【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆卡盘检测，尤其涉及一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法。
技术介绍
1、当对晶圆清洗时，晶圆在工艺卡盘的固定下处于高速旋转的状态，工艺液则通过相关传输管道喷洒于高速旋转的晶圆表面，清洗、溶解晶圆表面的污染物质。在离心力的作用下，工艺液和污染物质一起从晶圆表面甩出，从而达到清洗晶圆的目的。
2、在此清洗过程中，工艺卡盘上的多个卡夹分别在对应内齿轮的带动下进行自转，从而实现对晶圆的夹持，而多个内齿轮则由主动齿轮带动，由于各内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙在加工、装配过程中很难保证一致性，而且每个内齿轮的磨损程度也不一致，这样会造成每个卡夹的夹持力不同以及起始位置不同，导致在清洗过程中晶圆出现晃动而引起工艺液体甩出。
3、由此，为了将各内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙调整一致，有必要在装配和使用过程中，对内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙做检测。
技术实现思路
1、基于此，针对上述技术问题，提供一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：
3、一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，包括：
4、将角度盘套在晶圆卡盘的卡夹上，所述角度盘上具有套孔以及以该套孔的中心为圆心的弧形刻度，所述套孔的内径与所述卡夹的外径适配；
5、将固定部可拆卸固定至所述卡夹上，所述固定部与指针的尾端连接；
6、沿所述弧形刻度的反方向转动所述指针以带动所述卡夹的内齿轮旋转，直至所述内
7、保持所述指针不动，以所述卡夹为转动中心转动所述角度盘，使所述指针指向所述弧形刻度的零刻度线；
8、沿所述弧形刻度的正方向转动所述指针，直至所述内齿轮无法转动，读取所述指针当前所指的刻度。
9、本专利技术检测方法利用角度放大的原理，能够直观准确地显示用于表征内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙的转动角度，同时，该检测工装结构简单，操作便捷、灵活，由此，在装配和使用过程中，可以准确、方便地对内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙进行检测。
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1.一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述角度盘呈扇形，所述套孔形成于所述角度盘的圆心角部，所述弧形刻度设于所述角度盘的弧形部的正面。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述套孔和弧形刻度均为多个，且所述套孔与弧形刻度一一对应，多个套孔径向前后布置，多个弧形刻度径向前后布置。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述套孔和弧形刻度均为两个。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，两个弧形刻度的方向相反：第一弧形刻度的读数沿顺时针方向逐渐变大，第二弧形刻度的读数沿逆时针方向逐渐变大。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述角度盘的正面具有当所述指针指向第一弧形刻度的零刻度线时恰好与该指针相触的第一挡部以及当所述指针指向第二弧形刻度的零刻度线时恰好与该指针相触的第二挡部，所述第一挡部与第二
7.根据权利要求1所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述固定部为固定夹，所述固定夹与所述指针的尾端通过螺栓连接，所述固定夹具有左右布置的两个抱臂，所述两个抱臂之间形成供所述卡夹穿过的夹口，所述两个抱臂的端部设有用于使所述两个抱臂抱紧所述卡夹的锁紧螺栓。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述角度盘呈扇形，所述套孔形成于所述角度盘的圆心角部，所述弧形刻度设于所述角度盘的弧形部的正面。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述套孔和弧形刻度均为多个，且所述套孔与弧形刻度一一对应，多个套孔径向前后布置，多个弧形刻度径向前后布置。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，所述套孔和弧形刻度均为两个。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，两个弧形刻度的方向相反：第...
【专利技术属性】
技术研发人员：张章，唐宝国，陈新来，
申请(专利权)人：至微半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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