【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶体材料制备领域，尤其是涉及一种尾气过滤系统以及方法。
技术介绍
1、目前常使用化学气相沉积法制备硒化锌，在沉积过程中，硒化氢及锌蒸汽在氩气携带下在沉积炉内反应，未完全反应的锌蒸汽及硒化氢会在真空泵的抽真空作用下通过尾气管道进入尾气处理。
2、因锌蒸汽在离开沉积炉后会降温凝结成锌粉，如和部分硒化锌粉末通过尾气管道进入真空泵，将导致真空泵故障并污染末端尾气处理装置，因此需在沉积炉至真空泵之前尾气管道处增设尾气过滤桶，内设过滤布。
3、含锌化合物粒径在0.1-100微米之间，为保证含锌化合物过滤彻底，过滤布设计目数较大，在长周期沉积过程中，含锌化合物逐渐附着在过滤布上，对真空泵抽真空能力造成一定影响，当达到一定厚度后，将造成真空泵负载不断增大、沉积炉内沉积压力不稳，因沉积过程对压力波动较为敏感，此情况将对硒化锌产生微观缺陷影响产品质量，并因真空泵负载增大难以完成长周期沉积。
技术实现思路
1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本申请提供一种尾气过滤系统以及方法，该尾气过滤系统可以保证硒化锌制备过程中沉积炉内沉积压力稳定，确保硒化锌长周期沉积，提升硒化锌的品质。
2、根据本专利技术的一个方面，提供一种尾气过滤系统，包括：进气管道，形成有第一口和第二口；出气管道，形成有第三口和第四口；多个过滤桶，并联于所述第二口和第三口之间，每个所述过滤桶的进气端和排气端均独立的设有阀；泵，连接于所述出气管道，用于驱动尾气由所述第一口向所述第四口流动。
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4、另外，根据本申请的尾气过滤系统，还可具有如下附加的技术特征：
5、在本专利技术的一些实施方式中，尾气过滤系统还包括：多个压力传感器，与多个所述过滤桶一一对应，分别安设于多个所述过滤桶。
6、在本专利技术的一些实施方式中，尾气过滤系统还包括：多个气体检测仪，与多个所述过滤桶一一对应，分别安设于多个所述过滤桶。
7、在本专利技术的一些实施方式中，所述阀为精密控制阀。
8、在本专利技术的一些实施方式中，尾气过滤系统还包括：控制器，与各所述压力传感器、各所述气体检测仪和各所述精密控制阀均信号连接。
9、在本专利技术的一些实施方式中，所述控制器为可编程逻辑控制器。
10、在本专利技术的一些实施方式中，所述过滤桶的数量为两个。
11、根据本专利技术的另一方面，提供一种尾气过滤方法，包括以下步骤：
12、打开多个并联的过滤桶中的部分过滤桶的两端的阀，设为第一过滤桶，剩余的过滤桶的两端的阀保持关闭；
13、启动泵，泵驱动尾气经进气管道进入第一过滤桶，尾气被第一过滤桶过滤后排入出气管道；
14、第一过滤桶对尾气完成第一阶段过滤后，打开剩余的过滤桶中的部分过滤桶的两端的阀，设为第二过滤桶，尾气被第二过滤桶以及第一过滤桶过滤后排入出气管道；
15、第二过滤桶对尾气完成第二阶段过滤后，如果无新尾气进入进气管道，则完成尾气过滤工作；
16、如果有新尾气进入进气管道，则继续打开剩余的过滤桶中的部分过滤桶的两端的阀，设为第三过滤桶，尾气被第三过滤桶以及第一过滤桶和第二过滤桶过滤后排入出气管道，重复该过程，直至完成尾气过滤工作。
17、另外，根据本申请的尾气过滤方法，还可具有如下附加的技术特征：
18、在本专利技术的一些实施方式中，每打开下一组所述过滤桶的两端的阀后，均关闭上一组所述过滤桶的进气端的阀，上一组所述过滤桶的残留尾气被泵驱动继续排入出气管道。
19、在本专利技术的一些实施方式中，对上一组所述过滤桶的残留尾气进行监测，在上一组所述过滤桶的残留尾气数值降至0时，关闭上一组所述过滤桶的排气端的阀。
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1.一种尾气过滤系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气过滤系统，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的尾气过滤系统，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的尾气过滤系统，其特征在于，所述阀为精密控制阀。
5.根据权利要求4所述的尾气过滤系统，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的尾气过滤系统，其特征在于，所述控制器为可编程逻辑控制器。
7.根据权利要求1-6任一所述的尾气过滤系统，其特征在于，所述过滤桶的数量为两个。
8.一种尾气过滤方法，其特征在于，包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的尾气过滤方法，其特征在于，每打开下一组所述过滤桶的两端的阀后，均关闭上一组所述过滤桶的进气端的阀，上一组所述过滤桶的残留尾气被泵驱动继续排入出气管道。
10.根据权利要求9所述的尾气过滤方法，其特征在于，对上一组所述过滤桶的残留尾气进行监测，在上一组所述过滤桶的残留尾气数值降至0时，关闭上一组所述过滤桶的排气端的阀。
【技术特征摘要】
1.一种尾气过滤系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气过滤系统，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的尾气过滤系统，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的尾气过滤系统，其特征在于，所述阀为精密控制阀。
5.根据权利要求4所述的尾气过滤系统，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的尾气过滤系统，其特征在于，所述控制器为可编程逻辑控制器。
7.根据权利要求1-6任一所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李冬旭，刘泽钰，魏乃光，徐国众，刘建东，杨建纯，
申请(专利权)人：山东有研国晶辉新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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