本实用新型专利技术涉及半导体制备技术领域，且公开了一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，包括生长管、底座、放置架、舟型器皿、籽晶，所述底座固定安装在生长管的内壁，所述放置架设置在底座的顶部，所述放置架分为上下两层，所述放置架的外部设置有固定装置。该水平砷化镓单晶双舟生长的装置，通过启动电机使绕绳辊和双螺纹螺杆转动，配合双螺纹螺杆分别与两个活动块正螺纹连接和反螺纹连接，使两个下夹块、上夹块互相靠近将两个舟型器皿的前后两侧夹紧固定，以及拉绳在绕绳辊上收紧，带动拉板向左移动，使两个挡杆向左移动，配合两个挡板将两个舟型器皿的左右两侧挡住，实现了防止两个舟型器皿发生晃动影响制备，提高舟型器皿稳定性的效果。果。果。
【技术实现步骤摘要】
一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置
[0001]本技术涉及半导体制备
，具体为一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置。
技术介绍
[0002]水平布里奇曼法，简称HB，是生长砷化镓单晶的主要方法之一，其原理是：将生长单晶的砷化镓原料水平放置于一个舟型器皿中，舟型器皿一般选择石英材质，舟的一端为尖细条型便于放置籽晶，将石英舟放置于生长管中，生长管一般采用石英材质，将生长管抽成真空之后水平放置于水平布里奇曼单晶生长炉内。
[0003]但是其在实际使用时，现有的水平砷化镓单晶双舟生长的装置都是直接将舟型器皿放入生长管内部，当舟型器皿发生晃动时，容易影响砷化镓单晶制备，导致舟型器皿的稳定性较差。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，具备防止两个舟型器皿发生晃动影响制备等优点，解决了舟型器皿的稳定性较差的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，包括生长管、底座、放置架、舟型器皿、籽晶，所述底座固定安装在生长管的内壁，所述放置架设置在底座的顶部，所述放置架分为上下两层，所述舟型器皿、籽晶的数量均为两个，所述放置架的上下两层顶部均开设有放置槽，两个所述舟型器皿分别放置在两个放置槽内，两个所述舟型器皿的左侧外壁均设置有籽晶腔，两个所述籽晶分别放置在两个所述籽晶腔的内部，所述放置架的外部设置有固定装置，所述固定装置包括L型板、电机、转轴、绕绳辊、双螺纹螺杆、活动块、滑动杆、下夹块、上夹块、拉绳、拉板、限位杆、一号固定板、弹簧、挡杆、挡板，所述L型板固定安装在放置架的外壁，所述电机的输出端贯穿L型板的外壁通过联轴器与转轴的一端固定连接，所述转轴的另一端依次贯穿绕绳辊的外壁和放置架的一侧外壁与双螺纹螺杆的一端固定连接，所述活动块、滑动杆、下夹块、上夹块的数量均为两个，所述双螺纹螺杆的另一端分别贯穿两个所述活动块的外壁通过轴承与放置架的另一侧内壁活动连接，所述转轴与绕绳辊固定连接，所述转轴与放置架活动连接，所述双螺纹螺杆的外壁设置有正螺纹和反螺纹，所述双螺纹螺杆分别与两个所述活动块正螺纹连接和反螺纹连接，两个所述滑动杆的一端分别固定安装在两个所述活动块的外壁，两个所述滑动杆的另一端依次贯穿放置架的下层外壁、两个所述下夹块的外壁、放置架的上层外壁与两个所述上夹块的外壁固定连接，所述放置架的上下两层外壁均开设有滑道，两个所述滑动杆分别在放置架的上下两层的滑道内滑动连接，两个所述滑动杆分别与两个所述下夹块固定连接，所述拉绳绕设在绕绳辊的外壁，所述拉绳的两端分别与绕绳辊的外壁和拉板的外
壁固定连接，所述限位杆、弹簧、挡杆、挡板的数量均为两个，两个所述限位杆的一端分别与拉板的外壁上下两侧固定连接，所述一号固定板固定安装在放置架的一侧外壁，两个所述限位杆的另一端分别贯穿所述一号固定板的外壁上下两侧与一号固定板活动连接，两个所述弹簧分别环形设置在两个所述限位杆的外壁，两个所述弹簧的两端分别与拉板的外壁和一号固定板的外壁固定连接，两个所述挡杆的一端分别固定安装在拉板的外壁上下两侧，两个所述挡板分别固定安装在放置架的上下两层外壁。
[0008]优选的，所述电机固定安装在L型板的一侧外壁，两个所述活动块、滑动杆分别在双螺纹螺杆的前后两侧对称分布，两个所述下夹块的外壁和两个所述上夹块的外壁分别与两个所述舟型器皿的前后两侧外壁接触，两个所述挡杆的另一端分别与两个所述舟型器皿的外壁接触，两个所述舟型器皿籽晶腔的外壁分别与两个所述挡板的外壁接触。
[0009]优选的，所述底座的顶部设置有放置架安装装置，所述放置架安装装置包括限位板、二号固定板、转柄、螺杆、插柱，所述限位板的数量为两个，两个所述限位板分别固定安装在底座的顶部前后两侧，两个所述限位板的外壁分别与放置架的前后两侧外壁接触，所述二号固定板固定安装在底座的顶部，所述转柄固定安装在螺杆的一端，所述螺杆的另一端贯穿二号固定板的外壁与插柱的一端固定连接，所述螺杆与二号固定板螺纹连接，所述放置架的前侧内壁开设有插槽，所述插柱的另一端与放置架的插槽插接。
[0010]优选的，两个所述滑动杆的前后两侧外壁分别与放置架的上下两层的滑道内壁接触。
[0011]优选的，两个所述下夹块、上夹块的外壁均设置有橡胶垫。
[0012]优选的，两个所述限位板的外壁分别与放置架的前后两侧外壁接触。
[0013]优选的，所述插柱的直径与放置架插槽的直径一致。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，具备以下有益效果：
[0015]1、该水平砷化镓单晶双舟生长的装置，通过启动电机使绕绳辊和双螺纹螺杆转动，配合双螺纹螺杆分别与两个活动块正螺纹连接和反螺纹连接，使两个下夹块、上夹块互相靠近将两个舟型器皿的前后两侧夹紧固定，以及拉绳在绕绳辊上收紧，带动拉板向左移动，使两个挡杆向左移动，配合两个挡板将两个舟型器皿的左右两侧挡住，实现了防止两个舟型器皿发生晃动影响制备，提高舟型器皿稳定性的效果。
[0016]2、该水平砷化镓单晶双舟生长的装置，通过控制转柄使螺杆转动，配合螺杆与二号固定板螺纹连接，从而带动插柱插入或脱离插槽，实现了方便安装和拆卸放置架，便于单晶制备后拆卸放置架进行清理的效果。
附图说明
[0017]图1为本技术正视图；
[0018]图2为本技术俯视图；
[0019]图3为本技术左视剖视图；
[0020]图4为本技术固定装置的俯视图；
[0021]图5为本技术固定装置的左视剖视图。
[0022]其中：1、生长管；2、底座；3、放置架；4、舟型器皿；5、籽晶；6、固定装置；601、L型板；
602、电机；603、转轴；604、绕绳辊；605、双螺纹螺杆；606、活动块；607、滑动杆；608、下夹块；609、上夹块；610、拉绳；611、拉板；612、限位杆；613、一号固定板；614、弹簧；615、挡杆；616、挡板；7、放置架安装装置；701、限位板；702、二号固定板；703、转柄；704、螺杆；705、插柱。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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5，底座2固定安装在生长管1的内壁，放置架3设置在底座2的顶部，放置架3分为上下两层，舟型器皿4、籽晶5的数量均为两个，放置架3的上下两层顶部均开设有放置槽，两个舟型器皿4分别放置在两个放置槽内，两个舟型器皿4的左侧外壁均设置有籽晶腔，两个籽晶5分别放置在两个籽晶本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，包括生长管(1)、底座(2)、放置架(3)、舟型器皿(4)、籽晶(5)，其特征在于：所述底座(2)固定安装在生长管(1)的内壁，所述放置架(3)设置在底座(2)的顶部，所述放置架(3)分为上下两层，所述舟型器皿(4)、籽晶(5)的数量均为两个，所述放置架(3)的上下两层顶部均开设有放置槽，两个所述舟型器皿(4)分别放置在两个放置槽内，两个所述舟型器皿(4)的左侧外壁均设置有籽晶腔，两个所述籽晶(5)分别放置在两个所述籽晶腔的内部，所述放置架(3)的外部设置有固定装置(6)，所述固定装置(6)包括L型板(601)、电机(602)、转轴(603)、绕绳辊(604)、双螺纹螺杆(605)、活动块(606)、滑动杆(607)、下夹块(608)、上夹块(609)、拉绳(610)、拉板(611)、限位杆(612)、一号固定板(613)、弹簧(614)、挡杆(615)、挡板(616)，所述L型板(601)固定安装在放置架(3)的外壁，所述电机(602)的输出端贯穿L型板(601)的外壁通过联轴器与转轴(603)的一端固定连接，所述转轴(603)的另一端依次贯穿绕绳辊(604)的外壁和放置架(3)的一侧外壁与双螺纹螺杆(605)的一端固定连接，所述活动块(606)、滑动杆(607)、下夹块(608)、上夹块(609)的数量均为两个，所述双螺纹螺杆(605)的另一端分别贯穿两个所述活动块(606)的外壁通过轴承与放置架(3)的另一侧内壁活动连接，所述转轴(603)与绕绳辊(604)固定连接，所述转轴(603)与放置架(3)活动连接，所述双螺纹螺杆(605)的外壁设置有正螺纹和反螺纹，所述双螺纹螺杆(605)分别与两个所述活动块(606)正螺纹连接和反螺纹连接，两个所述滑动杆(607)的一端分别固定安装在两个所述活动块(606)的外壁，两个所述滑动杆(607)的另一端依次贯穿放置架(3)的下层外壁、两个所述下夹块(608)的外壁、放置架(3)的上层外壁与两个所述上夹块(609)的外壁固定连接，所述放置架(3)的上下两层外壁均开设有滑道，两个所述滑动杆(607)分别在放置架(3)的上下两层的滑道内滑动连接，两个所述滑动杆(607)分别与两个所述下夹块(608)固定连接，所述拉绳(610)绕设在绕绳辊(604)的外壁，所述拉绳(610)的两端分别与绕绳辊(604)的外壁和拉板(611)的外壁固定连接，所述限位杆(612)、弹簧(614)、挡杆(615)、挡板(616)的数量均为两个，两个所述限位杆(61...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕利宁，代晓波，彭春文，彭海松，蒙泽志，粟誉，
申请(专利权)人：独山中科晶元信息材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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