【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体晶圆凸块生产，具体为一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，推拉力测试机用于在半导体晶圆生产过程中对产品的质量进行检测，现有的推拉力测试机在使用过程中存在一些缺陷，当需要分别对半导体晶圆凸块检测推力、拉力、扭矩力和反复折叠时，需要将半导体晶圆凸块放置于不同设备上进行检测，这样不仅测试效率较低，还导致分批检测不便的情况。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，以解决上述
技术介绍
中提出通过的现有的推拉力测试机在使用过程中存在一些缺陷，当需要分别对半导体晶圆凸块检测推力、拉力、扭矩力和反复折叠时，需要将半导体晶圆凸块放置于不同设备上进行检测，这样不仅测试效率较低，还导致分批检测不便的情况。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括有对夹具结构安装设置的调节结构，所述调节结构包括设有连接杆的底座板，且底座板上设有对安装板驱动调节的电动气缸，同时安装板上开设有方便电机和贯穿电动气缸输出端的连接孔，依次电机上设有对电机扭矩检测的第一扭矩检测感应模块。
3、通过采用上述技术方案，
4、优选的，所述电机输出端通过调节板与安装轴承连接设置，且安装轴承与通孔板连接设置，同时通孔板贯穿连接杆通过电动气缸调节设置。
5、通过采用上述技术方案，通过设置的安装轴承从而起到内、外环连接设置效果。
6、优选的，所述调节板上设有对转动电机安装设置的安装杆，且转动电机输出端同样设有检测转动电机旋转扭矩的第二扭矩检测感应模块，同时另一安装杆通过固定板设置于连接杆上方。
7、通过采用上述技术方案，通过设置的转动电机从而起到同向和反向转动调节效果。
8、优选的，所述夹具结构包括开有连接槽的连接柱，且连接柱设置于调节盘上，同时调节盘底部和一侧设有对半导体晶圆凸块进行压力检测的压力检测板。
9、通过采用上述技术方案，通过设置的调节盘从而起到安装设置和受力调节设置效果。
10、优选的，所述调节盘上设有带安装孔的凹槽座，且凹槽座通过连接销与调节柱活动设置，同时调节柱上开设有方便连接柱贯穿设置的连接槽。
11、通过采用上述技术方案，通过开设的连接槽从而起到受力贯穿设置效果。
12、优选的，所述调节柱上活动设有驱动调节的抵柱，且抵柱上贯穿开设有方便推杆活动设置的通槽，同时通槽和连接槽均通过连接销与推杆活动设置。
13、通过采用上述技术方案，通过设置的推杆从而对抵柱起到受力推动调节效果。
14、优选的，所述调节柱一端设有对半导体晶圆凸块调节夹持的夹具，且夹具上设有对半导体晶圆凸块拉力检测的拉力感应模块。
15、通过采用上述技术方案，通过设置的夹具从而起到安装设置和对物料夹持检测效果。
16、优选的，所述安装杆设置有4个，且安装杆整体形状呈“l”形结构设置。
17、通过采用上述技术方案，通过设置的安装柱从而起到受力相对调节和受力转动调节效果。
18、优选的，所述抵柱整体形状呈“楔子”结构设置。
19、通过采用上述技术方案，通过设置的抵柱从而起到开设和受力贯穿限位设置效果。
20、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，
21、(1)本案例通过：调节结构中设置的：电机、第一扭矩检测感应模块、安装轴承和通孔板，从而解决现有的推拉力测试机在使用过程中存在一些缺陷，当需要对半导体晶圆凸块扭矩力检测时，需要将半导体晶圆凸块放置于不同设备上进行检测，这样不仅测试效率较低，还导致分批检测不便的情况，当半导体晶圆凸块需要检测抗旋转扭矩时，此时操作者控制电机工作，电机工作过程中带动夹具结构和调节结构中的其它零部件受力相对旋转运动，通过上述零部件受力相对旋转运动过程中此时带动半导体晶圆凸块受力相对旋转运动，同时第一扭矩检测感应模块从而记录和传递电机工作过程中的输出旋转扭矩，当半导体晶圆凸块出现扭矩撕裂时，此时显示控制器上从而显示半导体晶圆凸块最大的旋转撕裂扭矩，利用设置上述零部件同时避免上述的情况；
22、(2)本案例通过：调节结构中设置的：安装杆、转动电机、电动气缸和第二扭矩检测感应模块，从而解决现有的推拉力测试机在使用过程中存在一些缺陷，当需要对半导体晶圆凸块检测推力和反复折叠时，需要将半导体晶圆凸块放置于不同设备上进行检测，这样不仅测试效率较低，还导致分批检测不便的情况，当需要对半导体晶圆凸块进行反复折叠任性检测时，此时控制转动电机同向或者相对受力转动，当转动电机受力转动过程中通过夹具结构带动半导体晶圆凸块进行同向或者相对反复折叠受力运动，并且转动电机工作过程中此时第二扭矩检测感应模块将转动电机工作过程中的扭矩信号传递于显示控制器上，当转动电机可正常转动调节运行工作时，此时显示控制器从而显示半导体晶圆凸块的最大反复柔性强度数据，当半导体晶圆凸块需要推力检测时，此时控制转动电机带动其中一个夹具结构受力转动，接着控制电动气缸工作，电动气缸工作过程中带动另一夹具结构受力向上推动运行，当夹具结构中的零部件受力接触时，此时压力检测板将信号传递于显示控制器上，此时显示控制器上显示半导体晶圆凸块最大推力数据效果，利用设置的上述零部件同时避免上述的情况；
23、(3)通过设置的：夹具结构，从而解决夹具之间无法受力调节和无法对半导体晶圆凸块进行压力检测的情况，当不同的半导体晶圆凸块需要进行拉力检测时，此时操作者手动拉动推杆受力运动，推杆受力运动过程中通过抵柱带动调节柱受力运动，调节柱受力运动过程中改变夹具之间的相对运动距离，通过改变夹具之间的受力相对距离从而避免上述的情况，同时当半导体晶圆凸块需要进行压力检测时，利用转动电机控制调节盘受力转动，使压力检测板调节于相对方向，此时将半导体晶圆凸块放置于压力检测板对半导体晶圆凸块压力进行检测既可，同时利用设置的夹具结构依次避免上述的情况。
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1.一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：包括有对夹具结构(2)安装设置的调节结构(1)，所述调节结构(1)包括设有连接杆(102)的底座板(101)，且底座板(101)上设有对安装板(104)驱动调节的电动气缸(103)，同时安装板(104)上开设有方便电机(105)和贯穿电动气缸(103)输出端的连接孔(106)，依次电机(105)上设有对电机(105)扭矩检测的第一扭矩检测感应模块(107)。
2.根据权利要求1所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述电机(105)输出端通过调节板(108)与安装轴承(109)连接设置，且安装轴承(109)与通孔板(1010)连接设置，同时通孔板(1010)贯穿连接杆(102)通过电动气缸(103)调节设置。
3.根据权利要求2所述一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述调节板(108)上设有对转动电机(1012)安装设置的安装杆(1011)，且转动电机(1012)输出端同样设有检测转动电机(1012)旋转扭矩的第二扭
4.根据权利要求1所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述夹具结构(2)包括开有连接槽(202)的连接柱(201)，且连接柱(201)设置于调节盘(203)上，同时调节盘(203)底部和一侧设有对半导体晶圆凸块进行压力检测的压力检测板(204)。
5.根据权利要求4所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述调节盘(203)上设有带安装孔的凹槽座(205)，且凹槽座(205)通过连接销与调节柱(206)活动设置，同时调节柱(206)上开设有方便连接柱(201)贯穿设置的连接槽(207)。
6.根据权利要求5所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述调节柱(206)上活动设有驱动调节的抵柱(208)，且抵柱(208)上贯穿开设有方便推杆(209)活动设置的通槽(2010)，同时通槽(2010)和连接槽(207)均通过连接销与推杆(209)活动设置。
7.根据权利要求5所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述调节柱(206)一端设有对半导体晶圆凸块调节夹持的夹具(2011)，且夹具(2011)上设有对半导体晶圆凸块拉力检测的拉力感应模块(2012)。
8.根据权利要求1所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述安装杆(1011)设置有4个，且安装杆(1011)整体形状呈“L”形结构设置。
9.根据权利要求6所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述抵柱(208)整体形状呈“楔子”结构设置。
...【技术特征摘要】
1.一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：包括有对夹具结构(2)安装设置的调节结构(1)，所述调节结构(1)包括设有连接杆(102)的底座板(101)，且底座板(101)上设有对安装板(104)驱动调节的电动气缸(103)，同时安装板(104)上开设有方便电机(105)和贯穿电动气缸(103)输出端的连接孔(106)，依次电机(105)上设有对电机(105)扭矩检测的第一扭矩检测感应模块(107)。
2.根据权利要求1所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述电机(105)输出端通过调节板(108)与安装轴承(109)连接设置，且安装轴承(109)与通孔板(1010)连接设置，同时通孔板(1010)贯穿连接杆(102)通过电动气缸(103)调节设置。
3.根据权利要求2所述一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述调节板(108)上设有对转动电机(1012)安装设置的安装杆(1011)，且转动电机(1012)输出端同样设有检测转动电机(1012)旋转扭矩的第二扭矩检测感应模块(1013)，同时另一安装杆(1011)通过固定板(1014)设置于连接杆(102)上方。
4.根据权利要求1所述的一种可以调节夹具区间的半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述夹具结构(2)包括开有连接槽(202)的连接柱(201)，且连接柱(201)设置于调节盘(...
【专利技术属性】
技术研发人员：王政雄，
申请(专利权)人：广西华芯振邦半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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