶的合成装置
[0001]本技术涉及多晶合成设备
，具体是一种砷化镓多晶的合成装置。
技术介绍
[0002]砷化镓(GaAs)是继Ge、Si之后的第二代半导体材料。目前工业上应用最为广泛的是水平梯度凝固法合成的GaAs多晶，水平梯度凝固法所需要的设备简单，合成过程中，密封在石英管内的砷和镓不受外界环境的影响；合成之后，再利用定向凝固对多晶进行提纯，得到比原料纯度更高的GaAs多晶。
[0003]现有的用于制备砷化镓的炉体，在进行操作时需要对炉体进行抽真空步骤，而现有炉盖多通过转轴方式上下转动开关，其整体密封性较差，同时现有炉体内部的加热炉丝设置多组，形成温度梯度，但是单独在炉体内部固定安装，在后续维护时需要逐个拆卸较为麻烦。
[0004]因此，本领域技术人员提供了一种砷化镓多晶的合成装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种砷化镓多晶的合成装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种砷化镓多晶的合成装置，包括炉体，所述炉体的顶部内壁开设有台阶槽，炉体的顶端内部放置有炉盖，炉体的顶部两侧分别固定设置有固定凸耳和轴座，轴座内通过转动安装有安装板，安装板一端固定安装有螺纹杆。
[0008]作为本技术再进一步的方案，所述安装板整体延炉体的径向设置，安装板的中间处贯穿安装有抵紧螺杆，抵紧螺杆与安装板的连接处通过螺纹连接。
[0009]作为本技术再进一步的方案，所述抵紧螺杆的底部与炉盖转动安装，抵紧螺杆的顶部固定安装有锁紧转盘B。
[0010]作为本技术再进一步的方案，所述固定凸耳的一侧开设有的固定通槽，固定通槽的一侧与固定凸耳贯通设置，螺纹杆的底部通过螺纹安装有锁紧转盘A。
[0011]作为本技术再进一步的方案，所述炉盖的底部边缘处固定设置有密封圈，台阶槽位于延炉体内壁呈环形向圆心收缩形成的直角台阶。
[0012]作为本技术再进一步的方案，所述炉体的内部放置有若干组加热炉丝，且加热炉丝的外部对称并固定安装有两组支撑架，支撑架由直杆并垂直加热炉丝归档设置。
[0013]作为本技术再进一步的方案，所述抵紧螺杆的底部位于炉盖的中心处转动安装，炉盖的顶部设置有抽真空开关。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1、通过设置的轴座、固定凸耳、安装板，在使用时首先将炉盖转动至炉体上方，将
螺纹杆配合固定凸耳上的固定通槽卡接，旋转锁紧转盘A104对安装板进行定位固定，此时再转动锁紧转盘B，配合抵紧螺杆将炉盖挤压在炉体内部。设置的台阶槽、密封圈，使炉盖在配合使更加紧密，提高其密封性。
[0016]2、通过设置的若干组加热炉丝、支撑架，使用时支撑架能够更好的对加热炉丝起到支撑效果，较传统直接挂接在炉体内壁相比，避免出现掉落或者坍塌的情况，同时在后期对加热炉丝进行维护或更换时，方便将加热炉丝整体取出，方便拆卸或安装。
附图说明
[0017]图1为一种砷化镓多晶的合成装置的整体结构示意图；
[0018]图2为一种砷化镓多晶的合成装置的炉盖和炉盖装配示意图；
[0019]图3为一种砷化镓多晶的合成装置的A处视图。
[0020]图中：1、炉体；101、固定凸耳；102、固定通槽；103、支撑架；104、锁紧转盘A；105、螺纹杆；106、炉盖；107、锁紧转盘B；108、安装板；109、轴座；110、台阶槽；111、密封圈；112、加热炉丝；113、抵紧螺杆。
具体实施方式
[0021]请参阅图1～3，本技术实施例中，一种砷化镓多晶的合成装置，包括炉体1，炉体1的顶部内壁开设有台阶槽110，炉体1的顶端内部放置有炉盖106，炉体1的顶部两侧分别固定设置有固定凸耳101和轴座109，轴座109内通过转动安装有安装板108，安装板108一端固定安装有螺纹杆105，抵紧螺杆113的底部位于炉盖106的中心处转动安装，炉盖106的顶部设置有抽真空开关，炉体1的内部放置有若干组加热炉丝112，且加热炉丝112的外部对称并固定安装有两组支撑架103，支撑架103由直杆并垂直加热炉丝112固定设置，在手续拆卸维护或更换，方便将加热炉丝112整体取出。
[0022]如图1
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图3所示，安装板108整体延炉体1的径向设置，安装板108的中间处贯穿安装有抵紧螺杆113，抵紧螺杆113与安装板108的连接处通过螺纹连接，通过转动抵紧螺杆113配合安装板108的实现反作用力，从而炉盖106安装紧密。
[0023]如图1
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图3所示，抵紧螺杆113的底部与炉盖106转动安装，抵紧螺杆113的顶部固定安装有锁紧转盘B107，方便转动抵紧螺杆113。
[0024]如图1
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图3所示，固定凸耳101的一侧开设有的固定通槽102，固定通槽102的一侧与固定凸耳101贯通设置，螺纹杆105的底部通过螺纹安装有锁紧转盘A104，使安装板108一端可以与固定凸耳101固定安装。
[0025]如图1
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图3所示，炉盖106的底部边缘处固定设置有密封圈111，台阶槽110位于延炉体1内壁呈环形向圆心收缩形成的直角台阶，使炉盖106安装时提高其密封效果。
[0026]本技术的工作原理是：在使用时将坩埚盛放单质镓并在放置在炉体1的内部，将炉盖106通过转轴绕轴座109转动，直至转动至炉体1的正上方。此时将安装板108一端螺纹杆105卡接在固定凸耳101的固定通槽102内部，并将锁紧转盘A104旋紧，使安装板108固定在炉体1的上方。此时转动锁紧转盘B107，由于抵紧螺杆113与安装板108通过螺纹连接，因此抵紧螺杆113转动配合安装板108的反作用力，将炉盖106抵紧在炉体1内部，设置的台阶槽110和密封圈111可以提高炉盖106的安装紧密性，支撑架103在使用时能够更好的对加
热炉丝112起到支撑效果，同时在后期对加热炉丝112进行维护或更换时，方便将加热炉丝112整体取出，方便拆卸或安装，使用结束后，首先松懈锁紧转盘A104，在旋松锁紧转盘B107，通过安装板108将炉盖106转动至一侧即可。
[0027]以上所述的，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种砷化镓多晶的合成装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的顶部内壁开设有台阶槽(110)，炉体(1)的顶端内部放置有炉盖(106)，炉体(1)的顶部两侧分别固定设置有固定凸耳(101)和轴座(109)，轴座(109)内通过转动安装有安装板(108)，安装板(108)一端固定安装有螺纹杆(105)。2.根据权利要求1所述的一种砷化镓多晶的合成装置，其特征在于，所述安装板(108)整体延炉体(1)的径向设置，安装板(108)的中间处贯穿安装有抵紧螺杆(113)，抵紧螺杆(113)与安装板(108)的连接处通过螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种砷化镓多晶的合成装置，其特征在于，所述抵紧螺杆(113)的底部与炉盖(106)转动安装，抵紧螺杆(113)的顶部固定安装有锁紧转盘B(107)。4.根据权利要求1所述的一种砷化镓多晶的合成装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒙泽志，彭海松，彭春文，代晓波，吕利宁，粟誉，
申请(专利权)人：独山中科晶元信息材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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