【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体材料生产设备，具体为一种多圈分层冷却晶棒的装置。
技术介绍
1、随着光伏行业的发展，多、单晶硅市场出现供不应求的现象，在生产多、单晶硅的过程中，硅芯的使用量非常大，传统的硅芯制备一般采用区融法或切割法，其中区融法是利用高频线圈加热，使原料融化再结晶得到所需产品，切割法是使用专用于硅芯切割的设备对大晶棒切割成所需尺寸的硅芯，这两种方法生产成本高，生产效率低，因此目前较为先进的硅芯制备是使用直拉式晶体生长炉直接进行多根硅芯拉制，其原理是将原料加热融化成液态，然后利用籽晶进行引晶使液态原料重新结晶形成所需硅芯。
2、现有技术中，在使用使用直拉式晶体生长炉直接进行多根硅芯拉制制备硅芯的过程中，需要对长成的晶棒进行冷却，以确保结晶过程的顺利快速进行，同时确保所生长成的晶棒直径尺寸均匀。因此，本申请公开了一种多圈分层冷却晶棒的装置，来满足对晶棒的不同高度点的定点冷却，实现多根硅芯的快速稳定且均匀地生产制备的需求。
技术实现思路
1、（一）解决的技术问题：针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种多圈分层冷却晶棒的装置，具备等对晶棒的不同高度点的定点冷却优点，解决了多根硅芯的不能够同时快速稳定地生产制备晶棒等系列问题。
2、（二）技术方案：为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种多圈分层冷却晶棒的装置包括接头，所述接头的底部固定连接有连接杆，所述连接杆的一侧固定连接有定位块，所述定位块的底部固定连接有固定杆，所述固定杆上固定套设有固定环，所述固定
3、优选地，所述冷却组件包括连接在所述固定杆底部的水冷屏，所述水冷屏内部螺纹安装有内圈水道和外圈水道，所述内圈水道与所述外圈水道的一端设有进水口，另一端设有出水口，所述内圈水道和所述外圈水道在所述水冷屏内形成可循环的水路。
4、优选地，所述接头上开设有内螺纹和外螺纹，所述内螺纹用于连接出水管，所述外螺纹用于固定整个冷却装置。
5、优选地，所述水冷屏内部开设有内圈拉晶孔与外圈拉晶孔，所述内圈拉晶孔与所述外圈拉晶孔的圈数大于等于一，所述内圈水道与所述外圈水道围绕所述内圈拉晶孔与所述外圈拉晶孔均匀分布，所述水冷屏的底部设有分层水冷。
6、优选地，所述固定环用于对整个冷却的装置的稳定性进行加强固定。
7、优选地，所述接头、所述连接杆以及所述定位块的内部中空形成出水通路。
8、优选地，所述内圈水道与所述外圈水道之间可通过进水口在所述水冷屏内形成一路或多路水道，且所述内圈水道与所述外圈水道在出水口汇合。
9、优选地，所述水冷屏内设有调节杆，所述调节杆用于调节所述水冷屏之间的距离。
10、优选地，所述水冷屏中心位置处安装有保温层，所述保温层的厚度可以根据不同工艺条件进行搭配。
11、（三）有益效果：与现有技术相比，本专利技术提供了一种多圈分层冷却晶棒的装置，具备以下有益效果：
12、1、该多圈分层冷却晶棒的方法和装置，当对晶棒进行冷却时，首先通过内圈水道与外圈水道的一端设有的进水口，从而实现在水冷屏内形成可循环水路，同时通过进水口内圈水道与外圈水道之间可通过进水口在水冷屏内形成一路或多路水道，且内圈水道与外圈水道在出水口汇合，能够实现各种情况下均能对晶棒进行均匀冷却，同时能够在不同情况下改变不同的冷却位置，从而实现对晶棒冷却效果的调整。
13、2、该多圈分层冷却晶棒的方法和装置，通过在水冷屏上进行多圈排布且每圈有不同或相同数量的内圈拉晶孔与外圈拉晶孔，而内圈水道与外圈水道围绕内圈拉晶孔与外圈拉晶孔均匀分布，从而实现对每个内圈拉晶孔与外圈拉晶孔的冷却，达到一次快速稳定地拉制多根硅芯的目的；同时通过不同的分层形式满足不同使用环境、不同工况以及不同工艺的使用需求，实现对各种情况下均能对晶棒进行均匀冷却。
14、3、该多圈分层冷却晶棒的方法和装置，此外水冷屏还包括采用不同分层方式的分层水冷，包括但不限于内厚外薄的阶梯式，内高外低的阶梯式，内低外高的阶梯式，内低外高的斜面式，内薄外厚的斜面式，内薄外厚的阶梯式，内高外低的斜面式，内厚外薄的斜面式以及双屏或多屏分层方式，同时每个水冷屏之间用软管或其他方式进行连接形成水循环，同时使用螺栓或其他结构进行水冷屏之间的固定连接，同时通过调节杆来调节水冷屏之间的高度距离，从而实现对晶棒的不同高度点的定点冷却，实现多根硅芯的快速稳定且均匀地生产制备，同时确保了所生长成的晶棒直径尺寸均匀。
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1.一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：包括接头（1），所述接头（1）的底部固定连接有连接杆（2），所述连接杆（2）的一侧固定连接有定位块（3），所述定位块（3）的底部固定连接有固定杆（4），所述固定杆（4）上固定套设有固定环（5），所述固定杆（4）的底部固定连接有冷却组件；所述冷却组件用于对加工生成的晶棒进行冷却。
2.根据权利要求1所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述冷却组件包括连接在所述固定杆（4）底部的水冷屏（6），所述水冷屏（6）内部螺纹安装有内圈水道（7）和外圈水道（8），所述内圈水道（7）与所述外圈水道（8）的一端设有进水口，另一端设有出水口，所述内圈水道（7）和所述外圈水道（8）在所述水冷屏（6）内形成可循环的水路。
3.根据权利要求1所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述接头（1）上开设有内螺纹和外螺纹，所述内螺纹用于连接出水管，所述外螺纹用于固定整个冷却装置。
4.根据权利要求2所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述水冷屏（6）内部开设有内圈拉晶孔（9）与外圈拉晶孔（10），所述内圈
5.根据权利要求1所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述固定环（5）用于对整个冷却的装置的稳定性进行加强固定。
6.根据权利要求1所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述接头（1）、所述连接杆（2）以及所述定位块（3）的内部中空形成出水通路。
7.根据权利要求2所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述内圈水道（7）与所述外圈水道（8）之间可通过进水口在所述水冷屏（6）内形成一路或多路水道，且所述内圈水道（7）与所述外圈水道（8）在出水口汇合。
8.根据权利要求7所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述水冷屏（6）内设有调节杆（12），所述调节杆（12）用于调节所述水冷屏（6）之间的距离。
9.根据权利要求7所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述水冷屏（6）中心位置处安装有保温层，所述保温层的厚度可以根据不同工艺条件进行搭配。
...【技术特征摘要】
1.一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：包括接头（1），所述接头（1）的底部固定连接有连接杆（2），所述连接杆（2）的一侧固定连接有定位块（3），所述定位块（3）的底部固定连接有固定杆（4），所述固定杆（4）上固定套设有固定环（5），所述固定杆（4）的底部固定连接有冷却组件；所述冷却组件用于对加工生成的晶棒进行冷却。
2.根据权利要求1所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述冷却组件包括连接在所述固定杆（4）底部的水冷屏（6），所述水冷屏（6）内部螺纹安装有内圈水道（7）和外圈水道（8），所述内圈水道（7）与所述外圈水道（8）的一端设有进水口，另一端设有出水口，所述内圈水道（7）和所述外圈水道（8）在所述水冷屏（6）内形成可循环的水路。
3.根据权利要求1所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述接头（1）上开设有内螺纹和外螺纹，所述内螺纹用于连接出水管，所述外螺纹用于固定整个冷却装置。
4.根据权利要求2所述的一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：所述水冷屏（6）内部开设有内圈拉晶孔（9）与外圈拉晶孔（10），所述内圈拉晶孔（9）与所述外圈拉晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：程旭兵，忻礼华，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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