【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶体生长领域，具体而言，涉及一种封闭式液相外延炉旋转搅拌下片装置及方法。
技术介绍
1、液相外延生长铋置换稀土铁石榴石单晶薄膜，是将氧化铁、稀土氧化物，氧化镓或氧化铝等高熔点的溶质氧化物与低熔点的充当助溶剂的氧化物混合，装入坩埚，并在液相外延炉内高温条件下将混合后的氧化物原料熔化成液态，溶质氧化物在远低于其本身熔点的温度下就能完全溶解在低熔点的助溶剂中，形成混合溶液。然后，通过下降杆子将搅拌器下拉到溶液中，开启旋转进行搅拌，将混合溶液搅拌均匀，再进行降温，当温度下降时，助溶剂溶解溶质的能力也会下降，直到达到某一温度点(饱和温度)，溶液开始呈现过饱和状态，再继续降温，溶质会从溶液中析出，此时，将连有搅拌器的杆子换成连有与铋置换稀土铁石榴石结构一致、晶格相近的衬底和夹具的杆子，并将其下拉到衬底接触溶液，则析出的溶质就会在衬底表面沉积、结晶并长大，最终生长出一层铋置换稀土铁石榴石单晶薄膜。
2、生长该单晶薄膜最常用的助溶剂一般是氧化铅、氧化铋和氧化硼的混合物，其中氧化铋既作为溶剂组分，又作为溶质参与结晶，bi3+离子...
【技术保护点】
1.一种封闭式液相外延炉旋转搅拌下片装置，其特征在于，包括搅拌筒、穿装在搅拌筒上的夹具以及安设于炉膛口的双层盖板，所述夹具的卡爪置于搅拌筒内，其高度小于搅拌筒的高度，所述夹具的上端穿出搅拌筒外向上延伸并与连接杆相连，所述夹具与搅拌筒之间通过限位机构相连，所述搅拌筒的上端设有悬挂板，所述双层盖板上设有便于悬挂板悬挂的环形空间以及便于搅拌筒下放的通孔。
2.根据权利要求1所述的旋转搅拌下片装置，其特征在于，所述搅拌筒包括上部顶板、下部固定环、连接上部顶板和下部固定环的支撑杆以及设置在支撑杆下端部的叶片，所述上部顶板的两侧对称设有向外凸出的悬挂板，所述上部顶板的
【技术特征摘要】
1.一种封闭式液相外延炉旋转搅拌下片装置，其特征在于，包括搅拌筒、穿装在搅拌筒上的夹具以及安设于炉膛口的双层盖板，所述夹具的卡爪置于搅拌筒内，其高度小于搅拌筒的高度，所述夹具的上端穿出搅拌筒外向上延伸并与连接杆相连，所述夹具与搅拌筒之间通过限位机构相连，所述搅拌筒的上端设有悬挂板，所述双层盖板上设有便于悬挂板悬挂的环形空间以及便于搅拌筒下放的通孔。
2.根据权利要求1所述的旋转搅拌下片装置，其特征在于，所述搅拌筒包括上部顶板、下部固定环、连接上部顶板和下部固定环的支撑杆以及设置在支撑杆下端部的叶片，所述上部顶板的两侧对称设有向外凸出的悬挂板，所述上部顶板的中心设有中心孔。
3.根据权利要求2所述的旋转搅拌下片装置，其特征在于，所述夹具包括支撑板、固定在支撑板中心位置的上部圆杆以及安设在支撑板下端部周向的多个卡爪，所述上部圆杆内部为中心孔，用于与连接杆相连，上部圆杆从搅拌筒内部穿装在上部顶板的中心孔，两者通过限位结构配合，所述卡爪下端设有台阶，用于放置衬底。
4.根据权利要求1或2所述的旋转搅拌下片装置，其特征在于，所述双层盖板包括上盖板和下盖板，上盖板中心设有圆孔，孔径与连接杆外径匹配，上盖板中心下部设置尺寸大于所述搅拌筒上部顶板边缘悬挂板外接圆直径的大圆孔，两盖板之间形成环形空间，该空间为所述搅拌筒旋转时上部顶板旋转及悬挂空间，下盖板中心向下凸起，...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵文琪，侯田江，马晓，胡露，魏德玉，张斗，公见文，杨露，刘凯，
申请(专利权)人：长飞光纤光缆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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